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[发明专利]一种二维解耦力矩触觉传感器及MEMS制备方法-CN202110499686.3有效
发明人：刘超然;陆稞;董林玺;车录锋;王高峰 -专利权人：昆山朗德森机电科技有限公司
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：一种二维解耦力矩触觉传感器及MEMS制备方法。一种二维解耦力矩触觉传感器，包括玻璃基底和设于玻璃基底上的敏感块；敏感块水平的四个侧面均依次设有角传感基板、弹性梁和支撑侧台，角传感基板的水平上表面设有上电极；玻璃基底内与上电极相应的位置均设有底部电极；上电极与相应的底部电极形成平行板电容器；支撑侧台与玻璃基底固定连接；敏感块受力矩可使角传感基板发生角度偏移，从而改变平行板电容器的电容值。本发明的传感器体积小，对于二维力矩的检测的灵敏度高。本发明的传感器可通过四个上电极与其对应的底部电极之间形成的四个平行板电容器的电容值的变化量的具体数值及大小关系可以实现传感器对力矩大小的测量和方向的判别。
一种二维力矩触觉传感器 mems 制备方法

[发明专利]一种低噪声MEMS加速度计-CN202310893480.8在审
发明人： 车录锋;陈梦佳 -专利权人：浙江大学;浙江大学绍兴研究院;绍兴市科技创业投资有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种低噪声MEMS加速度计，通过大尺寸质量块、多组串联折叠梁、带空腔的上下玻璃盖板结构，增大了敏感质量、降低了谐振频率、提高了品质因子，实现了低热机械噪声的加速度计；同时，本发明提出的基于三角形电极的位移‑电容传感阵列，优化了单位面积内的电极排布方式，提高了电容传感灵敏度。本发明通过深反应离子刻蚀技术实现了低噪声的质量‑弹簧振子结构，通过热压键合和胶键合的方式实现了玻璃‑硅‑玻璃的三明治加速度计结构，提高了MEMS加速度计的性能。
一种噪声 mems 加速度计

[发明专利]一种采用内阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法-CN202110637036.0有效
发明人：郝寅雷;牛梦华;邓鑫宸;车录锋;周柯江 -专利权人：浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G02B6/134 文献下载
摘要：本发明公开了一种在玻璃基片背面采用内阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法。包括：将玻璃基片置于含K+熔盐中进行离子交换处理，在所述玻璃基片背面对应的非光波导区域形成高电阻率的内阻挡层；通过离子交换处理和电场辅助离子迁移处理，在背面带有内阻挡层的玻璃基片上形成掩埋式离子掺杂区；其中，在进行所述电场辅助迁移处理过程中，玻璃基片背面高电阻率的内阻挡层使离子掺杂区附近的电场分布呈现横向汇聚的特征，抑制了玻璃基片中离子掺杂区在电场辅助离子迁移过程中的横向展宽趋势，提高了玻璃基片中作为光波导芯部的掩埋式离子掺杂区的对称性。
一种采用阻挡提高玻璃波导对称性方法

[发明专利]一种可实现干扰模态隔离的解耦型音叉硅微机械陀螺仪-CN202310293995.4在审
发明人： 车录锋;陈邦亮 -专利权人：浙江大学;浙江大学绍兴研究院;绍兴市科技创业投资有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明提出了一种可实现干扰模态隔离的解耦型的音叉硅微机械陀螺仪，其包括基底、驱动质量块、检测质量块、耦合结构、转动框架、弹簧梁。驱动质量块和检测质量块由弹簧梁支撑悬浮在XY平面内，驱动模态下陀螺左右侧边的驱动质量块带动检测质量块分别沿Y轴方向反相振动；当有Z轴角速度输入时，左右侧边的检测质量块受科氏力作用分别沿X轴方向反相振动；转动框架实现驱动质量块间耦合，使驱动质量块在XY平面内振动，并限制其他方向上的位移；耦合结构可以抑制检测质量块的同相运动。本发明提出的陀螺能够降低工艺误差对陀螺产生的影响，提高陀螺的鲁棒性和热稳定性，抑制机械耦合干扰，增强抗线加速度响应能力，实现陀螺性能和可靠性的提升。
一种实现干扰隔离解耦型音叉微机陀螺仪

