[发明专利]感光性糊剂组合物和图案形成方法有效
申请号: | 200810161142.0 | 申请日: | 2008-07-09 |
公开(公告)号: | CN101354533A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 工藤和生;板野考史 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/028 | 分类号: | G03F7/028;G03F7/027;G03F7/075;G03F7/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 熊玉兰;黄可峻 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能廉价形成高清晰图案的、且成膜后对陶瓷、硅和玻璃基板具有高粘接强度的感光性糊剂组合物。所述感光性糊剂组合物的特征是包含50重量%粒径(D50)为2.0-20.0微米的铝粉末(A)、碱可溶性树脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)和光聚合引发剂(E)。 | ||
搜索关键词: | 感光性 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】:
1.一种感光性糊剂组合物,其特征是包含50重量%粒径(D50)为2.0-20.0微米的铝粉末(A)、碱可溶性树脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)和光聚合引发剂(E)。
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