[实用新型]采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器有效
| 申请号： | 201821686907.8 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN208736598U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 曲豫;周得全;段磊;孙晓茜 | 申请（专利权）人： | 沈阳市传感技术研究所 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 沈阳鼎恒知识产权代理事务所(普通合伙) 21245 | 代理人： | 赵月娜 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，包括利用薄壁刃口相对焊接的定电极单端悬浮结构体和动电极单端悬浮结构体，定电极单端悬浮结构体采用装配式定电极结构，包括定电极装配式悬浮外壳、支撑于定电极装配式悬浮外壳内的定电极绝缘体、弹性定位器、焊接于定电极装配式悬浮外壳顶部的端盖、设于端盖与定电极绝缘体之间的三波压簧、焊接于端盖上的玻璃绝缘子，定电极装配式悬浮外壳、端盖、三波压簧分别采用与定电极绝缘体热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制成且表面镀金。本实用新型从根本上解决现有电极单端悬浮的电容压力传感器存在的生产效率低、生产成本高的问题，测量结果受温度影响极小，保证了传感器的测量精度，稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 定电极 装配式 悬浮 绝缘体 单端 端盖 电容压力传感器 悬浮结构 电极 焊接 本实用新型 悬浮型 波压 玻璃绝缘子 弹性定位器 恒弹性合金 热膨胀系数 刃口相对 生产效率 外壳顶部 温度影响 传感器 动电极 薄壁 镀金 生产成本 匹配 测量 支撑 保证 | ||
【主权项】：
1.一种采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，包括利用薄壁刃口相对焊接的定电极单端悬浮结构体和动电极单端悬浮结构体，动电极单端悬浮结构体包括带引压口支座、上夹持环、夹持焊接固支于带引压口支座和上夹持环之间的动电极，带引压口支座的上表面设有对应动电极的抛物凹面A和位于抛物凹面A外周的环形固支平面A，上夹持环的下表面设有与抛物凹面A边缘相对的抛物凹面B和位于抛物凹面B外周的环形固支平面B，上夹持环的上端为不受约束自由端，其特征在于：所述定电极单端悬浮结构体采用装配式定电极结构，其包括定电极装配式悬浮外壳、支撑于定电极装配式悬浮外壳内的由恒弹性绝缘材料制作的定电极绝缘体、弹性定位器、焊接于定电极装配式悬浮外壳顶部的端盖、设于端盖底面与定电极绝缘体顶面之间的三波压簧、焊接于端盖上的封接有柱状电极的玻璃绝缘子，所述定电极绝缘体的下端为不受约束自由端且底面设有与抛物凹面A中部相对的抛物凹面C，且抛物凹面C上设有导电膜层，所述导电膜层上设有绝缘膜层，所述导电膜层依次通过定电极绝缘体内设置的金属化管状电极、定电极绝缘体顶面的欧姆接触膜和锥形弹簧与柱状电极导通，所述定电极装配式悬浮外壳的底面边缘和带引压口支座的顶面边缘分别设有薄壁刃口，二者的薄壁刃口对接焊接在一起形成薄壁刃口焊口，所述定电极装配式悬浮外壳、端盖、三波压簧分别采用与定电极绝缘体热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制成且表面镀金。
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- 2016-08-25 - 2019-04-05 - G01L9/12
- 本发明公开一种MEMS电容式压力传感器，包括衬底与压力应变膜片，压力应变膜片通过锚体固定于衬底上方；压力应变膜片底面中心键合有质量块，质量块四周沿X轴与Y轴分别设有可动梳齿电极；衬底顶部四周沿X轴与Y轴分别设有固定梳齿电极，可动梳齿电极与固定梳齿电极一一对应形成配合；每一对相互对应配合的可动梳齿电极与固定梳齿电极在Z轴方向形成零位差；压力应变膜片感应的压力传递给质量块，质量块带动可动梳齿电极沿Z轴移动，可动梳齿电极与固定梳齿电极正对面积的变化带来电容的变化，实现压力的测量；梳齿电极之间的相对移动是完全呈整体性的平行移动，正对面积的变化完全是线性的，使得电容的变化具有良好的线性度，提高器件性能。
