[发明专利]双波长纳米精度实时干涉测量仪无效
| 申请号： | 02112079.X | 申请日： | 2002-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1384332A | 公开（公告）日： | 2002-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王学锋;王向朝;刘英明;钱锋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海开祺专利代理有限公司 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种双波长纳米精度实时干涉测量仪,适用于静态位移的测量。包括两个波长不相等的带有驱动电源和温度控制器的光源。光源发射光束的传输路径全部在光纤、合波元件和光纤耦合器内进行。两驱动电源之间连接有控制初始相位相同的触发控制器。光电转换元件将接收到的干涉信号转换成电信号输入到信号处理器内。信号处理器的另外两个输入端口分别与两个驱动电源相连。经信号处理器处理的数据显示在数字显示器上。与在先技术相比,本发明能够实时得到测量结果,测量精度比在先技术提高两个数量级,达到小于10纳米。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 纳米 精度 实时 干涉 测量仪 | ||
【主权项】：
1.一种双波长纳米精度实时干涉测量仪，包括：带有第一驱动电源(1)和第一温度控制器(18)的第一光源(13)发射的光束通过第一段光纤(1301)射入第一隔离器(14)内，由第一隔离器(14)出射后，通过第二段光纤(1302)由合波元件(7)的第二端口b射入，从合波元件(7)的第三端口(c)射出后，再通过第三段光纤(1303)由光纤耦合器(8)的第一端口(P1)射入，从光纤耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，再通过第四段光纤(1304)，经过准直器(15)准直，透过部分反射元件(16)射到被测物体(17)上；由光纤耦合器(8)第二端口(P2)出射的光束经过第七段光纤(801)射到光电转换元件(9)上，由光纤耦合器(8)第四端口(P4)出射的光束经过第八段光纤(802)射到防反射元件(12)上；其特征在于：有波长λ2不等于第一光源(13)的波长λ1的带有第二驱动电源(3)和第二温度控制器(4)的第二光源(5)，由第二光源(5)发射的光束通过第五段光纤(501)，经过第二隔离器(6)，再经过第六段光纤(502)由合波元件(7)的第一端口(a)射入，同样从合波元件(7)的第三端口(c)射出后，再通过第三段光纤(1303)由光纤耦合器(8)的第一端口(P1)射入，从光纤耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，再通过第四段光纤(1304)，经过准直器(15)准直，透过部分反射元件(16)射到被测物体(17)上；第一驱动电源(1)和第二驱动电源(3)之间连接有触发控制器(2)；有包含三个输入端口(11a、11b、11c)和一个输出端口(11d)的信号处理器(11)，信号处理器(11)的第一输入端口(11a)与光电转换元件(9)的输出端相连，信号处理器(11)的第二输入端口(11b)与第二驱动电源(3)相连，信号处理器(11)的第三输入端口(11c)与第一驱动电源(1)相连，信号处理器(11)的输出端口(11d)连接到数字显示器(10)上。
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- 光距离测定装置(100、100a)具备：分支部(103)，其对激光进行分支，作为测定光及参照光输出；测定光分支部(104)，其对测定光进行分支，作为第1测定光及第2测定光输出；参照光分支部(105)，其对参照光进行分支，作为第1参照光及第2参照光输出；第1光学系统(131)，其具有第1瑞利长度，用于向对象物(20)照射第1测定光；第2光学系统(132)，其具有与第1瑞利长度不同的第2瑞利长度，用于向对象物20照射第2测定光；第1接收部(141)，其接受第1参照光、和第1测定光在对象物20反射后的光即第1反射光，输出表示第1参照光和第1反射光的第1接收信号；以及第2接收部(142)，其接受第2参照光、和第2测定光在对象物20反射后的光即第2反射光，输出表示第2参照光和第2反射光的第2接收信号。
- 光干涉测距传感器-202310193331.0
- 木村和哉;长崎裕介;早川雅之 - 欧姆龙株式会社
- 2023-02-28 - 2023-09-12 - G01B9/02002
