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- [实用新型]一种硅片插片用硅片缓冲装置-CN202221772207.7有效
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2022-07-11
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2022-11-29
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种硅片插片用硅片缓冲装置，属于半导体硅片技术领域，包括：硅片盒，所述硅片盒的内侧安装有缓冲组件，所述硅片盒的一侧外壁安装有烘干组件；所述缓冲组件包括并排活动插接在硅片盒内侧的多个缓冲壳体和对称安装在缓冲壳体底部的两个插杆，所述插杆的侧壁底部活动套接有连接在硅片盒内侧底部的支撑壳体，且插杆和支撑壳体的对应侧之间连接有弹簧一，所述硅片盒的下方设置有安装板，所述硅片盒的底部均匀连接有多个活动插接在安装板顶部的活动杆。该硅片插片用硅片缓冲装置，能够对每个硅片的插入过程提供足够的缓冲，且可以对清洗后的硅片进行预烘干。
- 一种硅片插片用缓冲装置
- [实用新型]一种吸盘式取硅片机构-CN202221772160.4有效
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2022-07-11
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2022-10-14
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B65G47/91
- 本实用新型公开了一种吸盘式取硅片机构，属于硅片生产技术领域，包括：安装架，所述安装架的底部安装有吸取组件；所述吸取组件包括对称安装在安装架底部的两个液压杆和安装在液压杆底部的支撑板，所述支撑板的顶部对称安装有两个支撑杆，所述支撑杆的顶部活动套设有连接在安装架底部的支撑壳体，所述安装架的内侧底部安装有直线导轨电机，且直线导轨电机的输出端安装有连接板，所述连接板的底部安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有安装板，所述安装板的顶部和底部分别安装有真空泵和吸盘。该吸盘式取硅片机构，吸取和移动硅片的过程更为平稳，且可以将硅片表面的灰尘及时吸走。
- 一种吸盘硅片机构
- [发明专利]一种新型硅片水平插片机构-CN202210705869.0在审
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2022-06-21
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2022-09-23
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H01L21/677
- 本发明公开的属于硅片插片机技术领域，具体为一种新型硅片水平插片机构，包括支撑水箱和用于密封支撑水箱后端的导向板，所述导向板安装在支撑水箱的后端，还包括：用于对硅片进行裂纹检测和剔除的检测剔除组件，所述检测剔除组件安装在支撑水箱的上端；用于对有裂纹的硅片收纳的第一收纳组件，所述第一收纳组件安装在支撑水箱的内部；用于对质量合格的硅片放置的第二收纳组件，本发明有益效果是：通过对硅片滑落的时候，对滑落的路径上设置红外扫描仪对硅片质量进行扫描检测，当遇到有裂痕的硅片时，自动对滑落路径上的挡板转动，使有裂痕的硅片导向下落，把有裂痕的硅片进行集中收集，对质量良好的硅片滑落到收纳盒内。
- 一种新型硅片水平机构
- [发明专利]一种用于硅片清洗的花篮晃动装置-CN202011443136.1有效
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许玉雷
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江西舜源电子科技有限公司
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2020-12-08
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2022-04-08
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B08B3/10
- 本发明公开了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，包括外壳，所述外壳的内部底面固定安装有电机，且电机的输出端卡接安装有转动轴。有益效果：本发明通过全角度晃动板，当电机开始工作时，带动转动轴和支撑杆做同步运动，由于球头与全角度晃动板之间摩擦力较大，因此旋转的支撑杆带动全角度晃动板同步旋转，旋转的全角度晃动板会使两组抵触头发生碰撞，全角度晃动板纵向晃动，此时四组伸缩弹簧会发生形变，四组伸缩弹簧带动全角度晃动板进行复位，当两组抵触头再次发生碰撞，使全角度晃动板继续纵向旋转晃动，重复旋转使用时，全角度晃动板始终带动花篮晃动，通过设置的全角度晃动板，可配合使用一组电机，完成花篮的全角度晃动。
- 一种用于硅片清洗花篮晃动装置
- [发明专利]一种新型硅片自动裂片机-CN202110749917.1在审
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2021-07-02
