[发明专利]Ⅲ族金属氮化物单晶的制造方法

摘要

一种III族金属氮化物单晶的制造方法，使用模板基板(10A)，其具有：具备侧面(1b)以及一对主面(1a)的基板主体(1)、形成在主面(1a)上的III族金属氮化物单晶的基膜(2)。通过液相法，在基板主体1的至少一个主面(1a)上培养III族金属氮化物单晶(3)。从平面观测，基膜(2)呈凸图形。未设置基膜的未成面(4)包围在基膜(2)的整个周围。在基膜(2)成长的III族金属氮化物单晶(3)不与成长在其他基膜的III族金属氮化物单晶接触。

主权项

一种III族金属氮化物单晶的制造方法，该方法使用模板基板，其具有：具备侧面以及一对主面的基板主体、形成在基板主体的至少一个所述主面上的III族金属氮化物单晶的基膜，通过液相法，在所述基膜上培养III族金属氮化物单晶，其特征是，从平面观测，所述基膜呈凸图形，未形成有所述基膜的未成面包围在基膜的整个周围，且在所述基膜成长的所述III族金属氮化物单晶不与成长在其他基膜的III族金属氮化物单晶接触。