[发明专利]铜钼铜热沉材料及制备方法无效
| 申请号: | 200910213372.1 | 申请日: | 2009-11-04 |
| 公开(公告)号: | CN102054804A | 公开(公告)日: | 2011-05-11 |
| 发明(设计)人: | 况秀猛;张远;朱德军;魏滨 | 申请(专利权)人: | 江苏鼎启科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L21/48 |
| 代理公司: | 宜兴市天宇知识产权事务所 32208 | 代理人: | 蔡凤苞 |
| 地址: | 214205 江苏省宜兴市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明是对铜钼铜金属复合热沉材料导热性能的改进,其特征是中间钼层板上有众多穿通厚度的通孔,各通孔中镶嵌有与钼层板面齐平的铜芯,使所述热沉材料线膨胀系数为6-8ppm/℃,热导率至少增加10%及以上。不仅显著提高了其纵向热传导性能,以CMC厚度比1∶1∶1为例,纵向热导率由原来的150W/M.K左右,提高到220W/M.K左右,提高了46.7%;而且复层界面间由于有多点同种铜压接,也显著增加了复合界面的结合强度,并且由于热传导性能的改善,显著降低了铜钼界面间拉应力,经热循环试验,抗剥离力提高30%,从而有效延长了CMC材料的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词: | 铜钼铜热沉 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
铜钼铜热沉材料,包括铜钼铜三层复合,其特征在于中间钼层板上有众多穿通厚度的通孔,各通孔中镶嵌有与钼层板面齐平的铜芯,使所述热沉材料线膨胀系数为6‑8ppm/℃,热导率至少增加10%及以上。
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