[发明专利]电场控制图形化蒸镀装置及蒸镀方法在审
| 申请号： | 201910647232.9 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN110241385A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张志林;张其胜;蒋雪茵 | 申请（专利权）人： | 浙江虹舞科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅 |
| 地址： | 317100 浙江省台州市三门县*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电场控制图形化蒸镀装置及蒸镀方法，包括：蒸发源、具有图形化电极的基板、电源系统；其中：蒸发源包括蒸发源基板、加热电源、和依次设于蒸发源基板上的加热层和蒸发料层，所述的加热层上得第一电极和第二电极均与所述加热电源相连形成回路；所述的具有图形化电极的基板包括基底、及设于所述基底下表面形成图形化的多个电极组，各组电极组通过电源分配器与所述高压直流电源的一极相连，所述高压直流电源的另一极与所述加热层相连，所述电源分配器用于控制其中一组或多组电极组与所述高压直流电源连通，从而实现选择性蒸镀。本发明的蒸镀装置可以实现图形化蒸镀，且不需要掩膜板，不需要精确对准，材料利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 图形化 蒸发源 基板 蒸镀 高压直流电源 蒸镀装置 加热层 电源分配器 图形化电极 电场控制 加热电源 电极组 材料利用率 基底下表面 第二电极 第一电极 电源系统 多组电极 掩膜板 基底 料层 连通 对准 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种电场控制图形化蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发源、具有图形化电极的基板、电源系统；其中：所述的蒸发源，包括蒸发源基板(1)、加热电源(19)、和依次设于所述蒸发源基板(1)上的加热层(2)和蒸发料层(3)，所述的加热层为导电发热介质，在所述的加热层(2)上设有第一电极(4)和第二电极(5)，所述的第一电极、第二电极均与所述的加热电源(19)相连形成回路；所述的具有图形化电极的基板，包括基底(16)、及设于所述基底下表面形成图形化的多个电极组，所述的电源系统包括电源分配器(9)和高压直流电源(7)；所述的具有图形化电极的基板上各组电极组通过所述的电源分配器(9)与所述的高压直流电源(7)的一极相连，所述的高压直流电源的另一极与所述的加热层(2)上的电极相连，所述的电源分配器(9)用于控制其中一组或多组电极组与所述的高压直流电源连通从而在所述的一组或多组电极组与加热层之间形成电场。
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