[发明专利]具有翼状物的互连结构有效
| 申请号： | 200510002650.0 | 申请日： | 2005-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN1805138A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | S·苏塔迪亚 | 申请（专利权）人： | 马维尔国际贸易有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/52 | 分类号： | H01L23/52;H01L27/092;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 巴巴多斯*** | 国省代码： | 巴巴多斯;BB |
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| 摘要： | 一种用于将第一集成电路连接到第二集成电路的互连结构，该互连结构包括：第一介电层；第一金属装配层，其被布置在所述第一介电层的一侧；第二金属层，其被布置在所述第一介电层的相反侧；通路孔，所述通路孔将所述第一金属装配层连接到所述第二金属层。所述第一金属装配层定义了彼此间电气绝缘的第一、第二和第三接触部分，所述第一和第三接触部分具有一个基座部分以及从所述基座部分中伸出的翼状物，所述第二接触部分为大致矩形，并被容纳在所述第一和第三接触部分的所述翼状物之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 翼状物 互连 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于将第一集成电路连接到第二集成电路的互连结构，其包括：一个第一介电层；一个第一金属装配层，其被布置在所述第一介电层的一侧；一个第二金属层，其被布置在所述第一介电层的相反侧；通路孔，所述通路孔将所述第一金属装配层连接到所述第二金属层，其中所述第一金属装配层定义了彼此间电气绝缘的第一、第二和第三接触部分，所述第一和第三接触部分包括一个基座部分以及从所述基座部分中伸出的翼状物，所述第二接触部分被容纳在所述第一和第三接触部分的所述翼状物之间。
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