[发明专利]二维电动位移平台有效
申请号: | 200810051119.6 | 申请日: | 2008-08-27 |
公开(公告)号: | CN101339914A | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
发明(设计)人: | 宋志;李树峰;刘亚忠;高跃红;郑福志 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人: | 王淑秋 |
地址: | 130033吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种二维电动位移平台,该位移平台的Y向马达固定于基台上,Y向动台置于基台的Y向导轨上,Y向马达通过Y向驱动杆与Y向动台连接;X向动台置于Y向动台的X向导轨上;X向马达固定于基台上;X向过渡台置于基台的X向导轨上,X向马达通过X向驱动杆与X向过渡台连接;Y向过渡台置于X向过渡台的Y向导轨上;连动杆一端与X向动台固定连接,另一端与Y向过渡台固定连接。本发明X向马达置于基台之上,使得运动部件质量得到大幅降低,在马达驱动力矩不变的情况下,实现了大加速度,从而提高了平台的位移速度。 | ||
搜索关键词: | 二维 电动 位移 平台 | ||
【主权项】:
1、一种二维电动位移平台,包括基台,Y向马达,Y向驱动杆,Y向动台,X向马达,X向驱动杆,X向动台,其特征在于还包括X向过渡台(8),Y向过渡台(9),连动杆(10);X向马达(5)固定于基台(1)上;X向过渡台(8)置于基台(1)的X向导轨上,X向马达(5)通过X向驱动杆(6)与X向过渡台(8)连接;Y向过渡台(9)置于X向过渡台(8)的Y向导轨上;连动杆(10)的一端与X向动台(7)固定连接,另一端与Y向过渡台(9)固定连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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