[发明专利]一种抗辐照的多叉指CMOS器件有效

专利信息
申请号: 200910087223.5 申请日: 2009-06-19
公开(公告)号: CN101577279A 公开(公告)日: 2009-11-11
发明(设计)人: 王文华;黄德涛;黄如;王阳元;薛守斌 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L27/092 分类号: H01L27/092;H01L29/78;H01L29/06;H01L29/423
代理公司: 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 俞达成
地址: 100871北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种抗辐照的多叉指CMOS器件,属于电子技术领域。本发明多叉指CMOS器件包括有源区、STI区、和连接所述有源区和所述STI区的栅极,所述栅极呈多叉指状,其特征在于,所述有源区沿着有源区横向的宽度大于所述栅极位于所述有源区范围内沿着有源区横向的宽度。优选地,相邻的两个叉指的根部内轮廓线不呈各个折角同时为90°的折线状,位于端部的两个叉指的根部外轮廓线不呈直角状。本发明多叉指CMOS器件可以有效的降低栅串联电阻,从而提高电路的性能;同时占用的版图面积减小,可提高芯片的集成度。
搜索关键词: 一种 辐照 多叉指 cmos 器件
【主权项】:
1.一种抗辐照的多叉指CMOS器件,包括有源区、STI区、和连接所述有源区和所述STI区的栅极,所述栅极呈多叉指状,其特征在于,所述有源区沿着有源区横向的宽度大于所述栅极位于所述有源区范围内沿着有源区横向的宽度。
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