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- [实用新型]一种晶圆手臂立式风干机构-CN202320508607.5有效
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王宏声;郭占旗;葛成重
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北京日扬弘创科技有限公司
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2023-03-16
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2023-09-01
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F26B21/00
- 本实用新型涉及一种晶圆手臂立式风干机构,包括风机外罩；风机外罩内设置有风刀组件；风刀组件的下方设置有阻风立板；阻风立板的下侧设置有阻风横板；阻风立板与风机外罩之间形成第一风腔和第二风腔；阻风横板与风机外罩之间形成第三风腔；第三风腔内设置有导风机构；第三风腔与负压管道相接。通过在风机外罩内设置风刀组件，以及阻风立板和阻风横板；从风刀组件向风机外罩内引入高速氮气气流，对晶圆和晶圆手臂同时进行洁净化的风干处理；在风干处理过程中，水流会向下低落于第三风当中排出；经过阻风立板和阻风横板进入到第一风腔、第二风腔和第三风腔，在导风机构的引导之下进行抽取排放，可合理疏导气流方向和三个风腔的风量，高效排出废气。
- 一种手臂立式风干机构
- [实用新型]一种晶圆夹持和按压检查组合手臂-CN202320518040.X有效
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王宏声;陈柏柏;葛成重
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北京日扬弘创科技有限公司
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2023-03-09
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2023-07-07
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B24B37/28
- 本实用新型涉及半导体辅助设备技术领域，且公开了一种晶圆夹持和按压检查组合手臂，包括手臂基板、按压检测基板、夹持组件、内夹持板、外夹持板、夹持小柱、按压组件、第一入槽检测传感器和第二入槽检测传感器。通过内夹持板和外夹持板对晶圆进行夹持，以及配合机械手将晶圆放入研磨抛光槽内，再通过机械手合利用本申请中设置的按压组件对研磨抛光槽内的晶圆进行按压，同时通过第一入槽传感器触碰晶圆，通过第二入槽传感器触碰研磨抛光槽的外侧平面。采用本申请能够进行晶圆的良好夹持和放置；并通过按压组件来实现晶圆在研磨抛光槽内的按压，防止其浮起；以及通过第一传感器和第二传感器获取的高度测量值进行对比，从而判断晶圆是否完全入槽。
- 一种夹持按压检查组合手臂
- [实用新型]一种自动上下料机构-CN202122686131.8有效
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王宏声;郭占旗;葛成重
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北京日扬弘创科技有限公司
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2021-11-04
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2022-03-08
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B07C5/34
- 本实用新型公开了一种自动上下料机构，包括上料平台、缓存平台、夹持机构、缺陷检测机构和下料平台，上料平台、缓存平台和下料平台以分别实现晶圆存放，夹持机构以实现晶圆转运，缺陷检测机构以实现对晶圆检测；缺陷检测机构包括：转盘、旋转升降台、同轴光源、相机、横移机构和支撑板，旋转升降台上设有转盘，同轴光源和相机与横移机构连接，相机设在同轴光源的上方，横移机构设在支撑板上，横移机构带动相机和同轴光源横向移动；本实用新型实现了与晶圆抛光设备配合工作中的上下料过程的自动化，自动化效率高，减少了操作人员的数量，减轻了操作人员的劳动强度，节约企业成本，提高生产效率，推动了自动化行业的发展。
- 一种自动上下机构
- [实用新型]输送装置-CN202120686528.4有效
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王宏声;赵海荣;葛成重
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北京日扬弘创科技有限公司
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2021-04-02
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2021-11-19
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B65G47/57
- 本实用新型提供了一种输送装置，包括：机架；水平传送机构、提升传送机构和分离机构，均设置在机架上，水平传送机构的传送方向为水平方向，提升传送机构的传送方向为竖直方向，分离机构位于机架的顶部；其中，提升传送机构包括主动传送件、传送连接件和被动传送件，主动传送件和被动传送件分别位于水平传送机构的两侧，传送连接件位于主动传送件和被动传送件之间，传送连接件的一端与主动传送件连接，传送连接件的另一端与被动传送件连接，主动传送件通过传送连接件带动被动传送件运动，以使主动传送件和被动传送件同步进行升降。通过本实用新型提供的技术方案，能够解决现有技术中的输送装置的成本较高和上料停机的技术问题。
- 输送装置
- [实用新型]一种翻转分离装置-CN201620808493.6有效
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葛成重;曹欣;周赛
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北京京城清达电子设备有限公司
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2016-07-28
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2017-06-30
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B08B5/02
- 一种翻转分离装置，属于光电技术领域，包括机架、翻转机构、升降平台和工件吹分机构；翻转机构用于抓起和翻转升降平台上的成叠工件，工件吹分机构用于吹分离成叠工件，并风切去除成叠工件间的软衬隔离物，翻转机构和升降平台垂直安装在机架的水平支撑框架上，升降平台位于翻转机构和机架的侧梁之间，翻转机构和工件吹分机构分别位于升降平台的不同侧面；该翻转分离装置中翻转机械手具有良好的定位精度、翻转速度可控及能平稳可靠的抓取工件，工件吹分机构可简便、快速的去除工件间的隔离物，大幅度提高了易碎工件及特殊板材类工件的成品率，且整个装置位于生产线的上游，完成翻转的同时，达到了自动上料的目的。
- 一种翻转分离装置
- [实用新型]一种翻转装置-CN201620808000.9有效
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安志强;梁阔;葛成重
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北京京城清达电子设备有限公司
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2016-07-28
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2017-05-03
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B65G49/06
- 一种翻转装置，属于光电技术领域，包括机架、翻转机构30和升降平台，所述翻转机构用于抓起和翻转升降平台上的工件，翻转机构30和升降平台位于机架的水平支撑框架上；所述翻转机构包括机械手部、动力部、支撑部和检测部；所述动力部和所述机械手部安装在支撑部上，所述动力部与所述机械手部连接，用于提供机械手部翻转的动力；该翻转装置中机械手部具有良好的定位精度、翻转速度可控、能平稳可靠的抓取工件，且整个翻转装置配合分离装置完成翻转的同时，达到了自动上料的目的，大大降低了生产空间和操作劳动强度，提高了生产效率，完全满足自动化生产线上料的生产要求。
- 一种翻转装置
- [实用新型]一种滚轮气浮混合式传送装置-CN201620802859.9有效
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安志强;张凯;葛成重
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北京京城清达电子设备有限公司
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2016-07-27
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2017-03-15
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B65G13/06
- 本实用新型公开了一种滚轮气浮混合式传送装置，属于半导体微电子、平板显示及光电子技术领域，包括气浮支承机构、滚轮传送机构、驱动传动机构、检测传感元件以及支承框架，气浮支承机构提供支承工件的非接触的作用力，滚轮传送机构和驱动传动机构提供传送的动力并起到支承作用，检测传感元件在装置整个传送行程中检测工件，保证工件有效到达每一个位置且能被监测到，支承框架起到支承整个装置的作用。本实用新型使薄板类工件、特种板类工件在传送中与传送面工艺区无摩擦，减少工件传送振动，大幅度提高了易碎工件、薄板工件以及特种板类工件良品率，同时节约气浮传送装置制造成本，提高投资回报率。
- 一种滚轮混合式传送装置
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