[发明专利]感光性糊剂组合物和图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及感光性糊剂组合物和图案形成方法。更具体地说，本发明涉及 在平面显示器等的显示屏、电子构件的高度封装材料和太阳能电池材料等中使 用的具有电极的电路基板制造中，在形成高感度和高清晰度的图案时，可适用 的感光性糊剂组合物和使用该组合物形成图案的方法。

背景技术

近年来，对于电路基板或者显示屏中的图案加工，高密度化和高清晰化的 要求越来越高。在这种要求极高的显示屏中，等离子体显示屏(下文简称“PDP”。) 或者场致发射显示屏(下文简称“FED”。)等平面显示屏(下文简称“FDP”。)特 别引人注目。

图1是交流型PDP的截面形状示意图。在图1中，101和102是相对设置 的玻璃基板、103和111是隔壁，通过玻璃基板101、玻璃基板102、背面隔壁 103和前面隔壁111区分成单元。104是固定在玻璃基板101上的透明电极，105 是为降低透明电极104的电阻而在该透明电极104上形成的汇流电极，106是固 定在玻璃基板102上的地址电极。107是保持在单元内的萤光物质，108是覆盖 透明电极104和汇流电极105而在玻璃基板101表面上形成的电介质层，109 是覆盖地址电极106而在玻璃基板102表面上形成的电介质层，110是保护层， 例如由氧化镁形成。

另外，在彩色FPD中，为了得到对比度高的图像，在玻璃基板与电介质层 之间，设置滤色片(红色·绿色·蓝色)或者黑色基质等。

近年来，FPD的大型化和高清晰化不断深入，同时图案加工技术的提高受 人期待。但是，随着屏幕的大型化和高清晰化，对图案精度的要求也极其严格， 当前存在的问题是以现有的加工方法即丝网印刷法已极不相适应。因此，使用 光刻法形成图案。

发明内容

利用上述光刻法制造电极时，通过使用感光银糊法，制作以丝网印刷法不 可能解决的问题即大型化和高清晰化的图案，已成为可能。

但是，由于银是贵金属且价高，感光性银糊也就成为高价的导电性糊。而 且，作为感光性银糊的缺陷是具有在高温多湿环境下易产生移动，在银表面发 生硫化的性质。

而且，由于近年来考虑成本的要求，要求使用廉价的含无机粒子的感光性 树脂材料和能加工高清晰图案的材料。

本发明是解决现有技术中存在的问题，其目的是提供廉价且可形成高清晰 度图案的，和对陶瓷、硅和玻璃基板以薄膜状呈现高粘接强度的感光性糊剂组 合物。

本发明的另一目的是提供使用上述感光性糊剂组合物形成图案的方法。

本发明人为了解决上述问题进行深入研究的结果完成了本发明。即本发 明涉及以下1—4。

1.一种感光性糊剂组合物，其特征是包含50重量％粒径(D50)为2.0— 20.0微米的铝粉末(A)、碱可溶性树脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D) 和光聚合引发剂(E)。

2.按前述1记载的感光性糊剂组合物，其特征是还包含50重量％粒径 (D50)为0.2—4.0微米的玻璃粉末(B)。

3.按前述2记载的感光性糊剂组合物，其特征是所述的玻璃粉末(B)是 软化点为350—700℃的玻璃粉末，以感光性糊剂组合物的总重量计，玻璃粉末 (B)的含量为0.5—15重量％。

4.一种形成图案的方法，其特征是包括：由权利要求1-3中任一项记载的 感光性糊剂组合物，在基板上形成感光性糊剂层的工序、对该糊剂层进行曝光 处理形成图案潜像的工序、对该糊剂层进行显像处理形成图案的工序、和对该 图案进行烧成处理的工序。

发明效果

本发明的感光性糊剂组合物，可以廉价形成高清晰度的图案，最适宜用来 构成FPD配线的构件、电子部件的高度封装材料的构件和太阳能电池的构件。

以下，对本发明的感光性糊剂组合物和图案的形成方法进行详细说明。而 且，在下文中，将使用上述感光性糊剂组合物形成的未曝光涂层称为“感光性 糊剂层”。

[感光性糊剂组合物]

本发明的感光性糊剂组合物包含以下说明的铝粉末(A)、碱可溶性树脂 (C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)和光聚合引发剂(E)。另外，上述的感光 性糊剂组合物中还可配合玻璃粉末(B)或者其它的添加剂。

[铝粉末(A)]