[发明专利]微型倒装晶体管及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200410014834.4 申请日: 2004-05-01
公开(公告)号: CN1571150A 公开(公告)日: 2005-01-26
发明(设计)人: 王新潮;吴振江 申请(专利权)人: 江苏长电科技股份有限公司
主分类号: H01L23/48 分类号: H01L23/48;H01L23/495;H01L29/73;H01L21/331;H01L21/56
代理公司: 江阴市同盛专利事务所 代理人: 唐纫兰
地址: 214431江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种微型倒装晶体管及其制备方法,包括晶体管芯片1、引线框架2和塑封体3,其特点是晶体管芯片的集电极、基极、发射极三个电极都是从芯片同一表面引出,三个电极上均设置有微型凸起,晶体管芯片向下倒装,其表面的三个微型凸起电极与引线框架上相应的电极直接焊接。其制备方法为:在一高浓度N+单晶片上,做一层N型外延层,在集电极C引出部位下面,先进行高浓度N+磷预扩散,把N型外延层扩穿,使集电极C与N+衬底连通起来,再在外延层上先用B离子注入的方法做一个P型基区,同时形成集电结,然后在基区内一特定范围磷扩散,形成N+发射区及发射结,然后正面蒸铝,反刻铝形成发射极E,基极B。本发明的晶体管薄、小、轻,且有良好的电流特性及散热特性。
搜索关键词: 微型 倒装 晶体管 及其 制造 方法
【主权项】:
1、一种微型倒装晶体管,包括晶体管芯片(1)、引线框架(2)和塑封体(3),塑封体(3)将晶体管芯片(1)和引线框架(2)包覆住,晶体管芯片(1)上设置有集电极、基极、发射极三个电极,引线框架(2)上设置有相应的三个电极,其特征在于晶体管芯片(1)的集电极、基极、发射极三个电极都是从芯片(1)同一表面(11)引出,三个电极上均设置有微型凸起(12、13、14),晶体管芯片(1)向下倒装,其表面(11)的三个微型凸起电极(12、13、14)与引线框架(2)上相应的电极直接焊接。
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