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- [发明专利]一种监测腔体泄漏的方法-CN202310658216.6在审
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王林;童光辉;赵嘉;杜廷卫;王阔
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华虹半导体(无锡)有限公司
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2023-06-05
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2023-10-13
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G01M3/38
- 本申请公开了一种监测腔体泄漏的方法,涉及半导体制造领域。该方法包括:实时获取来源于刻蚀机台的设备腔体内的第一光谱信号和第二光谱信号,所述第一光谱信号用于监测第一元素,所述第一元素为存在于空气中的一种元素;所述第二光谱信号用于监测第二元素,所述第二元素为不存在于所述设备腔体中的一种元素;识别所述第一光谱信号的光强,作为第一光强;识别所述第二光谱信号的光强,作为参照光强;基于所述第一光强和参照光强的比值,判断所述设备腔体是否发生泄漏故障。通过对第一光谱信号和第二光谱信号的获取和识别,实现了能够实时监测设备腔体是否发生泄漏的效果。
- 一种监测泄漏方法
- [实用新型]一种过滤器的滤板固定装置-CN202320129252.9有效
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王伟;赵嘉;周帅;裴震
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山东新华医疗器械股份有限公司
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2023-01-17
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2023-09-26
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B01D46/88
- 一种过滤器的滤板固定装置,属于过滤器技术领域。进风箱(2)的一侧与过滤器主体(1)可转动的连接,另一侧与过滤器主体(1)之间设置有压紧装置,支撑装置(7)设置在过滤器主体(1)与进风箱(2)之间。本过滤器的滤板固定装置的进风箱的一侧与过滤器主体铰接,另一侧与过滤器主体之间设置有压紧装置,压紧装置对进风箱压紧,进而通过进风箱将滤板压紧在过滤器主体上,实现了滤板与过滤器主体之间的密封,当需要更换滤板时,将压紧装置打开,并将进风箱打开,此时支撑装置对进风箱进行支撑,以使进风箱与过滤器主体之间保持间隙,以方便更换滤板,从而不需要将进风箱由过滤器主体上取出,即可实现滤板的更换,使滤板更换操作简单。
- 一种过滤器固定装置
- [实用新型]一种防漏电检测装置-CN202320562053.7有效
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钟维宇;赵嘉;钟川桃
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长沙航空职业技术学院(空军航空维修技术学院)
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2023-03-21
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2023-09-05
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G01R15/18
- 本实用新型公开一种防漏电检测装置,包括固定机构,所述固定机构包括外壳,所述外壳上安装有检测组件,所述检测组件包括电流表和电流互感器,所述外壳的顶部安装有防触电机构,所述防触电机构包括隔板,所述外壳的底部安装有推动组件,所述推动组件包括套筒和活塞,所述外壳的两侧安装有漏电检测组件,所述漏电检测组件包括铜片和电阻,该防漏电检测装置能够在检测工作时,人员与电线,以及零线与火线不发生接触,保障人员的安全,同时避免火线和零线产生短路的风险,保障检测工作的安全,通过指针、电阻、电流表、铜片、人员与地面产生通路,对电器进行防漏电检测工作,能够适应不同的器材的防漏电检测工作,适用于防漏电检测使用。
- 一种漏电检测装置
- [实用新型]一种钢铁尘泥浸泡分离设备-CN202223515379.9有效
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刘茂帅;赵嘉;张保堂;刘茂刚;张汉青;刘孜涵
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山西锌创研环境科技有限公司
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2022-12-28
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2023-07-25
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C22B3/02
- 本实用新型涉及金属冶炼领域,具体公开一种钢铁尘泥浸泡分离设备,包括支架,支架上自上而下固定有浸泡箱体和分离箱体,浸泡箱体的下端通过第一出液管连接分离箱体的上端,分离箱体的下端连接第二出液管,第一出液管和第二出液管上分别设置第一出液阀和第二出液阀,浸泡箱体的上端开口,并在浸泡箱体的上端铰接浸泡箱门,分离箱体的上端设置分离箱门,浸泡箱体内部固定有转轴,转轴的一端连接转轴座,其另一端连接电机,转轴座设置在浸泡箱体内一侧,转轴同轴连接螺旋搅拌叶片,分离箱体内中部固定有分离板,分离板上设置若干过滤孔。本实用新型将浸泡和分离集成在一个设备中,集成度高,减小了占地面积,同时降低了设备运行能耗。
- 一种钢铁浸泡分离设备
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