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[发明专利]一种基于干涉条纹的超短飞秒脉冲原位测量方法-CN202111338781.1有效
发明人：曹伟;徐会姚;弥康;张庆斌;陆培祥 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明属于超快激光领域，具体涉及一种基于干涉条纹的超短飞秒脉冲原位测量方法，包括将原始超短飞秒脉冲分成两束，一束作为待测脉冲，另一束用于通过生成高次谐波得到极紫外阿秒脉冲或其脉冲串；控制极紫外阿秒脉冲或其脉冲串与待测脉冲之间的相对延时，之后合并并聚焦在稀有气体上以与稀有气体发生相互作用；阿秒极紫外脉冲和由稀有气体原子虚拟态辐射的光子之间的光学干涉导致了透射光谱中稀有气体原子单电离阈值之上的干涉条纹。微扰理论表明，这种条纹在频域中记录了超短飞秒脉冲的自卷积，可用来直接表征超短飞秒脉冲，无需重构算法。本发明是一种较为简便的用来直接测量飞秒脉冲的全光原位测量方法，可以测量任意少周期激光脉冲。
一种基于干涉条纹超短脉冲原位测量方法

[发明专利]一种高能量少周期蓝光激光产生方法及装置-CN202310138106.7在审
发明人：张庆斌;胡飞龙;王志浩;彭双喜;曹伟;陆培祥 -专利权人：华中科技大学;湖北光谷实验室
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G02F1/37 文献下载
摘要：本发明公开了一种高能量少周期蓝光激光产生方法及装置，属于超快激光技术领域，通过对后压缩后的基频脉冲采用非线性晶体进行倍频，并对所得倍频脉冲进行至少两次脉宽压缩，得到高能量少周期蓝光激光；其中，倍频过程和脉宽压缩过程均在充有氦气的腔体内进行；脉宽压缩过程通过固体薄片进行光谱展宽；由于氦气具有极低的线性色散和非线性系数及极高的电离能，不仅可避免固体薄片损伤，贡献一部分的光谱展宽，还可在色散以及激光引起的电离两方面提供近似真空的环境，使得倍频脉冲的色散补偿更为容易，也避免了气体电离造成的能量损失和对输入能量的限制，允许更高的输出能量；有效解决了当前难以同时实现高能量与超短脉宽蓝光脉冲的问题。
一种高能量周期激光产生方法装置

[发明专利]激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法-CN202010904043.8有效
发明人：王新兵;左都罗;马修泉;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2020-09-01 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。其中，激光等离子体极紫外光源，真空靶室、光学透镜模组、液滴靶发生器和用于收集极紫外光的收集镜；激光通过光学透镜模组形成的光学焦点位于真空靶室的内部；液滴靶发生器用于向真空靶室提供液滴；液滴在真空靶室的移动线路经过光学焦点，以使液滴靶发生器产生的液滴与激光在光学焦点处产生极紫外光；收集镜的收集方向与激光入射方向垂直，且不与液滴的移动方向平行。光学透镜模组的焦点处于真空环境，避免了对其它设备的损坏。同时，本申请的收集器的收集方向与激光入射方向垂直，收集镜的中间不需要开设孔，从而可以收集到更多的光，提高收集效率，进一步的提高了光源的转换效率。
激光等离子体紫外光源紫外光产生方法

[发明专利]一种宽带光源的大视场相干衍射成像方法、装置及系统-CN202211718927.X在审
发明人：曹伟;刘瑞凡;游骐骏;陆培祥 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种宽带光源的大视场相干衍射成像方法、装置及系统，利用衍射矩阵和最小二乘共轭梯度法将宽带衍射图样单色化以减小衍射图样等效带宽，提出了一种可以使叠层相干衍射成像技术在宽带光源入射情况下，空间分辨率大幅提升的方法。衍射矩阵的构建只与衍射图样大小和光谱信息有关，不受光谱采样密度的影响，因此避免了对光谱有限密度采样的结果失真问题。同时，经过处理后获得的单色化衍射图样直接作用于合适的叠层相干衍射成像迭代算法，无需任何插值以及衍射图样叠加操作，降低了重构所需时间，提升了空间分辨率精度。利用单色化处理改善相干衍射成像中对窄带光谱的需求，在使用宽带光源的情况下，极大的保留了其空间分辨能力。
一种宽带光源视场相干衍射成像方法装置系统

[发明专利]一种应用于超快光源的全息成像和装置-CN202310170617.7在审
发明人：曹伟;游骐骏;刘瑞凡;陆培祥 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G03H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于超快光源的全息成像和装置，属于显微成像技术领域。方法包括：在使用宽带光源的情况下，分别采集背景光斑衍射数据和样品衍射数据，将样品衍射数据点除背景光斑衍射数据得到归一化后的全息图；在近场平面对样品函数施加振幅限制和相位限制，以获得完全没有孪生像的重建图像。本发明将全息成像技术应用于超快成像，仅需要输入一副衍射图就可以实现宽带光源的大视场超分辨全息成像，相比于叠层算法，重构所花费的时间极大的减少，并且采集数据所花费的时间也远少于叠层算法；可以提高对光谱的采样密度，减少了重建图像分辨率的损失。
一种应用于光源全息成像装置

