[发明专利]二维电动位移平台

说明书

技术领域

本发明涉及一种二维电动位移平台。

背景技术

传统的二维电动位移平台(见图一)包括基台，Y向动台，Y向马达，X向动台，X向马达，X向平台和Y向平台通常采用叠加组合方式，即X向平台加在Y向平台之上，X向马达与Y向动台的一端固定连接。这种二维电动位移平台，当Y向动台在Y向导轨上作往复运动时，输出位移的运动部件(包括X向动台、X向马达、X向驱动杆、Y向动台)质量太大——惯量大，获得大加速度很困难，仅仅实现了位移要求，而在光电仪器尤其是微电子设备中，对其速度要求特别快，简单叠加组合方式的平台达不到快速高效的效果。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种惯量小、位移速度快的二维电动位移平台。

为了解决上述技术问题，本发明的二维电动位移平台包括基台，Y向马达，Y向驱动杆，Y向动台，X向马达，X向驱动杆，X向动台，X向过渡台，Y向过渡台，连动杆；Y向马达固定于基台上，Y向动台置于基台的Y向导轨上，Y向马达通过Y向驱动杆与Y向动台连接；X向动台置于Y向动台的X向导轨上；X向马达固定于基台上；X向过渡台置于基台的X向导轨上，X向马达通过X向驱动杆与X向过渡台连接；Y向过渡台置于X向过渡台的Y向导轨上；连动杆的一端与X向动台固定连接，另一端与Y向过渡台固定连接。

Y向马达通过Y向驱动杆带动Y向动台在Y向导轨上往复运动，Y向过渡台在X向过渡台上作Y向往复移动，此时X向动台、连动杆随Y向动台及Y向过渡台同时作Y向往复移动。X向马达通过X向驱动杆带动X向过渡台在基台的X向导轨上作往复移动，Y向过渡台随X向过渡台移动，同时X向动台及连动杆在Y向动台的X向导轨上作往复移动。

由于X向马达置于基台之上，使得运动部件(包括X向动台、X向过渡台、Y向过渡台、连动杆)质量得到大幅降低，在马达驱动力矩不变的情况下，实现了大加速度，从而提高了位移速度。

附图说明：

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1为现有技术的二维电动位移平台的立体示意图

图2为本发明的二维电动位移平台的立体示意图

具体实施方式：

如图1所示，现有技术的二维电动位移平台包括基台1，Y向马达2，Y向驱动杆3，Y向动台4，X向马达5，X向驱动杆6，X向动台7；Y向马达2固定于基台1上，Y向动台4置于基台1的Y向导轨上，Y向马达2通过Y向驱动杆3与Y向动台4连接；X向马达5与Y向动台4的一端固定连接，X向动台7置于Y向动台4的X向导轨上，X向马达5通过X向驱动杆6与X向动台7连接。

如图2所示，本发明的二维电动位移平台包括基台1，Y向马达2，Y向驱动杆3，Y向动台4，X向马达5，X向驱动杆6，X向动台7，X向过渡台8，Y向过渡台9，连动杆10；Y向马达2固定于基台1上，Y向动台4置于基台1的Y向导轨上，Y向马达2通过Y向驱动杆3与Y向动台4连接，X向动台7置于Y向动台4的X向导轨上；X向马达5固定于基台1上；X向过渡台8置于基台1的X向导轨上，X向马达5通过X向驱动杆6与X向过渡台8连接；Y向过渡台9置于X向过渡台8的Y向导轨上；连动杆10的一端与X向动台7连接为一体，另一端与Y向过渡台9连接为一体或通过焊接、螺钉连接等方式固定连接在一起。