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[发明专利]异质结太阳能电池的制备方法-CN202110788210.1有效
发明人：龚道仁;辛科;周肃;徐晓华;王文静;梅志纲;程尚之;李晨 -专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种异质结太阳能电池的制备方法，包括：提供半导体衬底层；在所述半导体衬底层的两侧均分别形成掺杂半导体层；对所述半导体衬底层至少一侧的所述掺杂半导体层进行等离子体处理，以钝化所述掺杂半导体层的晶界缺陷。本发明通过对半导体衬底层至少一侧的掺杂半导体层进行等离子体处理，钝化掺杂半导体层的晶界缺陷，用以改善膜层的界面态密度，掺杂半导体层晶界缺陷较少、结晶率高，异质结电池的光电转换效率提高。
异质结太阳能电池制备方法

[发明专利]丝网印刷系统及丝网印刷方法-CN202110872243.4有效
发明人：张良;符欣;辛华伟;程尚之;李晨;李建清;吴建晓 -专利权人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B41F15/08 文献下载
摘要：本发明提供一种丝网印刷方法及丝网印刷系统，丝网印刷方法包括：提供可移动载台；当可移动载台处于初始位置时，将丝网印版设置在可移动载台的周围，丝网印版具有待印刷图案，将半导体器件放置在可移动载台上，第一栅线与可移动载台接触，采用图像传感装置获取半导体器件至丝网印版的第一相对位置信息；在可移动载台的移动过程中采用激光发射部件和红外光接收部件获取第一栅线在半导体器件中的第二位置信息；根据第一相对位置信息和第二位置信息中的至少第二位置信息，采用移动件带动丝网印版移动，使待印刷图案与第一栅线对准；以丝网印版为掩膜在半导体器件的表面印刷第二栅极。丝网印刷方法容易实现第二栅线与第一栅线的对准，且对准效率较高。
丝网印刷系统方法

[发明专利]一种异质结电池及其制备方法-CN202110767660.2有效
发明人：徐晓华;辛科;周肃;龚道仁;王文静;李晨;陈梦滢;程尚之 -专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L31/0288 文献下载
摘要：本发明提供一种异质结电池及其制备方法，异质结电池包括：半导体衬底层；本征半导体复合层，所述本征半导体复合层位于所述半导体衬底层的至少一侧表面，所述本征半导体复合层包括：底层本征层；位于所述底层本征层背向所述半导体衬底层一侧表面的宽带隙本征层，所述宽带隙本征层的带隙大于所述底层本征层的带隙。宽带隙本征层的带隙较大，当太阳光照射异质结电池时，能量小于宽带隙本征层的带隙的光子不能被寄生吸收，减小了本征半导体复合层对太阳光的寄生吸收，从而使得半导体衬底层对太阳光的吸收增多，半导体衬底层产生的光生载流子增多，进而能提高异质结电池的短路电流，能提高异质结电池的转换效率。
一种异质结电池及其制备方法

[发明专利]一种异质结电池的处理方法-CN202210250868.1在审
发明人： 程尚之;周肃;龚道仁;符欣 -专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种异质结电池的处理方法。所述的异质结电池的处理方法包括：提供异质结电池，所述异质结电池包括单晶半导体层和非晶半导体层；将所述异质结电池置于暗态环境中，在暗态环境中对所述异质结电池进行静置处理，直至所述异质结电池的效率稳定至第一效率；进行所述静置处理之后，对所述异质结电池进行光照处理，使所述异质结电池的效率上升至第二效率，所述第二效率大于所述第一效率。所述异质结电池的处理方法实现了对非晶半导体层内的缺陷以及潜在缺陷的钝化修复，避免了异质结电池因非晶半导体层内的缺陷和潜在缺陷的存在发生效率衰减。
一种异质结电池处理方法

[实用新型]一种扩散炉-CN202123454580.6有效
发明人：张景;张良;程尚之 -专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种扩散炉。所述扩散炉包括：扩散反应腔；气路管，所述气路管包括：气路主体管、以及与所述气路主体管连接的气路进口段和气路出口段；所述气路主体管位于所述扩散反应腔的腔内，所述气路进口段和所述气路出口段位于所述扩散反应腔的腔外；所述气路主体管的管壁开设有若干个扩散气孔；承载件，沿所述气路主体管的延伸方向设置于所述扩散反应腔的腔内，适于承载待处理衬底。所述扩散炉加工方式简单，可以提高扩散反应腔内扩散气体的均匀性，充分去除扩散炉内残留的气体污染物，还可以减少扩散反应腔降温冷却的时间，加快工艺进度。
一种扩散