[发明专利]一种基于声子晶体结构进行粒子分选的微流控装置-CN202310245299.6在审
发明人： 车录锋;邵桐 -专利权人：浙江大学;浙江大学绍兴研究院;绍兴市科技创业投资有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于声子晶体结构进行粒子分选的微流控装置，其包括压电叉指换能器结构，使用超声耦合胶粘接在压电叉指换能器结构上层的声子晶体结构，声子晶体结构包围的体声波反射区域，体声波反射区域内的微流道结构，微流道结构上方的封装层，封装层内的一个微流道入口和三个微流道出口。本发明公开了基于声子晶体结构进行粒子分选的微流控装置，具有高通量和低剪切力的特点，大量分选的同时不会损伤分选样本中微粒的生物活性。本发明中，仅使用单个声波的激励装置即压电叉指换能器结构实现粒子分选，然后使用超声波耦合胶将上层的声子晶体结构粘接在压电叉指换能器上，有效控制声波的同时减少了叉指换能器的数量。
一种基于晶体结构进行粒子分选微流控装置

[发明专利]一种压力传感器系统-CN202310245295.8在审
发明人： 车录锋;李鹏军;章贺芬 -专利权人：浙江大学;浙江大学绍兴研究院;绍兴市科技创业投资有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力传感器系统，整个压力传感器系统主要包括MEMS压力传感器模块和连接器构件。MEMS压力传感器模块主要由陶瓷基板上的MEMS压力传感器芯片和信号调理芯片组成，陶瓷基板下有个完全贯穿的孔，MEMS压力传感器芯片与该孔连通，连接器构件通过自身与陶瓷基板的通孔给MEMS压力传感器模块提供压力，并通过单片机对MEMS压力传感器模块的输出信号进行滤波处理，提升压力传感器系统的性能。MEMS压力传感器模块的陶瓷基板及保护盖使其机械强度和绝缘性等性能相比于传统的压力传感器得到改善，并且将压敏元件与测试电路结合到一个模块中，减小了系统的整体尺寸，提高了系统的可靠性。
一种压力传感器系统

[发明专利]一种垂直梳齿驱动的三维MEMS微镜-CN202211738957.7在审
发明人： 车录锋;郑雪 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种垂直梳齿驱动的三维MEMS微镜，该微镜结构，包括表面有一层金属薄膜的微镜、与微镜相连的折叠梁、与折叠梁相连的扭转梁、与扭转梁相连的四个垂直梳齿驱动器；驱动器包括中间轴、两个支撑梁、一组垂直梳齿组和另一组垂直梳齿组，两组垂直梳齿组的梳齿排列方式不同。本发明在实现微镜双轴扭转驱动的基础上，还实现了平面外的垂直方向的上下运动；同时，该结构还可以降低驱动电压、增大驱动角度，有效提高驱动效率，并实现高速驱动；本发明通过将两片硅晶圆键合实现了该三维MEMS微镜结构，同时利用自对准技术实现了高精度的垂直梳齿结构，提高了三维MEMS微镜的性能。
一种垂直梳齿驱动三维 mems 微镜

