[发明专利]钛酸锶钡法布里－珀罗光学微腔及制备方法无效
| 申请号： | 200710038665.1 | 申请日： | 2007-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101060231A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 胡古今;洪学鵾;戴宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛酸锶钡FP光学微腔及制备方法，光学微腔由钛酸锶钡铁电布拉格反射膜层和钛酸锶钡缺陷层构成。钛酸锶钡FP光学微腔采用化学溶液法生长，溶剂为冰醋酸，稳定剂为己酰丙酮，增稠剂为聚乙烯吡咯烷酮。溶质为醋酸钡、醋酸锶、正丁醇钛。其中生长缺陷层的溶液中无聚乙烯吡咯烷酮。本发明的优点是：所用设备简单，操作方便。同时，通过选择工艺参数，溶液浓度等手段，可以得到在不同频段工作的铁电单模光学微腔及耦合光学微腔。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸锶钡法布里 光学 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钛酸锶钡FP光学微腔，包括二种结构，一种为单模光学微腔，另一种为耦合光学微腔；其特征在于：单模光学微腔包括：钛酸锶单晶衬底，在衬底上通过化学溶液法依次排列生长如下结构的膜层： 衬底\BST DBRs\BSTzm\BST DBRs；耦合光学微腔包括：钛酸锶单晶衬底，在衬底上通过化学溶液法依次排列生长如下结构的膜层： 衬底\BST DBRs\BSTzm\BST DBRs\BSTzm\BST DBRs；上述膜层中的BST DBRs为FP光学微腔的铁电布拉格反射膜层，其厚度为0.5-3μm，BSTzm为FP光学微腔的缺陷层，其厚度为10-100nm。
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- 本发明公开了一种用于纳米激光器的高斯型金属半导体谐振腔，谐振腔是由半导体材料外包金属壳层构成的双凹形半导体谐振腔，具有高斯光束形状的谐振腔结构。本发明提出了一种新型的高斯型的谐振腔结构来减小金属半导体腔的表面等离激元损耗，这种谐振腔的圆弧形反射面可以将谐振模式集中在腔的中心，使谐振模式的场分布远离金属侧壁从而有效减少金属损耗；谐振腔的弯曲侧壁减小谐振模式垂直于金属侧壁的电场分量，可以进一步抑制表面等离激元损耗；通过合理设计谐振腔的反射面以及弯曲侧壁，可以有效的降低激发谐振腔的阈值电流，为纳米激光器的谐振腔设计及其在光子集成电路、光互连等相关领域提供了技术参考。
- 高速直接调制DFB激光器-201922438265.0
- 朱尧;邹易;王任凡 - 武汉敏芯半导体股份有限公司
- 2019-12-30 - 2020-07-10 - H01S5/10
- 本实用新型属于光电子器件领域，本实用新型公开了一种高速直接调制DFB激光器包括：级联的DFB节和无源腔反馈节，DFB节和无源腔反馈节均为脊波导结构，两个脊之间刻蚀有电隔离槽；所述DFB节从下而上依次设置有第一衬底、第一下缓冲层、光栅层、下分别限制层、有源层、上分别限制层、第一上缓冲层、第一停止腐蚀层、第一包层和第一覆盖层，在第一覆盖层上设有第一电极；所述无源腔反馈节从下而上依次设置有第二衬底、第二下缓冲层、波导芯层、第二上缓冲层、第二停止腐蚀层、第二包层和第二覆盖层，在第二覆盖层上设有第二电极。本实用新型提供的DFB半导体激光器相对于普通脊波导结构的DFB半导体激光器的调制带宽更大。
- 一种介质光学微腔嵌埋黑磷的红外激光器及其制备方法-202010052456.8
- 王少伟;赵新潮;陈旭;吴明飞;陆卫;陈效双 - 中国科学院上海技术物理研究所
- 2020-01-17 - 2020-06-05 - H01S5/10
- 本发明公开了一种介质光学微腔嵌埋黑磷的红外激光器及其制备方法。该结构自下而上依次包括衬底、底层介质布拉格反射镜、底层介质腔层、黑磷二维材料、顶层介质腔层和顶层介质布拉格反射镜。其中底层和顶层介质布拉格反射镜是辐射波段透过的高低折射率材料交替生长而成；底层和顶层介质腔层也是辐射波段透过的材料；光增益材料为黑磷(BP)二维材料。介质布拉格反射镜和介质腔层的制备方法可以采用磁控溅射、电子束蒸发等方法。这种黑磷二维材料嵌埋型微腔激光器具有红外波段发射、单模、低阈值、可室温工作等一系列优点，在光谱学、光通信、信号处理、高通量传感和集成光学系统上有良好的应用前景。
- 用于激光显示的激光光源-201910573109.7
- 郑婉华;徐林海;王宇飞;贾宇飞 - 中国科学院半导体研究所
- 2019-06-27 - 2020-05-22 - H01S5/10
- 一种用于激光显示的激光光源，包括：FP谐振腔区，包括平行的第一端和第二端；第一谐振腔区，包括以后腔面和FP谐振腔区的第一端形成的带切口的第一圆形区域；第二谐振腔区，包括以出光面和FP谐振腔区的第二端形成的带切口的第二圆形区域。本发明通过带切口的两个圆形谐振腔区作为产生混沌模式的谐振腔，通过改变带切口的两个圆形谐振腔的参数来调控腔中的混沌模式数量以及光的出射方向，FP谐振腔区用于衔接两个具有不同切口的圆型谐振腔，以及调控和放大腔中的混沌模式，实现多模激射以降低激光显示中出现的散斑问题，且可以改善用于激光显示的多模激光器的方向性差的问题。
- 一种长波长垂直腔面发射半导体激光器-202010117961.6
- 张星 - 长春中科长光时空光电技术有限公司
- 2020-02-25 - 2020-05-15 - H01S5/10
- 本发明公开了一种长波长垂直腔面发射半导体激光器，包括下波导层；位于下波导层表面的短波发光区；位于短波发光区背向下波导层一侧表面的上波导层；位于上波导层背向下波导层一侧表面的长波发光区；位于长波发光区背向下波导层一侧表面的上光子晶体层；上光子晶体层设置有多个散射柱以形成光子晶体，散射柱沿厚度方向从上光子晶体层背向下波导层一侧表面延伸至上波导层。短波发光区可以产生波长较短的光线并在水平方向上震荡以产生短波长激光。该短波长激光会作为泵浦激光，通过延伸至上波导层的光子晶体传输至长波发光区以激发长波发光区产生长波光线并形成长波长激光出射，使激光器具有较低电阻的同时，具有较好的散热性能。
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