[发明专利]一种闪存

摘要

本发明提供一种闪存，包括：衬底和衬底内的第一漏极区、源极区和第二漏极区，源极区位于第一漏极区和第二漏极区之间；引出的第一漏极、源极和第二漏极；控制栅位于第一漏极区和第二漏极区之间；浮栅，位于所述所述源极区之上，所述浮栅包括第一浮栅和第二浮栅，所述第一浮栅和所述第二浮栅之间用所述控制栅隔离；第一选择栅，位于第一漏极和源极之间；第二选择栅，位于源极和第二漏极之间。本发明提供的闪存结构设计巧妙，能够有效的减少闪存的尺寸，从而提高衬底单位面积上的使用效率。

主权项

一种闪存，其特征在于包括：衬底和形成于所述衬底内的第一漏极区、源极区和第二漏极区，所述源极区位于所述第一漏极区和所述第二漏极区之间；分别从所述第一漏极区、所述源极区和所述第二漏极区引出的第一漏极、源极和第二漏极；控制栅，位于所述第一漏极区和所述第二漏极区之间；浮栅，位于所述源极区之上，所述浮栅包括第一浮栅和第二浮栅，所述第一浮栅和所述第二浮栅之间用所述控制栅隔离；第一选择栅，位于所述第一漏极和所述源极之间；第二选择栅，位于所述源极和所述第二漏极之间。