[发明专利]物体表面形貌测量方法

权利要求书

1.一种物体表面形貌测量方法，该测量方法包括以下步骤：(1)提供一个测量装置，该测量装置包括测量端子、传感器及与传感器相连的处理装置，测量端子可沿一第一方向移动，传感器用于感测测量端子的位移；(2)将测量端子靠近被测物并使之与被测物表面接触，且将该位置下测量端子与被测物的接触点在处理装置内记录为原始位置；(3)驱动测量端子或被测物运动使测量端子与被测物的接触点运动至另一位置，测量端子始终与被测物表面接触，传感器感测测量端子在第一方向的位移并传送给处理装置，处理装置记录该另一位置的坐标；(4)多次重复步骤(3)，处理装置记录一系列位置的坐标。

2.如权利要求1所述的物体表面形貌测量方法，其特征在于：该测量方法还包括以下步骤：处理装置根据被测物的预定的理想表面形貌的函数计算出一系列被测物表面的理想坐标，并将上述步骤(4)中所记录的坐标与该理想坐标对比，得到一系列坐标差值，由此得到被测物表面形貌与理想形貌的差别。

3.如权利要求2所述的物体表面形貌测量方法，其特征在于：该测量方法还包括以下步骤：该测量装置用于在线测量，处理装置内装有补偿软件及加工程序，加工程序于加工被测物时运用补偿软件根据上述坐标差值对其内加工参数进行修正。

4.如权利要求1所述的物体表面形貌测量方法，其特征在于：在上述驱动测量端子的过程中，驱动测量端子在除去上述第一方向外的至少一个方向运动，测量端子同时在测量装置施加的测量压力作用下沿第一方向移动。

5.如权利要求4所述的物体表面形貌测量方法，其特征在于：设定上述第一方向为Z轴方向，还设定一个垂直于Z轴方向的X轴和一个垂直于Z轴和X轴的Y轴，驱动测量端子在Y＝Y₀的平面内沿平行于X轴的方向运动X_m1，测量端子同时在平行于Z轴的方向运动，处理装置记录的一系列坐标为(X_m1，Y₀，Z_m1)、(X_m2，Y₀，Z_m2)、(X_m3，Y₀，Z_m3)...(X_mi，Y₀，Z_mi)；处理装置根据被测物的理想表面形貌的函数Z＝f(X，Y)，其中Y＝Y₀，计算出一系列被测物表面的理想坐标：(X_m1，Y₀，Z_n1)、(X_m2，Y₀，Z_n2)、(X_m3，Y₀，Z_n3)...(X_mi，Y₀，Z_ni)；处理装置比较各相同X、Y坐标下的Z坐标，得到一系列Z坐标的差值：ΔZ₁＝Z_m1-Z_n1、ΔZ₂＝Z_m2-Z_n2、ΔZ₃＝Z_m3-Z_n3...ΔZ_i＝Z_mi-Z_ni。

6.如权利要求5所述的物体表面形貌测量方法，其特征在于：将测量端子驱动至Y坐标为Y1、Y2、Y3...Yi的平面内，重复权利要求5中的操作。

7.如权利要求1所述的物体表面形貌测量方法，其特征在于：设定上述第一方向为Z轴方向，还设定一个垂直于Z轴方向的X轴和一个垂直于Z轴和X轴的Y轴，同时驱动测量端子在X、Y方向同时移动。

8.如权利要求1所述的物体表面形貌测量方法，其特征在于：该测量装置上设有至少一个用于驱动该测量端子的驱动气缸；该驱动气缸上设有将吹入该驱动气缸内的气体排出一部分而保持该驱动气缸较小驱动压力的气体排出机构。