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[发明专利]具有内置校准能力的压力传感器-CN201410655567.2有效
发明人： C·S·达沃森;P·T·琼斯 -专利权人：恩智浦美国有限公司
申请日： 2014-11-18 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明涉及具有内置校准能力的压力传感器。MEMS压力传感器(70)包括传感单元(80)、测试单元(82)和密封结构(84)。所述测试单元包括测试腔(104)，并且所述密封结构(84)与所述测试腔相通，其中所述密封结构被配置为破裂以将位于所述测试腔(104)内的初始腔压力(51)改变至环境压力(26)。校准方法(180)包含在破裂所述密封结构之前从所述测试单元获得(184)测试信号(186)，并且在所述密封结构破裂之后获得(194)另一个测试信号(196)。所述测试信号被用于计算所述测试单元的灵敏度(200)，所计算的灵敏度被用于估计所述传感单元的所述灵敏度(204)并且所述估计的灵敏度(204)可以被用于校准所述传感单元。
密封结构测试单元校准灵敏度测试信号传感单元测试腔压力传感器破裂内置环境压力初始腔相通配置

[发明专利]具有集成多个刺激感测能力的MEMS传感器装置-CN201610925667.1在审
发明人：李丰园;C·S·达沃森;A·C·迈克奈尔;A·S·萨立安;M·E·施拉曼 -专利权人：飞思卡尔半导体公司
申请日： 2016-10-24 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本公开涉及具有集成多个刺激感测能力的MEMS传感器装置。传感器装置包括装置结构；和顶盖，所述顶盖与所述装置结构耦合，以产生空腔，所述传感器装置的组件位于所述空腔内。所述装置结构包括衬底和与所述衬底的表面间隔开的可移动元件。端口延伸穿过位于所述可移动元件下面的所述衬底。传感元件与所述可移动元件间隔开，并从所述端口移离。所述可移动元件和所述传感元件形成惯性传感器，以感测当所述可移动元件相对于所述传感元件移动时的运动刺激。另外的传感元件连同隔膜一起跨越所述端口。所述可移动元件和所述另外的传感元件形成压力传感器，以感测当所述另外的传感元件连同所述隔膜一起相对于所述可移动元件移动时来自外部环境的压力刺激。
具有集成刺激能力 mems 传感器装置