- 本发明提供的光干涉测距传感器，通过由受光部以适当的信号强度接收来自各干涉仪的返回光，从而能够高精度地进行测距。光干涉测距传感器(100)具备：光源(110)，在改变波长的同时投射光；多个干涉仪(130a～130c)，生成基于测定光和参考光的干涉光；多级的光耦合器(120a～120c)；受光部(140a～140c)，接收各干涉光并转换为电信号；以及处理部(150)，根据通过受光部转换的电信号算出到测量对象物为止的距离，向多级的光耦合器(120a～120c)供给的光按照朝向分别对应的干涉仪的第一分支比和朝向该光耦合器的后级的第二分支比分支，这些分支比至少根据该光耦合器的第一分支比及该光耦合器的后级的光耦合器的第一分支比与第二分支比之积进行设定。
- 一种超长寿命防伤的干涉仪检具-202320698285.5
- 占小云 - 三明福特科光电有限公司
- 2023-04-03 - 2023-09-12 - G01B9/02055
- 本实用新型涉及一种超长寿命防伤的干涉仪检具，包括环状支撑体和3个环绕环状支撑体中心、等间隔固定连接于所述的环状支撑体内侧壁上的支撑臂；每一个支撑臂均由环状支撑体内侧壁向环状支撑体中心延伸，且其自由端都设有一个向上延伸的支撑柱，每个支撑柱的顶部设置有一个直径相等且由硬质材料制成并且表面光滑的圆球体，且各圆球体的球心位于环绕环状支撑体中心线的同一圆周位置上且位于垂直环状支撑体中心线的同一平面内。它在使用时，由于支撑柱上连接有质地硬、不容易磨损且圆滑的圆球体，因此它不仅不易对检测的镜片造成伤痕，而且也不会造成自身的磨损，所以可以不用每天对该检具进行尖锐角测量和修复，避免造成浪费时间和消耗检具的问题。
- 一种分频拼接干涉仪-202310561993.9
- 李明;张冬霓;刘鹏;张常睿;崔荣丽;盛伟繁;董宇辉;陶冶 - 中国科学院高能物理研究所
- 2023-05-18 - 2023-09-08 - G01B9/02
- 本发明公开了一种分频拼接干涉仪，其特征在于，包括一套多维位移台，一套待测镜调姿机构，一台干涉仪，两台测角装置和一数据处理单元；所述干涉仪、测角装置、待测镜调姿机构位于多维位移台上；干涉仪用于获取待测镜各子口径的面形并将其发送给数据处理单元；数据单元用于对待测镜各子口径的面形进行拼接得到镜面面形h(x,y)，对h(x,y)进行低通滤波并取滤波后面形中满足y＝y
- 一种关于磷灰石裂变径迹定年分析方法-202310581277.7
- 杨静;施炜;王森;张拴宏;娄玉行;马立成 - 中国地质科学院地质力学研究所
- 2023-05-23 - 2023-09-05 - G01B9/02
- 本发明涉及地球科学技术领域。本发明涉及一种关于磷灰石裂变径迹定年分析方法。其包括以下步骤：定范围采集矿石样品，对矿石样品表面进行分析，并对矿石样品中的裂变径迹区域进行评估；对该矿石样品中裂变径迹区域的评估，对其进行清洗预处理，并根据裂变径迹区域在范围内寻找其他相似的矿石样品；本发明通过三维成像对矿石样品进行了高精度的量化分析和计算，操作更加简单、准确，大幅降低了样品交叉污染和人工刻度误差等因素，同时提高了检测效率和生产率，通过进行自动化识别分析矿石年龄，精度高、速度快，并避免人工识别而导致的误差，再通过将同区域的矿石进行采集比对，为矿石样品年龄确定提供可靠的数据基础。
- 一种分光干涉仪及其成像光路-202310663229.2
- 王瑞 - 苏州因确匹电子科技有限公司
- 2023-06-06 - 2023-09-01 - G01B9/02015
- 本发明公开了一种分光干涉仪及其成像光路，成像光路包括：第一镜片组用于接收成像光束，并对成像光束进行准直形成第一准直光束，色散元件用于展开准直光束形成色散光束，第二镜片组用于对色散光束进行聚焦形成第一聚焦光束，第三镜片组用于对第一聚焦光束进行准直形成第二准直光束，扫描镜用于扫描第二准直光束形成扫描光束，第四镜片组用于聚焦扫描光束至面阵相机，控制器用于控制扫描镜的扫描频率和面阵相机的曝光频率相同；扫描镜变化一个扫描角度，面阵相机的由上一列像素采样扫描光束转换为相邻的下一列像素采样扫描光束。该成像光路的成像速度和时间分辨率得到显著提升。
- 具有方向灵敏度的干涉仪头-202180085846.8
- A·辛克;E·M·克拉伦贝克;E·A·F·范德帕施 - ASML荷兰有限公司
- 2021-11-30 - 2023-08-29 - G01B9/0209
- 公开了干涉仪头。输入辐射束的第一部分入射在第一部分反射表面上并从第一参考表面朝向第一输出端子反射。输入辐射束的第二部分入射在第二部分反射表面上并从第二参考表面朝向第二输出端子反射。输入辐射束的第三部分朝向测量表面传输。来自测量表面的反射束的第一部分从第二部分反射表面朝向第二输出端子反射。来自测量表面的反射束的第二部分从第一部分反射表面朝向第一输出端子反射。偏移角在来自第一输出端子的第一输出辐射束和来自第二输出端子的第二输出辐射束之间被实现。
- 专利分类
