[发明专利]半导体的结构有效
申请号: | 200710101187.4 | 申请日: | 2007-05-09 |
公开(公告)号: | CN101136435A | 公开(公告)日: | 2008-03-05 |
发明(设计)人: | 莊学理;郑光茗;孙元成 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L27/088 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 邢雪红 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种半导体的结构,包括:半导体基底;栅极迭层,在该半导体基底上;应力源,其至少一部分在该半导体基底中且邻接该栅极迭层,其中该应力源包括第一导电型的掺杂质;以及一部分的该半导体基底,邻接该应力源,且该部分的该半导体基底与该栅极迭层分别位于该应力源的两侧,其中该部分的该半导体基底被掺杂该第一导电型的掺杂质。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 | ||
【主权项】:
1.一种半导体的结构,包括:半导体基底;栅极迭层,在该半导体基底上;应力源,其至少一部分在该半导体基底中且邻接该栅极迭层,其中该应力源包括第一导电型的掺杂质;以及部分的该半导体基底,邻接该应力源,且该部分的该半导体基底与该栅极迭层分别位于该应力源的两侧,其中该部分的该半导体基底被掺杂该第一导电型的掺杂质。
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