[发明专利]极紫外光生成系统、方法、控制装置、控制器和存储介质-CN202310048913.X在审
发明人：马修泉;周世豪;张琳;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光生成系统、方法、控制装置、控制器和存储介质。该系统包括：放大器、至少两个第一泵浦激光器、连接于该激光器和放大器之间的声光调制器；置于放大器输出的激光脉冲的出射路径上的液滴靶生成器；用于获取每个液滴靶的预打靶位置和再打靶位置的位置反馈器；与位置反馈器和声光调制器以及第一泵浦激光器连接的控制器。根据上述打靶位置，确定各泵浦激光器提供产生双峰波形激光脉冲的泵浦能量所对应的目标功率和声光调制器的开关时间比；驱动各激光器提供目标功率的泵浦能量，并按照开关时间比控制声光调制器的通断，使声光调制器输出的双峰波形激光脉冲经放大器放大后，在上述位置轰击液滴靶产生极紫外光。
紫外光生成系统方法控制装置控制器存储介质

[发明专利]极紫外光光刻方法和系统-CN202110843419.3有效
发明人：马修泉;王长久;闻锦程;吴寒;王力波;孙克雄;马新敏;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光光刻方法、系统、计算机设备和存储介质。方法通过获取极紫外光光刻请求；根据所述极紫外光光刻请求生成液滴靶材，并生成液滴靶材对应的多路脉冲激光；将多路脉冲激光聚焦于液滴靶材，以使液滴靶材等离子体化，获取激光等离子体；采集激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源，基于光刻光源完成极紫外光光刻请求对应的光刻任务。本申请针对光源驱动能量不足的问题，将多路脉冲激光经过聚焦后作用于液滴靶材，从而生成激光等离子体，通过多路激光的叠加来获得打靶所需的高能量，可以有效提高光刻光源的发光效率，从而保证紫外光光刻质量。
紫外光光刻方法系统

[发明专利]极紫外光光刻方法和系统-CN202110843435.2有效
发明人：吴寒;闻锦程;马修泉;王力波;孙克雄;马新敏;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光光刻方法、系统、计算机设备和存储介质。方法通过获取极紫外光光刻请求；根据极紫外光光刻请求生成液滴靶材，并生成液滴靶材对应的高功率激光；将高功率激光作用于液滴靶材，以使液滴靶材等离子体化，获取激光等离子体；将高功率激光和预设电磁场同时作用于激光等离子体，以使激光等离子体维持几何形态和激发状态；采集激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源，基于光刻光源完成极紫外光光刻请求对应的光刻任务。本申请将高功率激光和预设电磁场同时作用于激光等离子体，以使激光等离子体维持几何形态和激发状态，从而可以有效提高光刻光源的发光效率，从而保证紫外光光刻质量。
紫外光光刻方法系统

[发明专利]延时电路和极紫外光刻光源-CN202111171343.0在审
发明人：马新敏;吴寒;马修泉;王俊康;王长久;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H03K17/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种延时电路和极紫外光刻光源。该延时电路包括触发电路、压控电流源电路、开断电路、储能元件和电压比较电路。开断电路根据触发电路发送的高电平信号，导通电流源电路的输出端和地的连接；电压比较电路根据储能元件的端电压和基准电压输出延时信号。上述延时电路在触发电路提取到外部触发信号的上升沿或下降沿时，电流源电流输出电流使储能元件开始充电，电压比较电路根据储能元件在充电过程中的端电压和基准电压输出延时信号，所述延时时长即为储能元件的充电时长。通过压控电流源的输入电压即可控制储能元件的延时时长，实现了延时时长高精度调节，且能根据外部触发信号的上升沿和下降沿开启延时，实现灵活触发开启。
延时电路紫外光刻光源

[发明专利]一种光纤网络-CN202111095927.4有效
发明人：王兵;陈浩;叶汉;刘为为;秦承志;陆培祥 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： H04B10/27 文献下载
摘要：本发明公开一种光纤网络，属于光学领域。包括：第一光耦合器的输入端连接第一光纤一端，耦合端连接第四光纤一端，直通端连接第二光纤一端，隔离端连接第三光纤一端；第二光耦合器的输入端连接第二光纤另一端，耦合端连接第三光纤另一端，直通端连接第一光纤另一端，隔离端连接第四光纤另一端；第一光纤与第三光纤的长度差、第二光纤与第四光纤的长度差为0；第一光纤与第二光纤、第四光纤与第三光纤的长度差满足：1)两个长度差相等为正数；2)该长度差保障时延差大于等于2倍入射脉冲的宽度。本发明调节光纤网络结构，实现不同形式的晶格结构，结合晶格特征和演化方程，对脉冲在系统中的演化进行分析和调控。
一种光纤网络

