[发明专利]用于使物体以二自由度倾斜的微机电装置无效
| 申请号： | 200680002523.3 | 申请日： | 2006-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN101107195A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | M·T·梅韦斯;D·范利洛普;R·J·阿斯杰斯;G·L·M·扬森;E·C·E·范格鲁斯温;D·M·布劳沃 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于使物体(2)以二自由度倾斜的微机电装置(1’)，其包括承载元件(3)和隔膜(4)，所述物体(2)通过隔膜(4)与承载元件(3)连接，其中物体(2)和承载元件(3)分别包括至少一个电极(5，6)。物体(2)通过物体(2)的至少一个电极(5)与承载元件(3)的至少一个电极(6)之间的静电力(7)被倾斜，电压从电压源(V1，V2)施加到电极(5，6)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物体 自由度 倾斜 微机 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于使物体(2，2a)以二自由度倾斜的微机电装置(1，1’，1″)，所述微机电装置包括承载元件(3，3a)和隔膜(4，4a)，物体(2，2a)通过隔膜(4，4a)与承载元件(3，3a)连接，其中物体(2，2a)和承载元件(3，3a)分别包括至少一个电极(5，6，6a)，且物体(2，2a)通过物体(2，2a)的至少一个电极(5)与承载元件(3，3a)的至少一个电极(6，6a)之间的静电力(7)被倾斜，电压从电压源(V)施加到电极(5，6，6a)。
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