[发明专利]感光性糊剂组合物和图案形成方法有效

专利信息
申请号: 200810161142.0 申请日: 2008-07-09
公开(公告)号: CN101354533A 公开(公告)日: 2009-01-28
发明(设计)人: 工藤和生;板野考史 申请(专利权)人: JSR株式会社
主分类号: G03F7/028 分类号: G03F7/028;G03F7/027;G03F7/075;G03F7/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 熊玉兰;黄可峻
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 感光性 组合 图案 形成 方法
【权利要求书】:

1.一种感光性糊剂组合物,其特征是包含50重量%粒径(D50)为2.0- 20.0微米的铝粉末(A)、碱可溶性附脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D) 和光聚合引发剂(E),所述铝粉末(A)是包接脂肪酸的铝粉末(A)。

2.按权利要求1记载的感光性糊剂组合物,其特征是还包含50重量%粒 径(D50)为0.2-4.0微米的玻璃粉末(B)。

3.按权利要求2记载的感光性糊剂组合物,其特征是所述的玻璃粉末(B) 是软化点为350-700℃的玻璃粉末,以感光性糊剂组合物的总重量计,所述的 玻璃粉末(B)含量为0.5-15重量%。

4.按权利要求1记载的感光性糊剂组合物,其特征是相对于感光性糊剂组 合物的总重量,所述铝粉末(A)的含量为15-70重量%。

5.一种形成图案的方法,其特征是包括:

由权利要求1-4中任一项记载的感光性糊剂组合物,在基板上形成感光性 糊剂层的工序、

对该糊剂层进行曝光处理形成图案潜像的工序、

对该糊剂层进行显像处理形成图案的工序、和

对该图案进行烧成处理的工序。

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