[发明专利]微系统散热装置的制备方法有效
| 申请号： | 200910263296.5 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101794753A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 尚金堂;张迪;陈波寅;徐超;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373;C23C14/14 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 214135 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微系统散热装置的制备方法，其特征在于，第一步，在生长片上制备碳纳米管阵列，第二步，在碳纳米管阵列的自由端面上沉积金属锚区，其中金属锚区由多层金属构成，与所述碳纳米管阵列自由端面邻接的金属锚区表面设有金属浸润层，金属锚区的其它部分为高导热金属，从而获得所述微系统散热装置。本发明通过在金属浸润层与碳纳米管之间反应形成金属碳化物，从而使得金属浸润层与碳纳米管之间具有更好的过渡晶体结构，与润湿状态的金属浸润层与碳纳米管之间的界面相比，能够进而进一步降低声子和电子等热载流子的散射，从而进一步降低碳纳米管与热源之间的接触热阻。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 散热 装置 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微系统散热装置的制备方法，其特征在于，第一步，在生长片上制备碳纳米管阵列(4)，第二步，在碳纳米管阵列的自由端面上沉积金属锚区(1)，其中金属锚区(1)由多层金属构成，与所述碳纳米管阵列自由端面邻接的金属锚区表面设有金属浸润层(2)，金属锚区的其它部分为高导热金属，从而获得所述微系统散热装置。
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