[发明专利]半导体存储装置及其制造方法无效
| 申请号: | 201010106245.4 | 申请日: | 2010-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN101794861A | 公开(公告)日: | 2010-08-04 |
| 发明(设计)人: | 高桥新吾 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
| 主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G11C11/56 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供半导体存储装置及其制造方法,该半导体存储装置包括:第一电极,通过埋设在基板上形成的绝缘膜中而形成;第二电极,形成为与该第一电极相对;存储层,形成在该第一电极和该第二电极之间,该存储层设在第一电极侧;离子源层,形成在该存储层和该第二电极之间;以及扩散防止层,由该绝缘膜和该第一电极之间的氧化锰层形成。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体 存储 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体存储装置,包括:第一电极,通过埋设在形成于基板上的绝缘膜中而形成;第二电极,形成为与该第一电极相对;存储层,形成在该第一电极和该第二电极之间,该存储层设在该第一电极侧;离子源层,形成在该存储层和该第二电极之间;以及扩散防止层,由该绝缘膜和该第一电极之间的氧化锰层形成。
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