[发明专利]三维移动正交结构微纳操作台

摘要

本发明涉及一种机器人技术领域的三维移动正交结构微纳操作台，包括基座、工作台、三个P-4S支链和压电陶瓷驱动器。基座与工作台之间由三个由柔性铰链构成的P-4S支链相联；三个支链分别沿三个相互垂直的方向布置，且各组支柱轴线构成的平面相互垂直。在每个支链相对应基座上直接加工出一平行板弹性移动副并分别配置一个压电陶瓷驱动器，通过三个P-4S支链对工作台进行驱动，以实现沿X、Y、Z三个方向的移动。本发明可以实现无摩擦、无间隙、无润滑和无滞后现象的三维移动，可广泛应用于光纤对接、纳米压印、生命与遗传工程和微装配等领域。

主权项

1、一种三维移动正交结构微纳操作台，其特征在于包括基座、工作台、三个P-4S支链和压电陶瓷驱动器，基座与工作台之间通过三个由柔性铰链构成的P-4S支链相联，这三个P-4S支链分别沿三个相互垂直的方向布置，且各组支柱轴线构成的平面相互垂直，在每个P-4S支链相对应的基座上设置一个弹性平行板移动副，每个弹性平行板移动副设置一个压电陶瓷驱动器。