[发明专利]高光效图形衬底及其制造方法无效
| 申请号： | 201010185835.0 | 申请日： | 2010-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN101924173A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 孙文红;李克勤;王庆华 | 申请（专利权）人： | 孙文红;李克勤;王庆华 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 073000 河北省定*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及高光效图形衬底及其制造方法，在衬底上刻蚀有中心对称图形，中心对称图形向衬底的四周延伸，中心对称图形为正方形、正六边形、圆形、角度为60°的等边菱形、由六个相同正三角形组成的正六边形、由中心为圆形和嵌入圆形的六个对称分布的相同正三角形组成的正六边形和由中心为圆形及与该圆形分开的六个对称分布的相同正六边形组成的正六边形，以上述中心对称图形为基准单位向衬底的四周延伸，使两个相邻的正方形边长之间的垂直距离、两个相邻的正三角边形边长之间的垂直距离、两个相邻的正六边形边长之间的垂直距离、两个相邻的等边菱形边长之间的垂直距离、两个相邻的圆形的圆周间最短距离和圆形与相邻的正六边形之间的最短距离分别相等。 | ||
| 搜索关键词： | 高光效 图形 衬底 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种高光效图形衬底，在衬底上刻蚀有中心对称图形，中心对称图形向衬底的四周延伸，其特征在于：所述的中心对称图形为正方形、正六边形、圆形、角度为60°的等边菱形、由六个相同正三角形组成的正六边形、由中心为圆形和嵌入圆形的六个对称分布的相同正三角形组成的正六边形和由中心为圆形及与该圆形分开的六个对称分布的相同正六边形组成的正六边形，以上述中心对称图形为基准单位向衬底的四周延伸，使两个相邻的正方形边长之间的垂直距离、两个相邻的正三角边形边长之间的垂直距离、两个相邻的正六边形边长之间的垂直距离、两个相邻的等边菱形边长之间的垂直距离、两个相邻的圆形的圆周间最短距离和圆形与相邻的正六边形之间的最短距离分别相等，上述距离为0.2 2um，上述相邻的正方形之间、相邻的正六边形之间、相邻的圆形之间、相邻的等边菱形之间、相邻的正三角形之间、圆形与相邻正六边形之间的缝隙被刻蚀，被刻蚀的深度为0.5 1um，其中正方形的边长、正六边形的边长、圆形的半径、等边菱形的边长或正三角形的边长的长度为0.1 4um，该高光效图形衬底的刻蚀率在15％ 60％范围内。
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