[发明专利]改良的金属-绝缘体-金属电容器有效
| 申请号： | 200780020220.9 | 申请日： | 2007-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN101461060A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 麦可·P.·安东尼 | 申请（专利权）人： | 肯奈特公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许 静 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种指状叉合的金属-绝缘体-金属(MIM)电容器，其提供自屏蔽作用以及具有小额电容数值的精确电容比例。该MIM电容器包含两个终端，它们是延伸至通过一绝缘体来分离的多个指状叉合的指状部。金属平板占据该指状部上方与下方的层并且连接至其中一个终端的指状部。因此，该MIM电容器对一个终端提供自屏蔽作用。通过与该电容器隔离的一系列额外屏蔽层便可运用额外的屏蔽作用。该自屏蔽作用与该额外屏蔽作用亦可实施在一MIM电容器数组处。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 金属 绝缘体 电容器 | ||
【主权项】：
1. 一种指状叉合的金属-绝缘体-金属电容器，其包括：一第一终端，其延伸至形成在一第一层之中的多个平行金属指状部，该平行金属指状部中的两个位于该指状部的最外侧；一第二终端，其延伸至形成在该第一层之中且平行于该第一终端指状部的一或多个金属指状部，该第二终端通过一介电质而与该第一终端分离；以及多个金属平板，它们占据该第一层的上方与下方的层并且分别通过至少一介电层而与该第一层分离，该金属平板平行于该第一层而至少延伸至该最外侧金属指状部，并且被连接至该最外侧金属指状部。
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