[发明专利]极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统-CN202110458736.3有效
发明人：马修泉;王力波;闻锦程;吴寒;刘怀亮;马新敏;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统。所述方法包括：输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；在液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器发射预脉冲激光，使液滴在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器发射主脉冲激光，使云雾团在主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，等离子体用于产生极紫外辐射。采用本申请实施例方法，能够有效提高等离子体极紫外辐射转换效率。
紫外辐射控制方法装置电子设备系统

[发明专利]极紫外光产生方法及装置-CN202210605785.X在审
发明人：吴寒;徐晨;马新敏;马修泉;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种极紫外光产生方法及装置，极紫外光产生方法包括步骤：不同时间先后产生的激光脉冲分别进入至相应的传输路径的输入端；相对较早产生的激光脉冲经过相对较长的传输路径传递至汇聚点；来自不同传输路径的激光脉冲在汇聚后轰击液滴。激光脉冲在传输路径中传播时，在传输路径中的传播时间与传输路径的长度相关，由于多个传输路径在长度上存在差值，因而不同的激光脉冲的传播时间存在差异。通过不同传输路径上的长度差值而调整激光脉冲到达汇聚点的时间，从而能使产生次序不同的激光脉冲能在同一时间到达汇聚点，使多个能量较低的激光脉冲通过汇聚形成能量较高的激光脉冲，对液滴产生有效的轰击并获取满足功率要求的极紫外光。
紫外光产生方法装置

[发明专利]极紫外光产生装置及方法-CN202011597091.3有效
发明人：马修泉;何泓樟;吴寒;王新兵;左都罗;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光产生装置和方法，该装置包括控制器，以及分别连接控制器的沿目标液滴的运动路径依次设置的目标液滴产生器、液滴检测装置、预脉冲激光光源、云雾团检测装置、轨迹调节装置和主脉冲激光光源。上述装置中，配置液滴检测装置以检测目标液滴的存在，反馈给控制器以用于确定主脉冲激光的主脉冲触发时间。同时配置云雾团检测装置获取目标云雾团的监测信号并发送给控制器，以便于控制器求得目标云雾团的运动轨迹。在目标云雾团的运动轨迹与主打靶位置不相交时，控制器控制轨迹调节装置调节目标云雾团的运动轨迹，减小目标云雾团与主脉冲激光的离焦距离，使目标云雾团和主脉冲激光充分作用，有利于提高打靶激光的能量利用率。
紫外光产生装置方法

[发明专利]极紫外光产生方法和系统-CN202210302262.8在审
发明人：马修泉;刘旭奇;吴寒;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光产生方法及系统，包括：光纤激光光源装置根据激光参数产生激光脉冲；液滴靶生成装置在真空环境中根据液滴靶参数生成两路以上交替喷出的液滴靶流，在预设打靶位置形成重复频率与激光脉冲的重复频率匹配的液滴靶；激光脉冲在预设打靶位置轰击对应的液滴靶，产生极紫外光。通过采用能产生高重复频率激光脉冲满足系统要求的光纤激光光源装置，并搭配液滴靶生成装置生成多路交替喷出的液滴靶流，在预设打靶位置形成重复频率与所述激光脉冲的重复频率匹配的液滴靶，实现多路液滴靶流的液滴靶都能在预设打靶位置完全被激光脉冲轰击得到极紫外光，以较高的轰击频率达到提升极紫外光转换效率的目的。
紫外光产生方法系统

[发明专利]一种测量分子转动温度和排列光强度的方法和系统-CN202210042427.2在审
发明人：何立新;胡建昌;王璞;刘茹萱;兰鹏飞;陆培祥 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量分子转动温度和排列光强度的方法和系统，属于分子转动动力学领域，包括：将两束排列光先、后作用于待测气体分子，以诱导其出现分子排列回声，后作用的排列光为待测排列光；获取不同排列光延迟下的分子排列回声强度和双折射信号峰、谷值之间的时间间隔；求解分子排列回声强度随排列光延迟变化的模拟曲线，并求解模拟误差；求解不同待测排列光的强度对应的模拟误差，将最小误差对应的强度确定为待测排列光的强度；按照同样的方式确定另一排列光的强度；在所确定的排列光强度下，获得一组排列光延迟和对应的峰谷时间间隔，在预先建立的三维模拟图中获得对应的分子转动温度。本发明能够提高分子转动温度和排列光强度的测量精度。
一种测量分子转动温度排列强度方法系统

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