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2022-04-05
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H01L21/67
- 本发明公开了一种新型硅片自动裂片机，涉及硅片裂片设备技术领域，包括固定台、固定架、硅片放置台和下压辊，固定台上端滑动设有滑台，滑台上端滑动设有轴承座，轴承座的上端旋转设有支撑柱，支撑柱的顶端固定在硅片放置台上，支撑柱外部固定设置有从动齿轮，轴承座的一侧设有伸缩缸，伸缩缸的伸缩杆固定在轴承座上，轴承座的另一侧设有转动驱动机构和主动齿轮，从动齿轮和主动齿轮在轴承座向转动驱动机构的一侧滑动靠近后进行齿轮传动，固定架的内侧设有可升降的下压辊，下压辊设置在硅片放置台的上端。本发明可以自动把硅片进行旋转90度后再次进行裂片，不需工人操作，节省劳动力，同时大大提高了裂片的效率。
- 一种新型硅片自动裂片
- [实用新型]一种新型硅片自动裂片机-CN202121496426.2有效
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2021-07-02
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2021-11-30
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种新型硅片自动裂片机，涉及硅片裂片设备技术领域，包括固定台、固定架、硅片放置台和下压辊，固定台上端滑动设有滑台，滑台上端滑动设有轴承座，轴承座的上端旋转设有支撑柱，支撑柱的顶端固定在硅片放置台上，支撑柱外部固定设置有从动齿轮，轴承座的一侧设有伸缩缸，伸缩缸的伸缩杆固定在轴承座上，轴承座的另一侧设有转动驱动机构和主动齿轮，从动齿轮和主动齿轮在轴承座向转动驱动机构的一侧滑动靠近后进行齿轮传动，固定架的内侧设有可升降的下压辊，下压辊设置在硅片放置台的上端。本实用新型可以自动把硅片进行旋转90度后再次进行裂片，不需工人操作，节省劳动力，同时大大提高了裂片的效率。
- 一种新型硅片自动裂片
- [实用新型]一种硅片清洗提动装置-CN202120138173.5有效
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2021-01-19
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2021-11-19
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B08B3/04
- 本实用新型公开了一种硅片清洗提动装置，涉及硅片清洗技术领域，包括底座、支撑板、清洗槽、提篮、滑动杆和动力结构，底座设在最下端，支撑板设在底座的上端，清洗槽设置在支撑板的上端，滑动杆竖直设置，其上下两端分别贯穿且滑动设在支撑板和清洗槽上，滑动杆的顶端固定设在提篮的边沿上，滑动杆的底端固定设在推动块上，推动块的中部设有平行的通孔，通孔内设有固定轴，固定轴的内侧固定在竖直块的端部，竖直块的另一端固定在动力结构的旋转轴上。本实用新型通过旋转轴旋转带动固定轴旋转，从而带动推动块和滑动杆的上下滑动，进而带动提篮的上下晃动，最终实现硅片在清洗液中上下晃动，有效提高了硅片清洗质量和效率，同时降低了残次品率。
- 一种硅片清洗装置
- [实用新型]一种用于硅片泡酸分割的恒温系统-CN202120138165.0有效
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2021-01-19
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2021-09-10
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F24H1/20
- 本实用新型公开了一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，涉及硅片加工技术领域，包括酸槽、恒温水箱、热水泵和热水套，热水套围绕酸槽一周，热水套的一端与进水管道连通，另一端与出水管道连通，出水管道的另一端与恒温水箱连通，进水管道的另一端与热水泵的出水口连通，恒温水箱通过管道与热水泵的进水口连通，恒温水箱内设有电加热装置和温度传感器。本实用新型通过在酸槽外面设置热水套，热水套内循环流通有热水，恒温水箱内的热水由控制器控制，低于某温度值时开启加热装置进行加热，达到该温度值后，自动断电，节约了能源，减少了人工，大大降低了成本，同时，酸液一直保持恒定的温度，大大的提高了硅片分割的良率，提高了硅片分割的效率。
- 一种用于硅片分割恒温系统
- [实用新型]硅片筛选装置-CN201420406601.8有效
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许玉雷;彭雷
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济南晶博电子有限公司
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2014-07-23
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2014-12-17
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B07B1/28
