专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]平面化半导体基片的方法-CN98114960.X无效
  • 金昶圭;崔志铉;洪锡智 - 三星电子株式会社
  • 1998-05-17 - 2003-05-28 - H01L21/31
  • 一种平面化半导体基片的方法,利用半导体基片上绝缘体腐蚀选择性的差别。该方法包括的步骤是湿法腐蚀凸出区上部边缘的第二和第一绝缘层直到第一绝缘层的部分在上部边缘露出为止;在第一和第二绝缘层上形成第三绝缘层;湿法腐蚀第三和第二绝缘层直到第一绝缘层的上部表面露出为止。湿法腐蚀期间,第二绝缘层的腐蚀要比第三绝缘层快。借助这种方法,半导体基片具有平的表面。
  • 平面化半导体方法
  • [发明专利]电介质形成方法-CN94115591.9无效
  • 朴仁善;李明范;洪昌基;金昶圭;郑佑仁 - 三星电子株式会社
  • 1994-08-30 - 2000-04-12 - H01L21/00
  • 一种形成电介质的方法,其中采用了其沉积速率随下层电极性而改变的介电材料,并对导电层和下层电介质进行表面处理以得到不同的电极性,从而利用介电材料在导电层上和在下层电介质上沉积速率的不同来形成电介质。为实行此方法,提供了一种在其基座和气体注入部分之间连接有直流电源的CVD设备。此方法及设备可在低温下运行而且工艺得到了简化,从而获得极好的整平性和沉积特性。
  • 电介质形成方法

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