[发明专利]供太阳能电池用的半导体基板及其制造方法

摘要

本发明公开了一种供太阳能电池用的半导体基板及其制造方法。根据本发明的半导体基板包含一基板以及一表面钝化层。该基板具有一上表面。该表面钝化层藉由一原子层沉积制程及/或一电浆辅助原子层沉积制程形成于该基板的该上表面上。

主权项

1.一种供一太阳能电池(solar cell)用的半导体基板(semiconductorsubstrate)，该半导体基板包含：一基板(substrate)，该基板具有一上表面；以及一表面钝化层(surface passivation layer)，该表面钝化层由一原子层沉积(atomic layer deposition，ALD)制程、一电浆增强原子层沉积(plasma-enhancedALD)制程或一电浆辅助原子层沉积(plasma-assisted ALD)制程)形成于该基板的该上表面上，该钝化层还可通过一原子层沉积制程和一电浆增强原子层沉积制程或一原子层沉积制程和一电浆辅助原子层沉积制程的组合制程形成。