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[发明专利]一种板卡插接模组及电控盒-CN201910900876.4有效
发明人： 管博然 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明提供的一种板卡插接模组及电控盒，板卡插接模组包括固定组件、气流通道以及冷却液通道，所述相对设置的两个固定组件用以沿第一方向固定一板卡，所述气流通道沿所述第一方向形成于所述两个固定组件之间；所述冷却液通道形成于至少一个所述固定组件之中；在电控盒中所有所述板卡插接模组中的气流通道和冷却液通道依次连通。如此配置，冷却液和气体共同散热可使得所述卡插接模组与所述电控盒的冷却效率提高，所述电控盒装置简单，气流通道和冷却液通道几乎不占用额外的空间，扩展板卡时只需要将板卡插接模组进行组合，组装方便并且成本低，气流通道和冷却液通道构建方便，空间利用率高。
一种板卡插接模组电控盒

[发明专利]一种吸盘及运动系统-CN201910900879.8有效
发明人： 管博然 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种吸盘及运动系统，所述吸盘包括两个以上的真空气路与片叉凹槽，每个所述真空气路包括一个气路接口，且所有的所述气路接口以所述吸盘的圆心为中心均匀分布，且集中设置在以所述吸盘的圆心为中心，半径为r的第一区域内；所述片叉凹槽沿所述吸盘的直径方向设置于所述顶面上，所有的所述真空气路均避开所述片叉凹槽设置。如此配置，使得气路接口集中设置在圆心周边，保证气路接口方便接通真空源的气管，简化气管连接处的结构，设置的片叉凹槽的结构简单、加工方便且加工成本低，避免使用结构复杂的滑环结构和成本很高的pin结构，同时保证了较好的吸附效果。
一种吸盘运动系统

[发明专利]一种变轨迹悬空物支撑机构及粗微动台-CN201711243383.5有效
发明人： 管博然;赵文波;王昱;黄亚庆 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种变轨迹悬空物支撑机构，包括线夹、滑动伸缩杆和架体连接块；所述滑动伸缩杆的两端分别与所述线夹铰接和所述架体连接块铰接，形成可转动连接；所述线夹夹设于变轨迹悬空物的重心处，所述架体连接块固定安装在加工设备的机架上。本发明具有结构简单、支撑力大且节省水平向空间等优点。同时，提供包括该变轨迹悬空物支撑机构的粗微动台。
一种轨迹悬空支撑机构微动

[发明专利]改进型调节锁紧装置-CN201711244930.1有效
发明人： 管博然;李志龙;张志钢 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B23P19/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种调节锁紧装置，包括：与所述微动电机连接的定位簧片；一调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；一锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；一配合单元，所述配合单元转移所述定位簧片施加至所述调节单元和所述锁紧单元的反作用力。本发明在实现微动电机的高度和水平度调节与锁紧的同时，将调节锁紧作业时产生的反作用力作用于自身机构壳体上，减小了对粗动壳体的影响，提升了运动台的可靠性。通过改进调节锁紧装置的结构，减小了垂向尺寸，提高了调节精度。
改进型调节装置

[发明专利]一种防撞装置及工件台系统-CN201711140379.6有效
发明人： 管博然;丛国栋;李志龙;张志钢;刘屈武;黄亚庆 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种防撞装置，包括：框架、第一缓冲结构、第二缓冲结构及连接部件，所述第一缓冲结构的一端与所述第二缓冲结构的一端通过所述连接部件呈锐角可旋转相连，所述第一缓冲结构的另一端与所述第二缓冲结构的另一端设置在所述框架上。本发明的防撞装置通过两个一端通过连接部件呈锐角可旋转相连的缓冲结构将连接部件引导施加的任意方向上的撞击力转化两个缓冲结构垂向的力，解决了传统一维的油压缓冲器或记忆合金防撞条只能防撞一个方向的碰撞的问题；防撞装置的结构布局简单，安装调试大为便捷，减轻了防撞装置自身的重量；不占用垂向空间，应用到光刻机工件台系统时节省了大量空间，方便工件台系统的后续升级改进。
一种装置工件系统

[发明专利]连接元件与光刻系统的运动机构-CN201810570888.0有效
发明人： 管博然;纪俊洋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种连接元件与光刻系统的运动机构，所述连接元件连接于承载台与电机动子之间，所述连接元件包括：柔性元件本体和贯穿所述柔性元件本体的顶端与底端的至少一个线型槽。本发明可避免或降低电机动子产生的形变对承载台运动的影响，降低热量向例如承载台的其他结构传递，以及提高运动机构可靠性。
连接元件光刻系统运动机构

[发明专利]防撞装置及曝光机台-CN201711046800.7有效
发明人：丛国栋;张志钢;李志龙;管博然 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种防撞装置及曝光机台，所述防撞装置包括力传递机构和缓冲机构，所述力传递机构包括一环形结构，所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体；所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置，多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接。所述曝光机台包括曝光台以及所述防撞装置。本发明提供的防撞装置能够承受所述物体由于惯性而产生的碰撞，避免了所述物体与其他部件发生直接碰撞，保护了所述物体和所述其他部件；同时，此种结构的防撞装置占用空间小以及可承受来自所述物体任意方向上的碰撞。
装置曝光机台

