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[发明专利]一种压电驱动微镜及制造方法-CN202211712879.3在审
发明人：陈巧;陈亮 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种压电驱动微镜，包括边框衬底（1）、镜面（2）、以及两个第一运动梁装置与两个第二运动梁装置彼此一一对应组合构建的两组运动组合梁装置，通过在折叠梁（3）两侧对应位置设置多段压电片（4）构成运动梁装置，如此通过对折叠梁（3）两侧压电片（4）的同时驱动，即可以得到更大的驱动力，使镜面（2）偏转更大的角度，同时，采用差分驱动的方式，可以得到正反两个方向对称的角度，使得镜面（2）扫描指标更好，驱动效率大大提高，实现了大镜面与大转角的同时具备，同时设计实现该压电驱动微镜的制造方法，应用两片SOI硅片，在生长、刻蚀的基础上，通过两片SOI硅片之间的金属键合，高效获得压电驱动微镜。
一种压电驱动制造方法

[发明专利]一种MEMS移动微镜及干涉仪-CN202210560686.4在审
发明人：张程浩;陈巧;刘洪琼 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS移动微镜及干涉仪，采用全新梳齿驱动方案，通过反射镜（1）、载镜体（2）、推杆（3）、以及两个侧驱动装置组之间的组合结构设计，通过对推杆（3）两侧所布设侧驱动装置组中梳齿结构的供电，获得推杆（3）延其所在直线向该静杆（5）方向移动，进而实现反射镜（1）随推杆（3）的移动，并且反射镜（1）上由于采用MEMS技术中的湿法刻蚀工艺，克服了干法刻蚀中产生的镜面粗糙、不能制作增加反射涂层的缺点，提高了反射镜（1）对光线的反射效率；并基于此MEMS移动微镜，具体设计一种干涉仪结构，在该干涉仪结构中，在MEMS移动微镜工作时搭配固定镜，改变各干涉仪中光路的移动距离，增大了干涉仪的光程差，能够提高干涉仪工作效率。
一种 mems 移动干涉仪

[实用新型]一种二维MEMS微镜-CN202220234690.7有效
发明人：陈巧;张程浩;陈亮;刘洪琼;刘运兵 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种二维MEMS微镜，该二维MEMS微镜包括镜面、框架、驱动装置、转轴，采用框架悬置，内部键合的结构，该结构可获得更大的静电力矩，使镜面具有更大的转角，且不需要电隔离槽，不需要多次梳齿刻蚀，该二维MEMS微镜的生产工艺简单，良品率高，生产成本低。
一种二维 mems 微镜

[实用新型]一种用于陶瓷基板装引脚的治具装置-CN202220620062.2有效
发明人：刘起燕 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体封装技术领域，具体是一种用于陶瓷基板装引脚的治具装置，包括成对配置的引脚填装模块，所述引脚填装模块包括限位座，和可套设所述限位座的限位套；所述限位座与所述限位套之间通过锁紧件锁紧形成装配，装配后构成至少一个可填装引脚的填装区域。本装置结构简单，装配效果好，效率高，不仅不损伤陶瓷板，而且可使得引脚焊于陶瓷板上一致牢靠，本装置维护简单，可适应于各规格型号的陶瓷基板。
一种用于陶瓷基板装引脚装置

[实用新型]一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜-CN202122768025.4有效
发明人：张程浩;陈巧;陈敏 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜，包括衬底（1）、镜面（2）、定梳齿装置、两组动梳齿装置和两个压阻模块（3），通过压阻模块（3）上所设各金属电极（6）与对应扭转梁（4）之间惠斯通电桥的建立与应用，应用惠斯通电桥所具备检测应力变化的能力，以及镜面（2）的扭转角度与扭转梁（4）端部应力间的正比关系，实现对扭转梁（4）端部应力变化情况的检测，最终获得MEMS静电微镜的镜面（2）偏转角度，拥有直接检测高速旋转镜面（2）角度的优点，整个设计方案具有实时、连续检测微镜镜面（2）运动状态的优点，同时整个结构封装尺寸小、结构紧凑，更加节省成本。
一种具备反馈静电 mems 微镜

