[发明专利]物体表面形貌测量方法有效
| 申请号： | 200710201200.3 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101354246A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 刘庆;李军旗;中川威雄 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种物体表面形貌测量方法，包括以下步骤：(1)提供测量装置，该测量装置包括测量端子、传感器及与传感器相连的处理装置，测量端子可沿第一方向移动，传感器用于感测测量端子的位移；(2)将测量端子靠近被测物并使之与被测物表面接触，且将该位置下测量端子与被测物的接触点在处理装置内记录下来；(3)驱动测量端子运动使其与被测物的接触点运动至另一位置，传感器感测测量端子在第一方向的位移动并传送给处理装置，处理装置记录该位置坐标；(4)重复步骤(3)，处理装置记录一系列位置坐标。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 表面 形貌 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种物体表面形貌测量方法，该测量方法包括以下步骤：(1)提供一个测量装置，该测量装置包括测量端子、传感器及与传感器相连的处理装置，测量端子可沿一第一方向移动，传感器用于感测测量端子的位移；(2)将测量端子靠近被测物并使之与被测物表面接触，且将该位置下测量端子与被测物的接触点在处理装置内记录为原始位置；(3)驱动测量端子或被测物运动使测量端子与被测物的接触点运动至另一位置，传感器感测测量端子在第一方向的位移动并传送给处理装置，处理装置记录该位置坐标；(4)多次重复步骤(3)，处理装置记录一系列位置的坐标。
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