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[发明专利]掩膜形成方法和半导体器件加工方法-CN202211345849.3在审
发明人：郑砺寒;罗永坚 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本申请公开一种掩膜形成方法和半导体器件加工方法，其包括：在衬底上形成具有图案化沟槽的掩膜层；在所述沟槽内形成嵌段共聚物，其中，所述嵌段共聚物包括形成于所述沟槽的侧壁上的聚苯乙烯嵌段，以及位于相邻所述聚苯乙烯嵌段之间的聚甲基丙烯酸甲酯嵌段；通入刻蚀气体，经电离后刻蚀所述嵌段共聚物，直至去除所述聚甲基丙烯酸甲酯嵌段，其中，所述刻蚀气体包括硫元素和氧元素。上述掩膜形成方法可以为高精度制程的晶圆提供图案转移作用，进而在晶圆上形成关键尺寸更小的刻蚀图案。
形成方法半导体器件加工

[发明专利]半导体工艺方法和半导体装置系统-CN202210591994.3在审
发明人： 罗永坚 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L21/308 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺方法，包括：执行半导体工艺，半导体工艺包括在预定基板上制作第一芯轴图案，在每个第一芯轴的两侧制作第一侧壁，去除第一芯轴，利用第一侧壁对预定基板进行加工，以形成多个鳍片结构；根据多次执行半导体工艺时，第一芯轴的宽度值以及对应的鳍片结构之间的间距，对下一次执行半导体工艺时第一芯轴的宽度值进行调节，使鳍片结构之间的间距趋于一致。本发明提供的半导体工艺方法能够在量产过程中根据前面执行工艺的工艺结果实时对下一次执行工艺时第一芯轴的宽度值进行反馈调节，进而实时稳定维持鳍片间距的均匀性，保证产品性能、提高产品良率。本发明还提供一种半导体装置系统。
半导体工艺方法装置系统

[实用新型]管道加工用夹持夹具-CN202023233887.9有效
发明人：牛志朋;罗永坚;兰林强 -专利权人：中航动力株洲航空零部件制造有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B23Q3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管道加工用夹持夹具，包括多个夹持块，夹持块上开设有双向贯通的开口槽，每一个夹持块均沿开口槽的径向可活动地设置，多个夹持块沿开口槽的径向相对地运动并使各个夹持块沿开口槽的周向组合形成用于抱紧管道的夹持机构，夹持块的开口槽沿周向组合形成夹持机构的夹持孔，通过将待加工管道沿夹持孔的轴向布设并使待加工管道在夹持机构的作用下径向抱紧于夹持孔内，夹持块的一侧的侧壁向外延伸形成有用于传力以使夹持块沿开口槽的径向移动的传力部。本实用新型的管道加工用夹持夹具，实现了沿圆形管道的各个径向对圆形管道进行施力抱紧，增加了夹持机构与圆形管道的接触面积，减少了管道加工时的报废率。
管道工用夹持夹具

[发明专利]单扩散隔断结构的制造方法和半导体器件的制造方法-CN201810570149.1有效
发明人： 罗永坚 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H01L21/8234 文献下载
摘要：本发明提供一种单扩散隔断结构的制造方法和半导体器件的制造方法，是一种自对准工艺方法，先在目标刻蚀层上形成具有埋置结构的层间介质层，然后去除所述埋置结构以在所述埋置结构的位置形成对准沟槽，和/或，去除两个所述埋置结构之间的区域以形成对准沟槽，之后刻蚀对准沟槽底部的目标刻蚀层，以在所述目标刻蚀层中形成与所述对准沟槽自对准的隔断沟槽，之后形成填充于所述隔断沟槽中的单扩散隔断结构；显然，本发明利用埋置结构能够限制和保证形成的对准沟槽的关键尺寸，避免将光刻图案向层间介质层中转移来形成对准沟槽时引起的关键尺寸偏差，进而保证最终形成的单扩散隔断结构的关键尺寸，同时降低了工艺要求，改善了最终形成的器件的性能。
扩散隔断结构制造方法半导体器件

[发明专利]一种预测目的地和推荐驾驶路线的方法-CN201711475526.5有效
发明人：刘锬;罗永坚;杨喜宏;谢朝林 -专利权人：广州通易科技有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G01C21/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种预测目的地和推荐驾驶路线的方法，包括下述步骤：S1、获取用户的历史行程数据，所述用户历史行程数据包括：出发时间、出发地点、行驶轨迹、到达时间以及到达地点；S2、对获取的历史行程数据进行分析；S3、目的地预测，根据历史行程数据，及当前时间、用户的当前位置，预测用户可能去哪里；S4、路线推荐，根据目的地，结合服务端学习的组合数据，推荐路线；S5、算路结果处理，推荐给用户最优的行使路线；本发明对车主出行的目的地和时间段进行聚类，能完整分析出车主出行的周期性规律，将规律划分为工作日、节假日，并且节假日考虑到除周末以为的国家法定假期，当同一时间有多个可能目的地时，计算出行可能性的概率。
一种预测目的地推荐驾驶路线方法

