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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种金属化薄膜蒸镀成型阻隔装置-CN202222042247.2有效
发明人：潘学荣 -专利权人：芜湖鑫国电子科技有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种金属化薄膜蒸镀成型阻隔装置，包括一种金属化薄膜蒸镀成型阻隔装置，包括装置台，所述装置台的内部设置有蒸镀装置主体，装置台表面设置有外护组件；所述外护组件包括下框体、外箱体以及蒸镀箱，下框体连接在装置台表面，蒸镀箱的底侧开设有蒸镀口，所述蒸镀箱贯穿连接于外箱体中部，蒸镀箱的外部设置有阻隔组件；所述阻隔组件包括调节杆、阻隔板以及驱动组件，调节杆设于蒸镀箱两侧，调节杆与蒸镀箱卡合转动连接；本实用新型阻隔板在蒸镀箱下方转动，使得蒸镀箱底板开始的蒸镀口能够调节改变口径，使得绝缘介质膜在表面蒸镀时的范围能够根据需求调节改变，便于该装置配合蒸镀装置加工蒸镀不同尺寸的金属化薄膜。
一种金属化薄膜成型阻隔装置

[发明专利]薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法-CN201310291168.8无效
发明人：朱儇佑;许明洙;李勇锡;赵喆来;金善浩 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2013-07-11 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法。所公开薄膜蒸镀装置包括：蒸镀源，生成将蒸镀到基板的蒸镀蒸汽；喷射部，向安装有基板的所述蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽；管制部，使预定的压力作用于所述喷射部，以调节为向蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽或停止向蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽根据这种构成，能够在蒸镀室内正确地且有效率地管制蒸镀源的蒸汽的喷射，因此采用本发明时，可以期待生产效率的提高和产品品质的稳定化。
薄膜装置利用方法

[发明专利]一种蒸镀、水镀一体化设备-CN202111671723.0在审
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种蒸镀、水镀一体化设备，包括蒸镀室、过渡室和水镀室，所述水镀室位于所述蒸镀室的正下方，所述过渡室位于所述蒸镀室和所述水镀室之间，所述蒸镀室和所述过渡室上分别设置有抽真空装置。本发明实施例中蒸镀室和水镀室一体化设计，避免了在运输过程中空气中的水分子会吸附在基膜上，提高镀膜质量，同时也省时省力，降低成本。
一种一体化设备

[发明专利]真空蒸镀机-CN200510006398.0有效
发明人：神川进;森崎裕彦;和田宏三;平井悦郎;小林敏郎;加藤光雄;平野龙也 -专利权人：三菱日立制铁机械株式会社
申请日： 2005-01-28 - 公布日： 2005-08-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(18)侧朝玻璃基板(12)侧流入的蒸镀材料(15)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对蒸镀材料(15)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
真空蒸镀机

[发明专利]一种金属化薄膜的高效蒸镀装置-CN202111118324.1在审
发明人：刘同林;汪秀义 -专利权人：铜陵市超越电子有限公司
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明涉及金属化薄膜蒸镀技术领域，尤其涉及一种金属化薄膜的高效蒸镀装置，工作台上设置有蒸镀室，蒸镀室外接真空系统，蒸镀室的内部设置有对薄膜基材进行输送的传送机构、对薄膜基材的不需涂镀区域进行遮挡的隔离机构，隔离机构位于传送机构的下方，蒸镀室的内部设置有下钨丝组件和上钨丝组件。本发明中的金属化薄膜的高效蒸镀装置，蒸镀金属碎屑置于下钨丝组件和上钨丝组件形成的空腔中，转动的下钨丝组件和上钨丝组件使内部的金属材料滚动，通过使蒸镀金属碎屑与加热钨丝与之间充分接触，提高金属的熔化速率，进而提高蒸镀的效率；且本装置中，通过角度调节机构控制上钨丝组件转动打开或关闭，满足蒸镀金属的加热和蒸发的需求。
一种金属化薄膜高效装置