[发明专利]一种采用外部阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法-CN202110637053.4有效
发明人：郝寅雷;牛梦华;邓鑫宸;车录锋;周柯江 -专利权人：浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G02B6/134 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用外部阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法。包括：离子交换处理在玻璃基片正面制作表面离子掺杂区、在玻璃基片背面对应的非光波导区域形成高电阻率的外部阻挡层、以及电场辅助离子迁移处理将表面离子掺杂区制作成掩埋式离子掺杂区；其中，在进行所述电场辅助迁移处理过程中，玻璃基片背面高电阻率的外部阻挡层使离子掺杂区附近的电场分布呈现横向汇聚的特征，抑制了玻璃基片中离子掺杂区在电场辅助离子迁移过程中的横向展宽趋势，提高了玻璃基片中作为光波导芯部的掩埋式离子掺杂区的对称性。
一种采用外部阻挡提高玻璃波导对称性方法

[发明专利]一种MEMS谐振器系统-CN202211269370.6在审
发明人：张凯凡;张昊城;车录锋 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS谐振器系统。整个谐振器系统包括六个谐振环、连接谐振环的耦合梁、位于环内外侧的驱动/检测电极及固定整个结构的中心锚点。每个谐振环都以呼吸模态进行振动，耦合梁以纵向伸展模态进行振动。所述系统对称的六边形结构，提高了稳定性和抗冲击能力，良好的模态耦合搭配单锚点降低了能量损耗，多个环形结构和内外电极的设置增大了耦合电极面积，提高了机电耦合系数，增大了输出功率，六个谐振环及耦合梁的并联排布降低了动态电阻，差分驱动和检测降低了后端维持电路的复杂度。
一种 mems 谐振器系统

[发明专利]一种电压分段式的电场辅助离子迁移连续制作掩埋式光波导的方法-CN202010083821.1有效
发明人：郝寅雷;牛梦华;蒋建光;邓鑫宸;车录锋;周柯江 -专利权人：芜湖佳豪电子有限公司;浙江大学深圳研究院
申请日： 2020-02-07 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法。放置隧道式高温炉，炉内有传送带和坩埚；坩埚内有熔盐，且熔盐内部设置通过导线接地的负电极；玻璃基片和石英管组成的底部密闭腔置于石英花篮中，腔内有熔盐，石英花篮悬挂于传送带上且玻璃基片浸入坩埚内的熔盐中；底部密闭腔中设置正电极，正电极与石英花篮相对位置固定，且通过电极引线搭上正电极滑竿，并可沿正电极滑竿滑动；正电极滑竿由通过绝缘性滑轨接头连接的多段正电极滑轨组成，多段正电极滑轨分别连接不同的直流电源正极。本发明可提高光波导芯片质量、提高生产效率、降低能耗的基础上，还可以减小掩埋式光波导制作过程中直流电场产生的焦耳热效应带来的不利影响。
一种电压段式电场辅助离子迁移连续制作掩埋波导方法

[发明专利]一种汽车轮胎自动充放气装置-CN202011621231.6有效
发明人：刘超然;陆稞;崔家祥;董林玺;车录锋;王高峰 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B60C23/00 文献下载
摘要：本发明公开一种汽车轮胎自动充放气装置，包括固定于轮毂上的活塞充气装置、活塞杆驱动机构；活塞充气装置包括第一活塞腔、活塞杆、活塞头、充气软管、充气嘴；活塞杆驱动机构用于在汽车行驶过程中驱动活塞杆于第一活塞腔内进行活塞运动，以对轮胎充气提供充气气体；充气软管上设置有依次相连的第一单向阀、第一控制阀、第二单向阀、第二控制阀，且第一单向阀靠近第一活塞腔一端，第一单向阀、第二单向阀的出口均朝向充气嘴一端；第一控制阀、第二控制阀分别包括与大气连通的第二开口、第三开口。通过第二开口、第三开口的开闭实现对轮胎的充气与放气，故可以使轮胎胎压稳定在一定范围内。且该装置可在汽车行驶过程中进行自动充气，非常方便。
一种汽车轮胎自动放气装置