[实用新型]一种漆包线称重打标机-CN201922243596.9有效
发明人： 罗永坚 -专利权人：上海国铭电气有限公司
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： B65C9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种漆包线称重打标机，属于漆包线卷设备技术领域，包括：安装在工作台一侧用于导入漆包线卷的入料槽；设置在工作台上的称重台；设置在工作台上、远离入料槽一侧的打标机；以及设置在工作台上、用于运输漆包线卷的传输组件，其中，传输组件包括：设置在工作台上、位于入料槽底部、用于承载漆包线卷的承载台；设置在承载台靠近入料槽一侧用于对漆包线卷传输路径进行导向的导向件；以及设置在承载台上、将漆包线卷推送至称重台的推离件。本实用新型的目的在于提供一种漆包线称重打标机，能够替代人手对漆包线卷进行搬运称重，有效收集废弃的离型纸，提升了生产效率也降低了生产制造的成本。
一种漆包线重打

[实用新型]一种用于漆包线的品检装置-CN201922244241.1有效
发明人： 罗永坚;徐阳 -专利权人：上海国铭电气有限公司
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于漆包线的品检装置，其包括检测平台，所述检测平台上设置有支撑杆，所述支撑杆上套设有升降座，所述支撑杆上设置有锁定升降座的锁定组件，所述升降座的外侧面上设置有滑移杆，所述滑移杆远离升降座的一端设置有可沿滑移杆水平滑移的灯体，所述检测平台上设置有驱动支撑杆沿着圆周方向旋转的驱动组件。本实用新型具有将灯体移动到合适的位置，以便作业人员能够在合适的灯光条件下对产品进行检测，提高作业人员的工作效率的效果。
一种用于漆包线装置

[实用新型]一种漆包线废液的排污装置-CN201922234334.6有效
发明人： 罗永坚 -专利权人：上海国铭电气有限公司
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： H01B13/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种漆包线废液的排污装置，属于漆包线设备技术领域，包括：包括：设置在废液池顶部边缘的机架；设置在废液池内用于排离污水的清理组件，清理组件包括：设置在废液池内靠近废液池顶部的固液分离箱；内部开有空腔、且设置在废液池底部的条板；设置在废液池内部、管体转动连接在机架上、底端通过轴承连接在废液池底部的转动管；套设在转动管外壁上的、且端部与废液池内壁相接触的转动板；设置在废液池顶部边缘且与条板相连接的排污件；以及设置在机架顶部用于驱动转动管旋转的驱动件。本实用新型的目的在于提供一种漆包线废液的排污装置，能够有效地对废液中的固体杂质进行分离，有效地对废液池内壁粘附的固体杂质进行清理。
一种漆包线废液排污装置

[发明专利]刻蚀工艺方法-CN201711097030.9有效
发明人：郭享;罗永坚;荆泉;任昱;吕煜坤;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明公开了一种刻蚀工艺方法，包括步骤：步骤一、确定干法刻蚀工艺腔中的刻蚀速率分布并找出干法刻蚀速率最低的区域位置。步骤二、确定湿法刻蚀工艺设备中的刻蚀速率分布并找出湿法刻蚀速率最高的区域位置。步骤三、对晶圆产品片的被刻蚀材料层进行如下刻蚀：步骤31、进行干法刻蚀。步骤32、将晶圆产品片转动一固定角度使晶圆产品片上的干法刻蚀速率最低的区域定位在后续湿法刻蚀中湿法刻蚀速率最高的区域。步骤33、进行湿法刻蚀。本发明能提高刻蚀的面内均匀性，能防止被刻蚀材料残留，提高产品良率。
湿法刻蚀刻蚀干法刻蚀晶圆产品刻蚀材料刻蚀工艺区域位置干法刻蚀工艺面内均匀性产品良率工艺设备区域定位转动残留

[发明专利]一种AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法-CN201510662415.X有效
发明人：郭享;罗永坚;荆泉;任昱;吕煜坤;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2015-10-14 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法，本发明通过在原有AL刻蚀机台上添加一在第一干燥腔体的输出端口添加一分流阀，使经过第一干燥腔体干燥后的第一气体中的一部分流入第二干燥气体的输出端口，使该部分第一气体完成对第二气体的加热，采用本技术方案，可以实现AL刻蚀机台中的附属腔体中的高温气体的热量再利用，实现了对主蚀刻腔体的管路的加热，同时，无需外围的加热设备，在节约了相应的加热设备的购置和耗能成本的同时，达到了给主刻蚀腔体中排出的气体的加热效果。 1
热量再利用刻蚀机台腔体干燥腔体加热设备输出端口加热半导体设备干燥气体高温气体加热效果分流阀刻蚀机主刻蚀主蚀刻耗能外围附属节约