[发明专利]一种电容器用金属化膜的制作方法-CN202010029249.0在审
发明人：汤泽波;周涛 -专利权人：安徽赛福电子有限公司
申请日： 2020-01-10 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/20 文献下载
摘要：一种电容器用金属化膜的制作方法，所述制作方法包括：通过金属原料的融化蒸发进行金属化膜的制作；将待蒸镀的基膜由放卷系统放卷进入到真空仓内，将融化蒸发后的所述金属原料经蒸镀辊蒸镀后在所述基膜外形成金属化层；利用光密度仪监控所述金属化层的透光性，根据所述透光性调整蒸镀所述金属化层的厚度继续蒸镀；利用收卷系统对所述蒸镀后的基膜进行收卷。本发明提供的制作方法在高真空度的真空仓内制作金属化膜，蒸镀的金属蒸气要达到饱和蒸气压，利用光密度仪监控金属化膜的透光性，微调蒸发温度、送丝速度和薄膜速度，从而控制金属化层厚度，进而可实现制作出所需厚度的金属化膜
一种电容器用金属化制作方法

[发明专利]蒸镀掩模、显示面板的制造方法以及显示面板-CN201780093993.3有效
发明人：山渕浩二;三井精一 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2017-08-23 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀掩模，其具备：外形限定掩模(55)，其形成有具有与显示区域的异形部分对应的形状的外形开口部(53)；以及掩模片(15)，其形成有图案化的分涂用的蒸镀孔(H)，蒸镀孔(H)的第一蒸镀孔(H1)与像素(pix)对应，蒸镀孔(H)的第二蒸镀孔(H2)与外形限定掩模(55)重叠。由此，即使显示区域的外形为异形，也能够通过不是异形的掩模片精度良好地形成图案化的蒸镀层。
蒸镀掩模显示面板制造方法以及

[发明专利]蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的制造方法、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法-CN201680084205.X有效
发明人：崎尾进;西田光志;岸本克彥 -专利权人：鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2016-07-27 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供能够提高蒸镀时的被蒸镀基板与蒸镀掩膜的开口周缘部之间的密合性、抑制膜模糊或蒸镀时的阴影发生、并进行高精细图案化的蒸镀掩膜、其制造方法及使用其蒸镀掩膜的蒸镀方法。蒸镀掩膜(1)包含具有在被蒸镀基板(2)上用以由蒸镀成膜形成薄膜图案的开口(12)图案的树脂膜(11)，其蒸镀掩膜(1)在树脂膜(11)的与被蒸镀基板(2)相接的面的、至少树脂膜(11)的开口(12)的周缘部上包括磁性金属膜(13a)，提高蒸镀时的被蒸镀基板(2)与蒸镀掩膜(1)的开口(12)的周缘部之间的密合性，抑制膜模糊或蒸镀时的阴影发生。
蒸镀掩膜制造方法有机 el 显示装置

[发明专利]蒸镀装置-CN202010877099.9有效
发明人：真下精二 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供以下蒸镀装置：在具有多个蒸镀源和与各蒸镀源相对应的开闭器的团簇型的蒸镀装置中，不会导致装置的大型化并且能够始终监视蒸镀速率。在具有蒸镀源(1、2)和控制蒸镀源(1、2)的蒸镀、非蒸镀的开闭器(5、6)的蒸镀装置中，使开闭器(5、6)的高度彼此不同，将该开闭器(5、6)配置为在开状态下彼此重叠，并且配置有在开状态下将开闭器(5
装置

[发明专利]蒸镀掩模及其制造方法-CN201811391011.1在审
发明人：田丸裕仁;小林良弘;石川树一郎 -专利权人：麦克赛尔控股株式会社
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供蒸镀掩模及其制造方法，在由框体支撑掩模主体的方式的蒸镀掩模中，能抑制制造成本的上升且实现蒸镀掩模的大型化，并且能维持蒸镀掩模的平坦度，从而能确保良好的再现精度及蒸镀精度。蒸镀掩模(1)具备掩模主体(2)和配置于掩模主体的周围的框体(3)，该掩模主体(2)具有由多个独立的蒸镀通孔(5)构成的蒸镀图案(6)。在框体的下表面侧固定有支撑框架(46)。由此，进一步增强蒸镀掩模整体的构造强度和刚性，能阻止蒸镀掩模挠曲变形来维持平坦度，从而能实现蒸镀层的再现精度及蒸镀精度的高精度化。
蒸镀掩模掩模主体框体蒸镀框架开口掩模开口支撑框架平坦度开口形状挠曲变形制造成本下表面蒸镀层通孔制造图案配置支撑