[发明专利]一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜及制造方法-CN202111339245.3在审
发明人：章程浩;陈巧;陈敏 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜及制造方法，包括衬底（1）、镜面（2）、定梳齿装置、两组动梳齿装置和两个压阻模块（3），通过压阻模块（3）上所设各金属电极（6）与对应扭转梁（4）之间惠斯通电桥的建立与应用，应用惠斯通电桥所具备检测应力变化的能力，以及镜面（2）的扭转角度与扭转梁（4）端部应力间的正比关系，实现对扭转梁（4）端部应力变化情况的检测，最终获得MEMS静电微镜的镜面（2）偏转角度，拥有直接检测高速旋转镜面（2）角度的优点，整个设计方案具有实时、连续检测微镜镜面（2）运动状态的优点，同时整个结构封装尺寸小、结构紧凑，更加节省成本。
一种具备反馈静电 mems 制造方法

[发明专利]一种微镜及其制造方法-CN201910406378.4有效
发明人：陈巧 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种微镜包括质量块、质量块上的镜面反射层、支撑结构和驱动单元对，驱动单元对沿质量块的一个对称轴对称设置，且驱动单元对中的每个驱动单元包括沿质量块的另一对称轴对称设置的一对驱动臂，驱动臂由U型折叠梁、U型折叠梁上的多个压电驱动块以及U型折叠梁的自由端上的两连接端，通过连接端将驱动臂固定于质量块以及支撑结构上。这样，构成了呈对称布置的微机电微镜，其通过压电驱动方式对镜面层进行驱动，无需扭转梁的支撑，减小驱动力的损耗，使得微镜具有更大的扫描角度，此外，U型折叠梁的横梁上设置多个压电驱动块，通过不同驱动块的压电控制，可以限制微镜面外的平动，进一步增大微镜扫描角度，并增强系统稳定性。
一种及其制造方法

[实用新型]一种混合驱动的二维MEMS微镜-CN202022842341.7有效
发明人：陈巧 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种混合驱动的二维MEMS微镜，采用全新驱动结构设计，将压电驱动结构和静电驱动结构相结合，实现了混合驱动操作，其中设计基于环形外衬底（1），应用静电驱动结构实现对环形内衬底（2）的驱动，并进一步应用环形内衬底（2）与镜面支撑（3）之间的压电驱动结构，获得对镜面支撑（3）的驱动，驱动电极通过转轴引出，如此实现了混合驱动操作，整个结构能够有效提高驱动效率，并使的驱动角度变大；同时本实用新型还进一步设计了针对此二维MEMS微镜的制作方法，采用制作工艺，仅需要SOI圆片作为基底层，便可以加工获得所设计的二维MEMS微镜，整个制作过程工艺简单，成品率高，同时整体结构尺寸也会降低，成本得到降低。
一种混合驱动二维 mems 微镜

[发明专利]一种混合驱动的二维MEMS微镜及其制作方法-CN202011385042.3在审
发明人：陈巧 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种混合驱动的二维MEMS微镜及其制作方法，采用全新驱动结构设计，将压电驱动结构和静电驱动结构相结合，实现了混合驱动操作，其中设计基于环形外衬底（1），应用静电驱动结构实现对环形内衬底（2）的驱动，并进一步应用环形内衬底（2）与镜面支撑（3）之间的压电驱动结构，获得对镜面支撑（3）的驱动，驱动电极通过转轴引出，如此实现了混合驱动操作，整个结构能够有效提高驱动效率，并使的驱动角度变大；同时本发明还进一步设计了针对此二维MEMS微镜的制作方法，采用制作工艺，仅需要SOI圆片作为基底层，便可以加工获得所设计的二维MEMS微镜，整个制作过程工艺简单，成品率高，同时整体结构尺寸也会降低，成本得到降低。
一种混合驱动二维 mems 及其制作方法

