[发明专利]改良的金属-绝缘体-金属电容器

权利要求书

1.一种指状叉合的金属-绝缘体-金属电容器，其包括：

一第一终端，其延伸至形成在一第一层之中的多个平行金属指状部，该平行金属指状部中的两个位于该指状部的最外侧；

一第二终端，其延伸至形成在该第一层之中且平行于该第一终端指状部的一或多个金属指状部，该第二终端通过一介电质而与该第一终端分离；以及

多个金属平板，它们占据该第一层的上方与下方的层并且分别通过至少一介电层而与该第一层分离，该金属平板平行于该第一层而至少延伸至该最外侧金属指状部，并且被连接至该最外侧金属指状部。

2.如权利要求1所述的电容器，其中，该最外侧金属指状部被耦合至辅助金属指状部，该最外侧金属指状部以及辅助金属指状部包围该金属指状部中的其它指状部。

3.如权利要求1所述的电容器，其进一步包括屏蔽层，它们占据该多个金属平板的上方与下方的层并且通过分别位于该多个金属平板的上方与下方的至少一介电层而与该金属平板分离，该屏蔽层与该金属指状部产生电隔离。

4.如权利要求3所述的电容器，其进一步包括用于连接该屏蔽层的一连串堆栈金属条与信道，该一连串堆栈金属条与信道以及屏蔽层形成一包围该多个金属平板的屏蔽。

5.如权利要求3所述的电容器，其中，该屏蔽层通过分别位于该多个金属平板的上方与下方的至少两个介电层而与该金属平板分离。

6.如权利要求3所述的电容器，其中，该屏蔽层包含金属平板。

7.如权利要求3所述的电容器，其中，该屏蔽层之一包含一扩散区。

8.如权利要求1所述的电容器，其中，该第二终端延伸超过该多个平行金属指状部一长度，该长度超越由该多个平行金属指状部中一相对应的平行金属指状部所产生的一边缘电场范围，该第二终端的指状部与该第二终端在一超越该边缘电场范围的区域处耦合在一起。

9.如权利要求1所述的电容器，其中，该第二终端延伸超过该多个平行金属指状部一长度，该长度超越由该多个金属指状部所产生的一边缘电场，该第二终端的指状部在一介于该多个金属平板之间的区域处耦合在一起。

10.一种电容器数组，其包括：

至少两个电容器，每一个电容器均包括：

(i)形成在一第一金属层之中且被耦合至多个第一终端中一相对应的第一终端的多个平行金属指状部；以及

(ii)多个金属平板，它们占据该第一层的上方与下方的层并且通过至少一介电层而与该第一层分离，该金属平板设置在其空隙之间并且平行于该第一层而至少延伸至该最外侧金属指状部并且被连接至该最外侧金属指状部；

一第二终端，其形成在该第一金属层之中并且延伸至介于每一个电容器的该多个金属指状部之间的至少一共同金属指状部，该第二终端通过一介电质而与该多个金属指状部分离。

11.如权利要求10所述的数组，其中，该第二终端延伸超过每一个该电容器的该多个平行金属指状部一长度，该长度超越与该金属指状部相隔的一边缘电场范围，该第二终端的指状部在一超越该边缘电场范围的区域处耦合在一起。

12.如权利要求10所述的数组，其中，该第二终端包含多个共同金属指状部，该多个共同金属指状部在一介于该多个电容器中至少其中一个的该多个金属平板之间的区域处耦合在一起。

13.如权利要求12所述的数组，其中，该电容器中至少其中一个包含被耦合至该最外侧金属指状部的辅助金属指状部，该最外侧金属指状部以及辅助金属指状部在三个侧边处包围该共同金属指状部。