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[发明专利]一种用于TAIKO晶圆传输的信息标定方法-CN202310165110.2有效
发明人：郑立功;王蕾;高跃红;田学光;帅智艳;梁崑;郑福志;樊璐 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及半导体技术领域，提供了一种用于TAIKO晶圆传输的信息标定方法。本申请利用料盘上放置的标准晶圆标定托架的对准坐标和多个传送轴各自的定位坐标，然后利用第一TAIKO晶圆替换料盘上放置的标准晶圆，将标定托架的对准坐标和所述多个传送轴各自的定位坐标应用于机械手的多个传送轴，根据第一TAIKO晶圆的特点使第一TAIKO晶圆落在托架的限位柱后，然后通过推动组件中的推块将第一TAIKO晶圆正确归位，使第一TAIKO晶圆的支撑环处于真空孔上，并标定归位过程的一系列关键信息。基于上述标定的关键信息使用于测试的TAIKO晶圆能够处于托架正确的位置，并被吸附和传输，降低TAIKO晶圆传输过程中的破损率，避免了TAIKO晶圆在托架上放置不当，造成传输错误而停机。
一种用于 taiko 传输信息标定方法

[发明专利]一种探针位置的获得方法以及探针台-CN202310157002.0有效
发明人：王蕾;郑立功;高跃红;姜鑫;王纪彬;崔立志;金钊;孙海波 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本申请涉及半导体技术领域，本申请提供了一种探针位置的获得方法以及探针台。本申请首先利用校准针卡上的单根探针与探针相机进行对针，获得单根探针在所述预设水平面上的单针投影坐标。避免了对针错位，以及限制视场范围的情况。由于安装后的单根探针在针卡安装位上位置与安装后的目标针卡上的参照中心位置相对应，因此，利用参照中心位置与目标探针的位置关系（也就是多个预设关系参数值）完成计算，通过计算结果和水平微调完成对针，最终获得所述目标探针在预设水平面上的目标投影坐标，从而减少了操作失误导致针卡损伤。
一种探针位置获得方法以及

[发明专利]一种卡盘-CN202310165163.4在审
发明人：帅智艳;郑福志;姜鑫;高跃红;孙海波;田学光;王蕾;王纪彬 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及半导体设备技术领域，本申请提供一种卡盘，包括：本体、吸附面、多个加热电阻丝和一条低温流管。多个加热电阻丝，均设置于所述本体内且分别受控；低温流管，是与所述本体一体成型的通道，且呈饼状盘桓于所述本体内，配置为利用输入其中的冷却物质与所述多个加热电阻丝相配合控制所述本体均匀降温。本申请利用碳化硅材料制作一体成型的本体和低温流管，不仅保证了本体的强度，而且通过一体成型的方式解决了低温流管的密封问题，避免了密封不严导致冷却物质外泄，损坏机体和晶圆，保证了精确降温。
一种卡盘

[发明专利]一种超宽带透射型声学超常材料-CN202211516304.4在审
发明人：范旭东;范占军;高跃红;李宁;翁春生 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G10K11/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种超宽带透射型声学超常材料，由若干个刚性边界单元并排连接构成。每个单元包括一根方形直波导管，以及若干对沿方形直波导管的中心轴线方向平行且等间隔排列的直挡板组。声波从超宽带透射型超常材料结构的一端进入，并从另一端透射而出。通过调整不同刚性边界单元中每对直挡板组中的两块直挡板间距实现对透射声波等效相位在360度范围内的连续调节。本发明的一种超宽带透射型声学超常材料，由于采用非共振式结构设计，结构简洁，声波透射效率高，可实现对超宽带透射声波的任意操控。由于本发明的超宽带透射型声学超常材料的工作频带覆盖绝大部分可听域，能够大大优化现有的传统声学超常材料面临的结构复杂、工作频带窄的问题。
一种宽带透射声学超常材料

