[发明专利]固态图像传感器及其制造方法和图像拾取装置

摘要

公开了一种固态图像传感器，包括光电转换器、电荷检测器和转移晶体管。光电转换器存储经历光电转换的信号电荷。电荷检测器检测所述信号电荷。转移晶体管将所述信号电荷从所述光电转换器转移到所述电荷检测器。在所述固态图像传感器中，所述转移晶体管包括栅极绝缘膜、在所述栅极绝缘膜上形成的栅极电极、在所述光电转换器侧的所述栅极电极的侧壁上形成的第一隔离层、以及在所述电荷检测器侧的所述栅极电极的另一侧壁上形成的第二隔离层。所述第一隔离层比所述第二隔离层长。

主权项

一种固态图像传感器，包括光电转换器，用于存储经历光电转换的信号电荷；电荷检测器，用于检测所述信号电荷；以及转移晶体管，用于将所述信号电荷从所述光电转换器转移到所述电荷检测器，其中所述转移晶体管包括栅极绝缘膜，在所述栅极绝缘膜上形成的栅极电极，在所述光电转换器侧的所述栅极电极的侧壁上形成的第一隔离层，以及在所述电荷检测器侧的所述栅极电极的另一侧壁上形成的第二隔离层，并且其中所述第一隔离层比所述第二隔离层短。