[发明专利]一种金属蒸镀薄膜电容器、金属化薄膜及其蒸镀装置-CN202210745074.2在审
发明人：刘宝灵;石永辉;李松岳 -专利权人：河南华佳新材料技术有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01G4/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属蒸镀薄膜电容器、金属化薄膜及其蒸镀装置，涉及电容器生产制造技术领域。一种金属蒸镀薄膜电容器，所述金属蒸镀薄膜电容器涉及采用金属化薄膜制成，包括电容器本体，所述电容器本体包括基层和电极层。本发明还包括一种金属化薄膜，所述金属化薄膜用于制备薄膜电容器，所述电极层包括铝镀层和锌镀层。本发明还包括一种金属化薄膜用蒸镀装置，所述蒸镀装置用于制备金属化薄膜，包括壳体和冲洗组件，所述壳体的内部设有铝丝蒸发器，本金属化薄膜用蒸镀装置，可对导辊进行清理，减少了人工的参与，提高了工作效率，并且清洗的更加全面
一种金属薄膜电容器金属化及其装置

[发明专利]真空蒸镀机-CN200510006399.5有效
发明人：神川进;森崎裕彦;和田宏三;平井悦郎;小林敏郎;加藤光雄;平野龙也 -专利权人：三菱日立制铁机械株式会社
申请日： 2005-01-28 - 公布日： 2005-08-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(19a)、(19b)侧朝混合室(22)侧流入的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对在混合室(22)中混合的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
真空蒸镀机

[发明专利]一种金属化聚丙烯薄膜介质电容器的蒸镀工艺-CN201610345875.4有效
发明人：苗满香;孟建平;胡天彤 -专利权人：郑州航空工业管理学院
申请日： 2016-05-23 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： H01G4/33 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属化聚丙烯薄膜介质电容器的蒸镀工艺，包括如下步骤1)聚丙烯薄膜层的表面处理；2)蒸镀材料的预处理；3)蒸镀。本发明蒸镀工艺获得的金属化聚丙烯薄膜介质的蒸镀层与基材的结合牢固，表面性能优异，获得的金属化聚丙烯薄膜介质电容器自愈性强、具有极强的耐湿性能。
一种金属化聚丙烯薄膜介质电容器工艺

[发明专利]金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法、金属化薄膜-CN201811230499.X有效
发明人：宋仁祥 -专利权人：安徽省宁国市海伟电子有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C23C14/20 文献下载
摘要：本发明公开了金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法、金属化薄膜，金属化薄膜加工生产线系统包括预整装置和蒸镀装置，所述预整装置包括牵伸装置和除尘装置，牵伸装置包括工作台、滚轮、主轴、辅轴、压力缓冲装置、传动履带、传动齿轮、第一驱动电机、主动齿轮、衬板、压紧辊和固定板，蒸镀装置包括卷绕室和蒸镀室，所述蒸镀室包括送丝辊、导丝轮组、打磨架、导向轮组和蒸镀坩埚；金属化薄膜加工生产线系统的生产方法包括薄膜预整和薄膜蒸镀两个步骤，并加工生产得金属化薄膜。本发明能改善薄膜蜷缩变形状况，提高表面的平整度及洁净度，同时除去铝丝表面的氧化层，保证蒸镀过程中铝蒸汽的浓度，提高薄膜表面的蒸镀层均匀性及结合力。
金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法

[发明专利]基于可调空间的金属化薄膜蒸镀装置-CN202111108540.8在审
发明人：刘同林;汪秀义 -专利权人：铜陵市超越电子有限公司
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供了基于可调空间的金属化薄膜蒸镀装置，包括壳体，所述壳体内设置为蒸镀腔，所述蒸镀腔的底部设置有蒸镀台，顶部设置有基板，所述蒸镀台上设置有蒸镀源，蒸镀源用于将蒸镀物质加热形成蒸镀蒸汽沉积在基板上的薄膜上；所述蒸镀腔的侧壁设置有挡块，所述挡块一端与壳体连接，调节挡块凸出于壳体的体积改变蒸镀腔的空间大小；本发明的有益效果：调节挡块凸出于壳体的体积来改变蒸镀腔的空间大小，蒸镀腔在适用于不同薄膜进行蒸镀时需要的蒸镀面积不等，调节蒸镀腔的体积，蒸镀腔体积降低，抽真空体积降低，降低了抽真空成本；将蒸发的金属蒸汽集中在较为狭小的空间，使其沉积在薄膜上的占比更多，降低金属蒸汽的损耗。
基于可调空间金属化薄膜装置

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