- 一种电容薄膜压力传感器-201821110706.3
- 徐明强;陈文亮;张勇 - 南通百正电子新材料股份有限公司
- 2018-07-13 - 2019-03-05 - G01L9/12
- 本实用新型公开了一种电容薄膜压力传感器，包括金属外壳，所述金属外壳的顶端和底端分别嵌入设置有进气口和抽气口，所述金属外壳的内部设有内腔，所述内腔内部的顶端设有陶瓷盘，且所述陶瓷盘与所述金属外壳之间通过四个连接杆连接，设有橡胶块，厚度比陶瓷盘大2cm，在进行压力检测时，由于橡胶块的厚度较大，若陶瓷盘左右微移，橡胶块不仅能绝缘同时在水平方向上起到了缓冲的作用，设有弹簧片，陶瓷盘由于工作受热膨胀，连接杆导入橡胶块内，水平限位，使得垂直方向上不会产生位移，水平位移与弹簧片接触，有一定缓冲作用。
- 压力传感器-201410616099.8
- C-H·林;T·L·唐;W·S·苏;C·M·林;R·赫梅尔;U·巴特世;M·赫玛斯道夫 - 应美盛股份有限公司
- 2014-11-05 - 2019-02-15 - G01L9/12
- 一种压力传感器，包括：第一基底(1)和附连到第一基底(1)的盖(4)。盖(4)包括处理电路(241)、腔室(41)以及可变形隔膜(42)，该隔膜隔离腔室(41)和通向压力传感器外界的开口。提供感应装置，其将可变形隔膜(42)对开口处的压力响应转换为信号，信号能够被处理电路(241)处理。盖(4)附连到第一基底(1)，可变形隔膜(42)面向第一基底(1)，且间隙(6)设置在可变形隔膜(42)和第一基底(1)之间，该间隙(6)有助于开口。第一基底(1)包括附连盖(4)的支承部分(7)、将压力传感器电连接到外部装置的接触部分(8)，以及用以从接触部分(8)中悬置出支承部分(7)的一个或多个悬置元件(9)。
- 电容式气压传感器-201811265396.7
- 于文秀;闫文明 - 歌尔股份有限公司
- 2018-10-26 - 2019-01-18 - G01L9/12
- 本发明公开一种电容式气压传感器，所述电容式气压传感器包括呈相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板设置为与外部空气接触的敏感膜，所述第二极板用于与产品载体安装；所述敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面。本发明电容式气压传感器，将敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面，微凹凸面的凹凸结构可缓冲敏感膜发生形变时产生的应力，使得敏感膜不易发生永久性形变或者碎裂，从而可保护敏感膜，进而可提高敏感膜和电容式气压传感器的耐破坏能力，增强敏感膜和电容式气压传感器的可靠、稳定性能。
- 具有内置校准能力的压力传感器-201410655567.2
- C·S·达沃森;P·T·琼斯 - 恩智浦美国有限公司
- 2014-11-18 - 2019-01-18 - G01L9/12
- 本发明涉及具有内置校准能力的压力传感器。MEMS压力传感器(70)包括传感单元(80)、测试单元(82)和密封结构(84)。所述测试单元包括测试腔(104)，并且所述密封结构(84)与所述测试腔相通，其中所述密封结构被配置为破裂以将位于所述测试腔(104)内的初始腔压力(51)改变至环境压力(26)。校准方法(180)包含在破裂所述密封结构之前从所述测试单元获得(184)测试信号(186)，并且在所述密封结构破裂之后获得(194)另一个测试信号(196)。所述测试信号被用于计算所述测试单元的灵敏度(200)，所计算的灵敏度被用于估计所述传感单元的所述灵敏度(204)并且所述估计的灵敏度(204)可以被用于校准所述传感单元。
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