专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]高介电常数氧化物膜的制造法、含该膜的电容器及制造法-CN200410028392.9无效
  • 李正贤;徐范锡;闵约赛;曹永真 - 三星电子株式会社
  • 2004-03-11 - 2004-09-22 - H01L21/31
  • 本发明提供一种高介电常数氧化物膜的制造法、含该膜的电容器及制造法。制造高k介电氧化物膜的步骤是:(a)将半导体衬底装载到ALD装置中;(b)在半导体衬底上沉积具有第一元素和第二元素的预定成分比的反应材料;和(c)通过氧化反应材料使得第一元素和第二元素同时氧化,在半导体衬底上形成具有所述两种元素的第一高k介电氧化物膜。在该方法中,减小了装置的尺寸,提高了产量,且降低了制造成本。而且该高k介电氧化物膜表现出高介电常数和低泄漏电流和陷阱密度。于是,包括作为介电膜的该高k介电氧化物膜的电容器也表现出低泄漏电流和陷阱密度。
  • 介电常数氧化物制造电容器

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