- 一种硅片筛选装置，包括支架、振动电机、固定板、振动弹簧板、筛盘、筛盘放置架、开关和放料斗，所述筛盘放置架设置在所述支架的上方，两者通过所述振动弹簧板连接，所述放料斗设置在所述筛盘左上方；所述固定板设置在振动弹簧板上，所述振动电机设置在固定板上；在所述筛盘放置架的下方设置一个锥型废料收集装置，所述废料收集装置的底端设置出料管。本实用新型实现自动晃动筛盘，提高了工作效率，减小了劳动强度；在支架的底部设置配重盘，在振动时保证了整个设备的稳定，不需要将设备固定在操作台上，使用灵活；它的开关为脚踏开关，放在地面上用脚踩踏，方便操作。
- 硅片筛选装置
- [实用新型]吸附式硅片涂布旋转台-CN201420406595.6有效
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2014-07-23
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2014-12-17
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B05C13/02
- 一种吸附式硅片涂布旋转台，包括台面，其特征在于，在所述台面上设置有与其同心的，且呈阶梯状径向排列的圆环台，在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口；在所述开口的末端设置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板，所述挡板的两端与最内侧的所述圆环台连接，在所述挡板上设置有缺口。本实用新型通过在台面上设置圆环台，解决了操作人员在放置硅片时与台面不同心的问题，在台面边缘设置开口方便硅片放取；本实用新型结构简单，不仅实现了可以放置不同直径的硅片，而且成本比夹持式旋转设备底，且不容易损坏。
- 吸附硅片旋转
- [实用新型]硅片显影定影装置-CN201420406632.3有效
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2014-07-23
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2014-12-17
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G03F7/30
- 一种硅片显影定影装置，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流装置连通，在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐连通；所述气体分流装置设置在槽体底部。本实用新型通过在槽体内设置气体分流装置，在显影定影液中通入气体，利用气泡的冲击力对硅片进行清洗，同时，气体可回收利用，不仅不会对环境造成污染，而且使用成本低。
- 硅片显影定影装置
- [实用新型]硅片自动裂片机-CN201420406633.8有效
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许玉雷
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济南晶博电子有限公司
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2014-07-23
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2014-12-17
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H01L21/67
- 一种硅片自动裂片机，它包括底座、支架、主动辊、从动辊、调节螺栓、驱动电机和开关，所述支架固定在底座上，所述主动辊固定在所述支架上，所述从动辊通过固定架可滑动的设置在所述支架上，所述从动辊和主动辊上下相对设置；所述驱动电机驱动主动辊；在所述支架的横杆和固定架的横杆上相对设置有与所述调节螺栓配合的螺纹孔。本实用新型实现了自动裂片，裂片效率高，节省了劳动力；它结构简单，成本低，使用操作方便，具有很高的推广价值。
- 硅片自动裂片
- [发明专利]硅片筛选装置-CN201410350742.7无效
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许玉雷;彭雷
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济南晶博电子有限公司
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2014-07-23
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2014-11-05
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B07B1/28
- 一种硅片筛选装置，包括支架、振动电机、固定板、振动弹簧板、筛盘、筛盘放置架、开关和放料斗，所述筛盘放置架设置在所述支架的上方，两者通过所述振动弹簧板连接，所述放料斗设置在所述筛盘左上方；所述固定板设置在振动弹簧板上，所述振动电机设置在固定板上；在所述筛盘放置架的下方设置一个锥型废料收集装置，所述废料收集装置的底端设置出料管。本发明实现自动晃动筛盘，提高了工作效率，减小了劳动强度；在支架的底部设置配重盘，在振动时保证了整个设备的稳定，不需要将设备固定在操作台上，使用灵活；它的开关为脚踏开关，放在地面上用脚踩踏，方便操作。
- 硅片筛选装置
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