专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种工件的蚀刻方法、装置及终端设备-CN202010425512.8有效
  • 魏伟;孙朋;罗昌杰;刘兆晶;解宇晨 - 深圳市乾行达科技有限公司
  • 2020-05-19 - 2020-10-13 - G06F30/20
  • 本申请适用于工件制造技术领域,提供了一种工件的蚀刻方法、装置及终端设备,该方法包括:在采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻之后,获取工件的第一重量;基于第一重量、第一次数和工件的参数信息,确定采用第一蚀刻速度对工件进行蚀刻的第二次数;在采用第一蚀刻速度对工件进行第二次数的蚀刻之后,获取工件的第二重量;若第二重量大于预设重量范围,则提高蚀刻速度至第二蚀刻速度,并基于第二蚀刻速度蚀刻工件,直至工件满足预设重量范围;本申请通过获取工件的重量,进而通过重量计算蚀刻次数,避免了蚀刻中多次人工测量厚度,提高了工作效率和蚀刻精度,同时通过调整蚀刻速度可以使蚀刻的工件精度更高。
  • 一种工件蚀刻方法装置终端设备

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