[发明专利]一种基于OCC的自动驾驶车辆跟踪定位方法-CN202010347592.X有效
发明人：石文孝;王静怡;邵馨蕊;李莉;高跃红;张佳栋 -专利权人：吉林大学
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01S1/70 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于OCC的自动驾驶车辆跟踪定位方法，该方法包括以下步骤：将光源LED在世界坐标系中的位置坐标经曼彻斯特编码和OOK调制后通过驱动电路驱动光源LED发出高速明暗变化的可见光信号；自动驾驶车辆通过车载CMOS图像传感器获取包含至少一个光源LED信息的图像，利用霍夫圆变换检测图像中的LED光斑；对检测出的LED光斑进行跟踪解码，得到至少一个光源LED在世界坐标系中的位置坐标；根据光源LED的坐标信息计算自动驾驶车辆位置信息。本发明可以降低LED误检概率，节省数据处理时间，有效提高系统定位精度。
一种基于 occ 自动驾驶车辆跟踪定位方法

[发明专利]一种探针检测方法-CN202110388896.5有效
发明人： 高跃红;王蕾;孙斌;武绍军;孙德举;李家奇;王毓樟;王纪彬 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域。具体提供一种探针检测方法，通过在探针检测中增加分组测试程序，使晶圆上均匀分布多组待测区域，并以组为间隔进行同一晶圆待测区域内多路芯片同时测试；并构建可进行标准测试模式和分组测试模式的探针检测程序。本发明提供的探针检测方法，以group为间隔进行多site测试，解决了在传统分组测试模式中因为每组中site分布不均，而只能采用单site的测试方式的问题，极大缩短了测试时间，提高测试效率。同时构建了可以对所需检测模式进行选择的检测程序。
一种探针检测方法

[发明专利]一种芯片上焊点的注册方法和装置-CN202211376534.5有效
发明人：王蕾;高跃红;郑楠;戴芳涛;郑福志;金钊;王毓樟;梁崑 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种芯片上焊点的注册方法和装置。本发明首先将芯片中各种外观类型的焊点进行少量注册，进而以预注册焊点的焊点信息和与所述焊点相关联的针痕的针痕信息从芯片中自动找出所有审查合格的焊点，并将合格焊点的焊点信息和合格针痕的针痕信息进行注册，以便为后续的自动针痕检测提供精确的信息，提高了检测精度。本发明所述芯片上焊点的注册方法，大大节省了产品制程建立的时间，提高了测试效率。避免了人工注册出现的漏注册、多注册的问题。
一种芯片上焊点注册方法装置

[发明专利]一种探针温度的控制方法-CN202310160069.X在审
发明人： 高跃红;郑立功;郑楠;顾恩伟;金钊;苏雷;马冬冬;朱希泽 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本申请涉及半导体技术领域，本申请提供了一种探针温度的控制方法。本申请在探针和卡盘均能够正常工作的情况下，响应于接收到无损报警信号，控制所述卡盘接近测试用的探针卡，以便所述卡盘通过热传递使所述探针卡上的探针保持在测试温度上。避免了长时间等待后，需要花费大量时间对探针的温度进行预处理。大大节省了晶圆测试的时间，提高了产线生产效率。
一种探针温度控制方法

[发明专利]一种清针高度差值的标定方法和探针台-CN202211345822.4有效
发明人： 高跃红;王蕾;范占军;姜鑫;王纪彬;孙海波;李家奇;徐雨枫 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本申请提供了一种清针高度差值的标定方法和探针台。本申请在探针台中探针相机在更换后，一些原有恒定的高度差值和/或高度值会发生变化，但是，一旦探针相机安装好后，这些发生变化的高度差值和/或高度值便会恒定下来，直到下一次更换探针相机。本申请正是利用这种规律，在更换探针相机后一次性获得一些不再变化的高度差值和/或高度值，从而在以后的标定过程中，仅通过第一垂直运动机构测量的值便可标定清针高度差值，减少了第二垂直运动机构上不确定因素对标定清针高度差值的影响。
一种高度差值标定方法探针

[发明专利]薄晶圆吸附盘及吸附系统-CN202211169515.5有效
发明人：帅智艳;郑福志;高跃红;樊璐;田学光;王蕾;姜鑫;崔立志 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种薄晶圆吸附盘及吸附系统，薄晶圆吸附盘包括：吸附盘本体，包括吸附面和环绕所述吸附面的侧面，所述吸附盘本体用于吸附不同尺寸的薄晶圆；多层吸附通路，包括设置于所述侧面的多层通路入口，所述吸附通路从所述通路入口平行于所述吸附面延伸，其中，所述多层吸附通路中不同层的吸附通路不连通；吸附孔，设置于所述吸附面，所述吸附面具有多个吸附区域，所述多个吸附区域分别与所述多层吸附通路一一对应连通；其中，基于不同尺寸的薄晶圆，依次通过所述多层吸附通路控制不同区域的所述吸附孔的吸附顺序，使得所述薄晶圆与所述吸附面紧密贴合。
薄晶圆吸附系统