[发明专利]一种线缆保护装置及光刻设备-CN201711249449.1有效
发明人： 管博然 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种线缆保护装置及光刻设备，该线缆保护装置包括挡板结构，挡板结构位于线缆与一阻挡物之间，将线缆与阻挡物隔离开，挡板结构与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时，挡板结构以阻挡物为基点相对滑动。相应的光刻设备包括该线缆保护装置。本发明能有效地避免线缆与障碍物之间严重摩擦，防止卡住气控箱，保护线缆。
一种线缆保护装置光刻设备

[发明专利]线缆支撑机构-CN201710931323.6有效
发明人： 管博然;刘屈武;黄亚庆;李志龙 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-10-09 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。
线缆支撑机构

[发明专利]一种测力组件及六自由度测力机构-CN201810097358.9在审
发明人： 管博然;李志龙;张志钢 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G01L9/08 文献下载
摘要：本发明属于运动状态测量技术领域，具体公开了一种测力组件，包括：上连接块和连接于上连接块下端的两个测力单元；每个测力单元均包括弹性伸缩元件、下连接块及压力传感器，弹性伸缩元件的上端与上连接块的下端铰接，下端与下连接块的上端铰接，下连接块的下端与压力传感器的上端连接；两个弹性伸缩元件的轴线处于同一平面且呈预设角度。本发明还公开了一种六自由度测力机构，包含静平台、与静平台平行的动平台及连接于静平台和动平台间的三个所述测力组件。本发明公开的测力组件和六自由度测力机构，可以简化测力系统的复杂性和提高六自由度测力机构使用灵活性。
六自由度测力机构测力组件弹性伸缩元件上连接块下连接块上端静平台下端压力传感器测力单元动平台铰接运动状态测量使用灵活性测力系统预设平行

[实用新型]气缸装置-CN201822002998.5有效
发明人： 管博然 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： F15B15/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气缸装置，所述气缸装置包括气缸基本单元、活塞单元和驱动单元；其中，所述气缸基本单元包括颗粒抽排室，所述活塞单元包括活塞和活塞杆，所述驱动单元包括气缸驱动力气路和颗粒抽排气路，所述颗粒抽排气路和所述颗粒抽排室连通；所述活塞杆在所述活塞的带动下沿缸体的轴向运动的过程中始终经过所述颗粒抽排室，因此所述活塞杆运动所产生的颗粒污染物会在所述颗粒抽排气路的作用下排出气缸基本单元外，如此便解决了气缸运动产生的颗粒污染的问题。另外，所述气缸装置具有结构紧湊的特点，在满足洁净度的情况下，整体体积较小，属于超小型洁净气缸的范畴。
气缸气缸装置基本单元抽排气抽排活塞活塞单元驱动单元活塞杆本实用新型活塞杆运动颗粒污染物颗粒污染气缸运动轴向运动超小型洁净度驱动力缸体排出气路下沿连通洁净

[实用新型]气缸装置-CN201822010773.4有效
发明人： 管博然 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： F15B15/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气缸装置，所述气缸装置包括气缸基体单元、活塞单元、驱动单元和位置探测单元；所述活塞单元包括活塞杆和活塞；所述驱动单元包括气缸驱动力气路；其中，所述位置探测单元设于所述缸筒内，故不必增加活塞杆的长度以留出空间设置所述位置探测单元，因此，极大的压缩了整体尺寸，使得所述气缸装置可以满足苛刻工况要求。
气缸装置位置探测单元活塞单元驱动单元活塞杆气缸本实用新型活塞工况要求基体单元空间设置驱动力缸筒气路压缩

[发明专利]升降机构、升降台装置、光刻机及光刻方法-CN201810031987.1在审
发明人： 管博然;黄亚庆;丛国栋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-01-12 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： B66F3/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种升降机构、升降台装置、光刻机及光刻方法，所述升降机构包括箱体、蜗杆、蜗轮和丝杆；在所述蜗杆转动时驱使所述蜗轮转动，并通过所述蜗轮转动带动所述丝杆在竖直方向升降运动。本发明所提供的升降机构能够在有限的空间内同时满足高精度和大负载的垂向升降调节要求。以及，本发明还进一步的采用了防转限位机构，防止丝杆转动以使得蜗轮和蜗杆的出力被丝杆完全接收，同时限制了丝杆的运动范围，使得整个传动机构具有更高的效率及可靠性。此外，本发明提供的一种升降机构，弥补了现有技术中高精度、大负载及小尺寸升降机构的空缺，并且应用于例如光刻机领域中，也可相应提升其光刻效果。
升降机构丝杆光刻机光刻蜗杆升降台装置蜗轮转动大负载蜗轮方向升降运动升降调节丝杆转动限位机构垂向防转竖直转动空缺出力应用

[发明专利]运动台移动机构、运动台系统与光刻装置-CN201711060732.X在审
发明人： 管博然;李志龙 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种运动台移动机构、运动台系统与光刻装置，所述的机构，包括：滚轮、固定件、弹簧、导向杆和连接件；所述弹簧和所述导向杆均沿第一方向设置，所述导向杆的一端连接所述连接件，所述固定件套设于所述导向杆外侧，所述弹簧两端分别连接所述连接件与所述固定件，所述滚轮连接于所述连接件，所述固定件用于固定连接所述运动台的框架。相较于现有技术中垂向位置不可调的机械方案，本发明可通过垂向位置的调整满足运动台垂向位置的各种需求。
运动台导向杆固定件连接件垂向位置光刻装置移动机构弹簧弹簧两端方向设置滚轮连接一端连接滚轮

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