[发明专利]二维电动位移平台有效

专利信息
申请号: 200810051119.6 申请日: 2008-08-27
公开(公告)号: CN101339914A 公开(公告)日: 2009-01-07
发明(设计)人: 宋志;李树峰;刘亚忠;高跃红;郑福志 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 代理人: 王淑秋
地址: 130033吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明涉及一种二维电动位移平台,该位移平台的Y向马达固定于基台上,Y向动台置于基台的Y向导轨上,Y向马达通过Y向驱动杆与Y向动台连接;X向动台置于Y向动台的X向导轨上;X向马达固定于基台上;X向过渡台置于基台的X向导轨上,X向马达通过X向驱动杆与X向过渡台连接;Y向过渡台置于X向过渡台的Y向导轨上;连动杆一端与X向动台固定连接,另一端与Y向过渡台固定连接。本发明X向马达置于基台之上,使得运动部件质量得到大幅降低,在马达驱动力矩不变的情况下,实现了大加速度,从而提高了平台的位移速度。
搜索关键词: 二维 电动 位移 平台
【主权项】:
1、一种二维电动位移平台,包括基台,Y向马达,Y向驱动杆,Y向动台,X向马达,X向驱动杆,X向动台,其特征在于还包括X向过渡台(8),Y向过渡台(9),连动杆(10);X向马达(5)固定于基台(1)上;X向过渡台(8)置于基台(1)的X向导轨上,X向马达(5)通过X向驱动杆(6)与X向过渡台(8)连接;Y向过渡台(9)置于X向过渡台(8)的Y向导轨上;连动杆(10)的一端与X向动台(7)固定连接,另一端与Y向过渡台(9)固定连接。
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