[发明专利]包含集成格状电容器结构的半导体组件无效
申请号: | 03808637.9 | 申请日: | 2003-04-09 |
公开(公告)号: | CN1647274A | 公开(公告)日: | 2005-07-27 |
发明(设计)人: | N·达达尔特 | 申请(专利权)人: | 因芬尼昂技术股份公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01L21/02;H01L23/498;H01L23/538;H01G4/012 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张雪梅;张志醒 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 一种绝缘层,被制造于具有一电容器结构(K)之半导体基板上。该电容器结构(K)具有至少一第一子结构(T1a),其具有一金属格状区域(G1a至G1c)及被安置于该格状区域(G1a至G1c)中的截断之中的电导区域(P1a至P1c),该格状区域(G1a至G1c)乃电连接至第一连接线路,而该电导区域(P1a至P1c)被电连接至一第二连接线路。 | ||
搜索关键词: | 包含 集成 格状 电容器 结构 半导体 组件 | ||
【主权项】:
1.一种半导体组件,具有一半导体基板、被制造于该半导体基板上之一绝缘层,及具有被制造于该绝缘层中之电容器结构(K),其特征在于-该电容器结构(K)具有一第一子结构(T1a),其具有本质上与平行该基板表面之一平面(M1)平行且电连接至一第一连接线路之一聚合格状金属区域(G1a),及-该第一子结构系具有电导区域(P1a;KN),其以距该平面(M1)中之截断边缘区域一距离的形式被安置于该第一子结构(T1a)之该格状区域(G1a)中的截断中,且该电导区域(P1a;KN)乃电连接至一第二连接线路。
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