[实用新型]一种MEMS开关-CN201920787732.8有效
发明人：陈巧 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种MEMS开关，应用桥式结构，在驱动力作用下，使开关的中间部分产生最大位移，进而将接触区域设计为面接触，取消了现有技术中的点接触设计，由此避免点接触的缺点，获得了更高的MEMS开关工作效率，与此同时，针对所设计MEMS开关，具体设计对应其的制作方法，采用键合工艺方案，大大减小工艺复杂度，减小粘附，有效提高了成品率。
一种 mems 开关

[实用新型]一种双向驱动微镜芯片-CN201921569341.5有效
发明人：陈巧 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种双向驱动微镜芯片，克服现有技术中采用两层梳齿结构，只能单向驱动，使得微镜受力不对称、无法完全绕中心轴转动的问题，应用全新设计结构，拥有上中下三层梳齿结构，为微镜提供双向驱动力，使得被驱动对象的受力完全对称，获得更加优良的微镜扫描效果。
一种双向驱动芯片

[实用新型]一种精简工艺的微镜芯片-CN201920787734.7有效
发明人：陈巧 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种精简工艺的微镜芯片，采用SOI硅片，驱动器布置于第三层，质量块与转轴布置在第一层，第二层布置支持结构，其中驱动器采用面内驱动器结构，可以实现面内驱动，通过中层支撑结构产生面外驱动转矩，带动质量块运动，可以实现快速扫描和大角度扫描驱动结构；该结构工艺上利于实现，不挑战工艺难点，可以大大简化面外运动加工难度，实现大角度，大质量块驱动；相对于多层机构的MEMS省去了多次键合的工艺，简化了制造工艺，大大降低加工成本和加工难度，提高成品率。
一种精简工艺芯片

[发明专利]一种双向驱动微镜芯片及制造方法-CN201910891705.X在审
发明人：陈巧 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种双向驱动微镜芯片及制造方法，克服现有技术中采用两层梳齿结构，只能单向驱动，使得微镜受力不对称、无法完全绕中心轴转动的问题，应用全新设计结构，拥有上中下三层梳齿结构，为微镜提供双向驱动力，使得被驱动对象的受力完全对称，获得更加优良的微镜扫描效果。
微镜梳齿结构受力中心轴转动单向驱动驱动对象扫描效果设计结构双向驱动微镜芯片不对称驱动力两层三层对称应用制造

[发明专利]一种压力传感器及其制造方法-CN201910749474.9在审
发明人：陈巧 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器及其制造方法，在压力敏感膜中形成了掺杂的压阻条，该压阻条的旁侧的压力敏感膜中形成有凹陷区，这样，使得压阻条与同一平面上的压力敏感膜分隔开，在纵向上仅形成压阻条与衬底之间的理想平行平面PN结，阻止压阻条与横向的压力敏感膜形成PN结，从而，降低或避免由该横向非理想的PN结导致的漏电，提高传感器的稳定性及长期可靠性。
压阻压力敏感膜压力传感器长期可靠性漏电平行平面凹陷区掺杂的非理想传感器衬底分隔制造

[发明专利]一种精简工艺的微镜芯片及制造方法-CN201910455156.1在审
发明人：陈巧 -专利权人： 苏州知芯传感技术有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种精简工艺的微镜芯片及制造方法，采用SOI硅片，驱动器布置于第三层，质量块与转轴布置在第一层，第二层布置支持结构，其中驱动器采用面内驱动器结构，可以实现面内驱动，通过中层支撑结构产生面外驱动转矩，带动质量块运动，可以实现快速扫描和大角度扫描驱动结构；该结构工艺上利于实现，不挑战工艺难点，可以大大简化面外运动加工难度，实现大角度，大质量块驱动；相对于多层机构的MEMS省去了多次键合的工艺，简化了制造工艺，大大降低加工成本和加工难度，提高成品率。
质量块微镜芯片驱动器大角度扫描驱动器布置多层机构工艺难点结构工艺快速扫描内驱动器驱动结构驱动转矩运动加工支撑结构支持结构制造工艺成品率第三层第一层内驱动键合转轴加工制造中层驱动挑战

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