[发明专利]一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法-CN202110499184.0有效
发明人：刘超然;陆稞;董林玺;车录锋;王高峰 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01L5/165 文献下载
摘要：一种三维解耦力触觉传感器，包括玻璃基底和设于玻璃基底上的敏感块；以敏感块的中心为原点、长宽高作为XYZ轴，敏感块的X轴正向方和Y轴正方向均设有位移电极组件，敏感块的X轴负方向和Y轴负方向均设有支撑组件；敏感块的Z轴正方向设有顶电极，Z轴负方向设有底电极；位移电极组件包括位移基板、两个弹性梁、U形支撑侧台和限位块，位移基板设有上电极；玻璃基底内设有下电极；上电极与相应的下电极、顶电极与底电极形成平行板电容器；敏感块受力可改变平行板电容器的电容值。本发明的传感器体积小，通过受力时平行板电容器组电容值的改变值的不同，测量和确定所受力的大小和方向，灵敏度高，能够实现输入与输出的解耦。
一种三维解耦力触觉传感器 mems 制备方法

[发明专利]一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法-CN202110499197.8有效
发明人：刘超然;陆稞;董林玺;车录锋;王高峰 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01L5/165 文献下载
摘要：一种二维解耦力触觉传感器，包括玻璃基底和设于玻璃基底上的敏感块；以敏感块的中心为原点、长宽作为XY轴，敏感块的X轴正向方和Y轴正方向均设有位移电极组件，敏感块的X轴负方向和Y轴负方向均设有支撑组件；位移电极组件包括位移基板、弹性梁和支撑侧台，位移基板设有上电极；玻璃基底内与位移电极组件相应的位置均设有底部电极，上电极与相应的底部电极形成平行板电容器；敏感块受力可使位移基板产生位移，从而改变平行板电容器的电容值。本发明的传感器体积小，对于二维力的检测的灵敏度高。通过受力时的因位移基板的位移造成平行板电容器组电容值的改变值的不同，测量和确定所受力的大小和方向。
一种二维解耦力触觉传感器 mems 制备方法

[发明专利]一种乒乓球运动员训练分析系统-CN202011334678.5有效
发明人：刘超然;李颖哲;董林玺;车录锋;王高峰;徐亦燊 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： A63B71/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种乒乓球运动员训练分析系统。包括姿态传感模块、振动传感模块、主控模块、上位机；振动传感模块包括多个振动传感器，多个振动传感器设置于乒乓球台面上并分别对振动强度进行监测；姿态传感模块，用于监测击球时运动员手臂的姿态数据；主控模块，根据多个振动传感器的设置位置以及振动传感器各自监测得到的数据进行计算，以得到每次击球乒乓球在台面两侧的落点位置坐标；并对每次击球乒乓球的落点位置坐标以及手臂的姿态数据进行处理整合；上位机包括算法模块，算法模块对处理整合后的数据进行聚合分类，得到训练分类结果，并根据训练分类结果给出训练分析。本发明能准确且自动获取乒乓球落点位置，且可对运动员训练进行分析。
一种乒乓球运动员训练分析系统

[发明专利]一种基于抛物线型MMI的超紧凑硅基波导交叉结构-CN201911394278.0有效
发明人：郝寅雷;蒋建光;邓鑫宸;牛梦华;车录锋;余辉;杨建义 -专利权人：浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： G02B6/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于抛物线型MMI的超紧凑硅基波导交叉结构，该结构由形状相同但垂直相交的两支波导组成，其中横支波导(H)由横支输入波导、抛物线型横支MMI和横支输出波导组成，竖支波导(V)由竖支输入波导、抛物线型竖支MMI和竖支输出波导组成。这种结构的特征在于，抛物线型横支MMI和抛物线型竖支MMI都采用相同的两端宽中间窄的抛物线型MMI结构。与现有MMI型波导交叉结构相比，本发明所述结构保持了MMI型波导交叉结构低损耗和低串扰的优势，同时由于MMI具有抛物线型结构，本发明所述结构具有更紧凑的尺寸，可以实现更大规模集成光路的制作。
一种基于抛物线 mmi 紧凑基波交叉结构

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