[发明专利]感光性糊剂组合物和图案形成方法有效
申请号: | 200810161142.0 | 申请日: | 2008-07-09 |
公开(公告)号: | CN101354533A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 工藤和生;板野考史 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/028 | 分类号: | G03F7/028;G03F7/027;G03F7/075;G03F7/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 熊玉兰;黄可峻 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 组合 图案 形成 方法 | ||
1.一种感光性糊剂组合物,其特征是包含50重量%粒径(D50)为2.0- 20.0微米的铝粉末(A)、碱可溶性附脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D) 和光聚合引发剂(E),所述铝粉末(A)是包接脂肪酸的铝粉末(A)。
2.按权利要求1记载的感光性糊剂组合物,其特征是还包含50重量%粒 径(D50)为0.2-4.0微米的玻璃粉末(B)。
3.按权利要求2记载的感光性糊剂组合物,其特征是所述的玻璃粉末(B) 是软化点为350-700℃的玻璃粉末,以感光性糊剂组合物的总重量计,所述的 玻璃粉末(B)含量为0.5-15重量%。
4.按权利要求1记载的感光性糊剂组合物,其特征是相对于感光性糊剂组 合物的总重量,所述铝粉末(A)的含量为15-70重量%。
5.一种形成图案的方法,其特征是包括:
由权利要求1-4中任一项记载的感光性糊剂组合物,在基板上形成感光性 糊剂层的工序、
对该糊剂层进行曝光处理形成图案潜像的工序、
对该糊剂层进行显像处理形成图案的工序、和
对该图案进行烧成处理的工序。
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