[发明专利]具有场效应管的集成电路和制造方法有效

专利信息
申请号: 201010134983.X 申请日: 2010-03-12
公开(公告)号: CN101840916A 公开(公告)日: 2010-09-22
发明(设计)人: 托尔斯滕·迈尔;斯特凡·德克尔;诺贝特·克里施克;克里斯托夫·卡多 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L29/78;H01L29/36;H01L21/77;H01L21/336
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 吴贵明;李慧
地址: 德国瑙伊*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明公开了具有场效应管的集成电路和制造方法。一实施例提供了包括第一FET和第二FET的集成电路。将第一FET的源极、漏极、栅极中的至少一个电连接至第二FET的源极、漏极、栅极中的对应的一个。将第一FET的源极、漏极、栅极中的另外的至少一个和第二FET的源极、漏极、栅极中的对应的另外一个分别连接至电路元件。第一FET和第二FET中的每个FET的主体的沿着沟道的掺杂浓度在沟道内的峰值位置处具有峰值。
搜索关键词: 具有 场效应 集成电路 制造 方法
【主权项】:
一种集成电路,包括:第一FET和第二FET,其中,所述第一FET的源极、漏极、栅极中的至少一个电连接至所述第二FET的源极、漏极、栅极中的对应的一个,所述第一FET的源极、漏极、栅极中的另外的至少一个和所述第二FET的源极、漏极、栅极中的对应的另外一个分别连接至电路元件;以及所述第一FET和所述第二FET中的每个FET的主体的沿着沟道的掺杂浓度在所述沟道内的峰值位置处具有峰值。
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