[发明专利]焊垫无效
申请号: | 200610001672.X | 申请日: | 2006-01-20 |
公开(公告)号: | CN1941344A | 公开(公告)日: | 2007-04-04 |
发明(设计)人: | 苏文才;沈晋吉;邱明哲;陈志强 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 台湾省新竹科学*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种焊垫。上述焊垫包含一具导电性的导体-绝缘体复合层于一基底上。上述具导电性的导体-绝缘体复合层包含:一复合材质区,具有一导体部与相邻的一绝缘体部;以及一单一材质区相邻于上述复合材质区。上述具导电性的导体-绝缘体复合层中的绝缘体的硬度大于其导体的硬度。本发明所述焊垫,在晶圆测试时,氧化硅层具有较高的硬度,可有效地阻挡探针的滑动,而使其对焊垫的伤害受到限制。当金线通过金球连接于焊垫时,由于焊垫的伤害受到限制,金属层就不会发生剥离。金属层就可以有效地保护导体-绝缘体复合层,使其不会受到腐蚀。因此,金球与焊垫之间的有效接合面积就不会受到缩减,而能增加两者之间的接合强度与可靠度。 | ||
搜索关键词: | 焊垫 | ||
【主权项】:
1.一种焊垫,其特征在于,所述焊垫包含:一具导电性的导体-绝缘体复合层于一基底上,该具导电性的导体-绝缘体复合层包含:一复合材质区,具有一导体部与相邻的一绝缘体部;以及一单一材质区相邻于该复合材质区,其中该具导电性的导体-绝缘体复合层中的绝缘体的硬度大于其导体的硬度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司,未经台湾积体电路制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200610001672.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。