[实用新型]一种晶圆自动对针装置-CN202120244069.4有效
发明人：田学光;高跃红;郑福志;孙德举;王蕾;王骕 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆自动对针装置，包括：由镜头表面有十字丝标志的相机组成的图像采集组件、通过光栅尺进行定值运动的运动组件、数据处理组件、用于承载待对针晶圆的晶圆托盘、与待对针晶圆进行对针的探针卡；图像采集组件用于采集晶圆托盘、探针卡和待对针晶圆的图像，并将图像传递至数据处理组件；数据处理组件用于处理接收到的图像数据，并根据数据计算出对针参数；晶圆托盘与运动组件连接固定，通过运动组件驱动晶圆托盘进行运动。本实用新型通过图像识别及光栅尺定位的方式进行晶圆对针，可同时完成X向、Y向和Z向三个方向的对针；不借助于标定块，减少安装难度及对针操作步骤；对针方法简单，数据处理更加准确，提高对准精度和效率。
一种自动装置

[发明专利]一种探针台针痕检测方法-CN202110390687.4在审
发明人：王蕾;高跃红;田学光;郑福志;崔立志;金钊;帅智艳;沐阳 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域。具体提供一种探针台针痕检测方法，通过建立运动线程和图像线程并行工作，使探针台的晶圆移动、图像处理、数据保存同时进行。本发明提供的针痕检测方法能够在晶圆测试过程中监测测试精度稳定性，保证测试良率，还能够监测针卡的使用情况，是否有针出现异常等；且采用双线程方式，同时进行运动和图像数据处理，极大地提高了检测效率。
一种探针台针痕检测方法

[发明专利]一种晶圆自动对针装置及方法-CN202110120229.9在审
发明人：田学光;高跃红;郑福志;孙德举;王蕾;王骕 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆自动对针装置及方法，包括：由镜头表面有十字丝标志的相机组成的图像采集组件、通过光栅尺进行定值运动的运动组件、数据处理组件、用于承载待对针晶圆的晶圆托盘、与待对针晶圆进行对针的探针卡；图像采集组件用于采集晶圆托盘、探针卡和待对针晶圆的图像，并将图像传递至数据处理组件；数据处理组件用于处理接收到的图像数据，并根据数据计算出对针参数；晶圆托盘与运动组件连接固定，通过运动组件驱动晶圆托盘进行运动。本发明通过图像识别及光栅尺定位的方式进行晶圆对针，可同时完成X向、Y向和Z向三个方向的对针；不借助于标定块，减少安装难度及对针操作步骤；对针方法简单，数据处理更加准确，提高对准精度和效率。
一种自动装置方法

[实用新型]晶圆测试用旋转升降台-CN202022207349.6有效
发明人：郑福志;田学光;高跃红;孙德举;王毓樟 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种晶圆测试用旋转升降台，包括驱动机构、导向机构、转动机构、工作台，导向机构位于驱动机构上方，且导向机构通过丝杠组与驱动机构连接，驱动机构通过丝杠组带动导向机构沿主导向轴与副导向轴上下运动；工作台位于导向机构上方，工作台随着导向机构上下运动；在转动机构的驱动下，工作台可与轴套一同以轴承中心为圆心转动。本实用新型采用多丝杆传动，双导向轴导向的方法使得旋转升降台获得更高的竖直运动直线度且具有高定位精度的特点，同时实现对晶圆旋转的精确矫正，从而能够更好的完成晶圆测试工作。
测试旋转升降台

[发明专利]晶圆探针台自定义测试路径实现方法-CN202011391910.9在审
发明人： 高跃红;王蕾;严大生;邱海斌;董明远;孙德举;崔立志;姜鑫 -专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G06F40/166 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，包括如下步骤：S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；S2、将测试模式载入测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中编辑测试路径；S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入测试路径生成软件，生成晶圆探针台识别的测试路径文件。本发明能够实现测试路径的自定义，满足客户对测试路径灵活规划的需求，还能使路径最优化，节省测试时间、提高测试效率。
探针自定义测试路径实现方法

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