[发明专利]图像传感器和其制造方法

摘要

本发明提供一种图像传感器。该图像传感器包括第一钝化层、滤色器层、微透镜、最上导电层、第二钝化层和第三钝化层。第一钝化层形成在基板上，该基板包括预定的像素部分和逻辑电路焊盘部分。滤色器层和微透镜形成在与像素部分对应的第一钝化层的部分上。最上导电层形成在与逻辑电路焊盘部分对应的第一钝化层的部分上。第二钝化层形成在与逻辑电路焊盘部分对应的第一钝化层上，以使最上导电层的一部分暴露。第三钝化层形成在第二钝化层上，以暴露最上导电层。

主权项

1.一种图像传感器，包括：位于基板上的第一钝化层，所述第一钝化层包括像素部分和逻辑电路焊盘部分；滤色器层，形成在与像素部分对应的第一钝化层的部分上；微透镜，形成于像素部分上的滤色器层上；最上导电层，形成于与逻辑电路焊盘部分对应的第一钝化层的部分中；第二钝化层，位于与逻辑电路焊盘部分对应的第一钝化层上，并形成该第二钝化层以使最上导电层的一部分暴露；以及第三钝化层，位于逻辑电路焊盘部分上的第二钝化层上，并形成该第三钝化层以暴露最上导电层。