[发明专利]具有多个异相电极的高频等离子体源有效
| 申请号： | 200680016368.0 | 申请日： | 2006-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101194338A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 艾伯特·罗杰斯·埃林博 | 申请（专利权）人： | 都柏林城市大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李德山;朱胜 |
| 地址： | 爱尔兰*** | 国省代码： | 爱尔兰;IE |
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| 摘要： | 本发明描述了一种等离子体源，所述源包括由多个电极形成的无功阻抗元件。通过提供这样的多个电极并向彼此异相的相邻电极供电，可改善所产生的等离子体的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多个异相 电极 高频 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体源，包括等离子体激励区域和等离子体激励无功阻抗元件，所述源的特征在于，所述等离子体激励无功阻抗元件包括多个电极，所述电极耦合到高频发生器，其中，在使用中，将所述电极耦合到所述发生器后，所述多个电极中的相邻电极彼此异相。
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