专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体器件的金属-CN98105194.4无效
  • 德克·托本;布鲁诺·施普勒;马丁·古奇;彼得·韦甘德 - 西门子公司
  • 1998-03-31 - 2004-06-16 - H01L23/522
  • 一种用于在一个基片上形成多条导线的方法,包括步骤:在基片的表面形成一个相对非平面的金属层;在该金属层的表面上沉积自平面材料,以形成与相对非平面的金属层相比具有相对平面的表面的平面层;在平面层的表面沉积一个光致抗蚀层;对光致抗蚀层构图,使其形成掩模,以便选择性地暴露平面层;在平面层的暴露部分和平面层暴露部分之下的非平面的金属层上蚀刻出沟槽,以形成导线,其中这些导线被沟槽隔离开。
  • 半导体器件金属化
  • [发明专利]用于高级微电子应用的平面薄膜及其生产装置和方法-CN200380110394.6无效
  • W·黄;J·肯尼迪;R·卡特萨尼斯 - 霍尼韦尔国际公司
  • 2003-10-27 - 2006-07-12 - G03C1/00
  • 本文中披露了一种平面组合物,其包括:a)结构组分;和b)溶剂体系,其中该溶剂体系与结构组分相容并且降低了平面组合物的至少一种分子间力分量或表面力分量。还披露了一种包括该平面组合物的薄膜。另外,本文中披露了另一种平面组合物,其包括:a)基于甲酚的聚合物化合物;和b)包含至少一种醇和至少一种基于醚乙酸酯的溶剂的溶剂体系。还披露了一种包括该平面组合物的薄膜。本文中还披露了一种层状元件,其包括:a)具有表面形貌的基质;和b)例如本文中所述的那些的平面组合物或薄膜,其中该组合物被偶合到基质上。本文中还披露了形成平面组合物的方法,其包括:a)提供一种结构组分;b)提供一种溶剂体系,其中该溶剂体系与结构组分相容并且降低了平面组合物的至少一种分子间力分量或表面力分量;和c)将结构组分和溶剂体系共混以形成平面组合物还披露了形成薄膜的方法,其包括:a)提供一种例如本文中所披露的那些的平面组合物;和b)将至少部分溶剂体系蒸发以形成薄膜。
  • 用于高级微电子应用平面化薄膜及其生产装置方法
  • [发明专利]平面腐蚀半导体器件的方法-CN98103051.3有效
  • 朴桂仙;金贤洙 - 三星电子株式会社
  • 1998-07-21 - 2003-12-17 - H01L21/302
  • 本发明公开了一种平面腐蚀半导体器件以使微痕发生频率最小的方法,其中制备老化至少两小时的悬浮液以平面腐蚀形成在半导体衬底上的层。在老化期间较重的悬浮颗粒聚集在容器的下部。除了重颗粒之外,容器上部的悬浮液可用于平面腐蚀层。根据制造半导体器件的这种方法,至少老化悬浮液两个小时,由此在平面腐蚀工艺期间使较重悬浮颗粒的微痕发生频率最小,并且悬浮液的质量几乎不影响平面腐蚀工艺。
  • 平面化腐蚀半导体器件方法
  • [发明专利]投射阴影的自动陷印-CN200780043908.9有效
  • S·R·亚汉恩;R·史蒂文森;D·R·贝克尔 - 奥多比公司
  • 2007-10-09 - 2009-09-23 - G06T15/50
  • 对于毗邻包括投射阴影的原子区域的至少一个分段,以及对于分段的每一侧,确定该侧毗邻的原子区域的第一平面颜色,以及如果该原子区域包括投射阴影,则另外确定忽略投射阴影颜色的第二平面颜色。确定来自该侧第一平面颜色的有效中性密度,如果该侧具有第二平面颜色,则确定该侧的第二平面颜色。基于针对各侧的有效中性密度来陷印毗邻于分段的两个原子区域。
  • 投射阴影自动
  • [发明专利]缺陷平面-CN201680017309.9有效
  • P·J·赖利;D·A·贝思克;K·李 - 应用材料公司
  • 2016-03-23 - 2021-09-14 - H01L21/02
  • 本公开内容的多个方面涉及在图案的基板上形成平面非晶碳层的方法。根据本文所概述的实施例形成的层可通过以下方式来提高制造良率:无论下层拓扑或化学计量变化如何都使非晶碳层的顶表面更平面。本文中所述的方法可以包括:以相对于烃的相对高的比率将含氢前体引入基板处理区域中,并且同时将局部等离子体功率电容性地施加至基板处理区域以形成平面层。
  • 缺陷平面化
  • [发明专利]发光显示设备-CN201510779389.9有效
  • 金律局;金圣雄 - 三星显示有限公司
  • 2015-11-13 - 2021-02-05 - H01L27/32
  • 发光显示设备包括衬底、平面图案、第一电极、像素限定层、有机层以及第二电极,其中衬底包括设置在第一方向和与第一方向相交的第二方向的多个像素,该多个像素包括第一主像素块和第二主像素块;平面图案设置在衬底上;对于多个像素的每个像素,第一电极位于平面图案上;像素限定层在衬底上划分各像素并且具有用于暴露第一电极的开口;有机层位于第一电极上;以及第二电极位于有机层上,其中第二主像素块中的像素的平面图案的厚度大于第一主像素块中的像素的平面图案的厚度
  • 发光显示设备

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