[实用新型]连接结构-CN201620544993.3有效
发明人：周捷;张敏;刘杰;罗永坚;刘峰 -专利权人：中国南方航空工业（集团）有限公司
申请日： 2016-06-07 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： F16B7/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种连接结构，包括待连接的第一连接管和第二连接管、用于使第一连接管的端部与第二连接管的侧壁可拆卸连接的连接构件，其中，第一连接管的端部与第二连接管的侧壁抵靠，连接构件包括：固设于第一连接管内腔中的连接嵌件、多组连接件，各连接件的第一端位于第二连接管的一侧，其相对的第二端从第二连接管的一侧穿过第二连接管后与连接嵌件螺纹连接，以当拧紧连接件时使连接件的第一端将第二连接管和第一连接管的端部压紧。本实用新型的连接结构中，可解决因连接管焊接性能而造成难以进行连接管相连组合的问题，解决因连接管壁厚较薄时，焊接热应力对连接管组件造成损伤的问题，解决组合后再进行加工难以装夹定位的技术问题。
连接结构

[发明专利]一种接触孔形成方法-CN201510271722.5在审
发明人： 罗永坚;任昱;吕煜坤;朱骏;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2015-05-25 - 公布日： 2015-10-14 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供一种接触孔形成方法，在以层间介质层中的初始接触孔为窗口，去除窗口底部的刻蚀阻挡层以形成接触孔之后，且在湿法清洗接触孔前，额外增加了第二次去胶处理工艺来改变表面亲水性，在后续湿法清洗时能完全去除残留在接触孔中的高分子聚合物，使得接触孔中基本没有高分子聚合物残留，大大改善了后续接触孔金属填充的效果，达到了提高和稳定产品良率的目的。
一种接触形成方法

[发明专利]刻蚀终点检测方法-CN201410652851.4在审
发明人： 罗永坚;张颂周;任昱;朱骏;吕煜坤;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-11-17 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种刻蚀终点检测方法，在具有射频电源适配器的刻蚀反应腔中进行，其在刻蚀过程中采用适配器来进行终点检测，包括以下步骤：将衬底放入刻蚀反应腔中，并采用适配器的参数来监测刻蚀反应腔内的阻抗；对衬底进行刻蚀工艺；适配器的参数发生突变，停止刻蚀。本发明的刻蚀终点检测方法，通过射频电源适配器的参数变化来监测刻蚀是否达终点，从而在无需另外安装终点检测系统的条件下，利用刻蚀反应腔自身具有的射频电源适配器就可以进行有效地终点检测，简化了操作步骤，节约了成本。
刻蚀终点检测方法

[发明专利]一种接触孔关键尺寸的控制方法-CN201410652823.2有效
发明人： 罗永坚;张颂周;任昱;吕煜坤;朱骏;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-11-17 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： G05D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种接触孔关键尺寸的控制方法，在需要调整接触孔的关键尺寸时，通过改变MFC零点的电压设定，使MFC具有与所需的蚀刻气体流量调整增量值对应的零点初始流量，以改变MFC在工艺菜单规定的蚀刻气体流量设定值时的实际蚀刻气体流量，因而可在不修改工艺菜单的情况下，实现对接触孔关键尺寸的细微调节，在维持过程控制稳定的前提下，减少了不必要的PM次数，节约了时间和成本。
一种接触关键尺寸控制方法

[发明专利]一种静电吸盘性能的监测方法-CN201410652825.1有效
发明人： 罗永坚;任昱;吕煜坤;朱骏;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-11-17 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种静电吸盘性能的监测方法，在等离子体干法刻蚀反应腔中进行，反应腔室内具有静电吸盘，中空管穿过静电吸盘；通过中空管向晶圆背部通入冷却气体；监测方法包括：将晶圆置于反应腔室内的静电吸盘并紧密吸附在静电吸盘表面；对反应腔室抽真空；检测反应腔室的气体泄漏率；通过中空管向晶圆背部通入冷却气体，并检测通入冷却气体后的反应腔室的泄漏率；用通入冷却气体之后的反应腔室的气体泄漏率减去通入冷却气体之前的反应腔室的气体泄漏率，得到冷却气体从晶圆背面泄漏到反应腔室的泄漏率；设定一阈值，当冷却气体泄漏到反应腔室的泄漏率超过该阈值时，则判断得出静电吸盘的性能下降。从而使性能下降的静电吸盘得到及时更换。
一种静电吸盘性能监测方法

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