[实用新型]一种电解水装置-CN202121787710.5有效
发明人：姚真真;程尚之;周肃;徐晓华;龚道仁;王文静 -专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： C25B9/17 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电解水装置，包括：电解槽，用于盛放并保持电解液；阴极和阳极，位于电解槽的侧壁上，且与电解槽内的电解液接触；第一集气容器和第二集气容器，均为一面具有开口的箱体结构，开口能浸没于电解液内；第一集气容器由第一支撑结构支撑在电解槽靠近阴极一侧的上方，用于收集阴极电解出的气体；第二集气容器由第二支撑结构支撑在电解槽靠近阳极一侧的上方，用于收集阳极电解出的气体。在电解槽上阴极和阳极保持一定距离的条件下，采用排水法收集电解产生的氢气和氧气，氢气和氧气没有混气和爆炸的风险，电解槽内无需设置隔膜，不仅降低了隔膜成本，还减少了隔膜对电解液离子传输速率的影响，有利于提高电化学反应速率和产气效率。
一种电解水装置

[实用新型]丝网印刷系统-CN202121786391.6有效
发明人：张良;辛华伟;程尚之;姚真真;李建清;吴建晓 -专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： B41F15/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种丝网印刷系统，包括：载台，半导体器件的第一栅线适于与载台的第一区接触；丝网印版，丝网印版适于在载台处于初始位置时位于载台的第二区的上方；位于载台上方的图像传感装置，图像传感装置适于获取当载台处于初始位置时半导体器件至丝网印版的第一位置信息；分别设置于载台的第一区的上下两侧的检测光发射部件和检测光接收部件，用以获取第一栅线在半导体器件中的第二位置信息；载台和/或丝网印版适于根据第一位置信息和第二位置信息移动，使丝网印版的待印刷图案与第一栅线对准。该丝网印刷系统能够以对准之后的丝网印版为掩膜在半导体器件的表面印刷第二栅线，容易实现第二栅线与第一栅线的对准，且对准效率较高。
丝网印刷系统

[发明专利]一种异质结电池的制备方法-CN202110969906.4在审
发明人：符欣;周肃;龚道仁;王文静;徐晓华;姚真真;程尚之 -专利权人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种异质结电池的制备方法，包括：提供半导体衬底层；对所述半导体衬底层的至少背面进行腐蚀处理，以使得至少所述半导体衬底层的背面呈光面；对所述半导体衬底层的至少背面进行腐蚀处理之后，进行扩散退火处理,以在部分厚度的所述半导体衬底层中分别形成第一掺杂层和第二掺杂层,所述第一掺杂层的表面位于所述半导体衬底层的正面,所述第二掺杂层的表面位于所述半导体衬底层的背面；进行所述扩散退火处理之后，采用单面刻蚀工艺去除所述第一掺杂层；去除所述第一掺杂层之后，在所述半导体衬底层的正面进行制绒处理，以使所述半导体衬底层的正面呈减反射绒面。该方法避免异质结电池光电转换效率分布拖尾、且降低成本。
一种异质结电池制备方法

[发明专利]异质结太阳能电池及其制备方法-CN202110864812.0在审
发明人：龚道仁;辛科;周肃;王文静;徐晓华;李晨;程尚之;陈梦滢 -专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明提供一种异质结太阳能电池及其制备方法。该异质结太阳能电池包括：半导体衬底层；位于半导体衬底层一侧的第一透明导电复合膜；第一透明导电复合膜包括第一透明导电膜和位于第一透明导电膜背向半导体衬底层一侧表面的纳米线导电膜；位于第一透明导电复合膜背向半导体衬底层一侧表面的背栅电极。纳米线导电膜的横向电阻率大于第一透明导电膜的横向电阻率。本发明的异质结太阳能电池，采用透明导电复合膜，只需较少的背栅电极的数目，以减少银的消耗量且能够保持异质结太阳能电池具有良好的性能。
异质结太阳能电池及其制备方法

[发明专利]对位检测装置及对位检测方法-CN202110872233.0在审
发明人：徐晓华;张良;辛华伟;程尚之;周肃;龚道仁;王文静 -专利权人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种对位检测装置及对位检测方法，对位检测装置包括：可移动载台，适于承载半导体器件，半导体器件上下两侧分别具有第一金属标识和第二金属标识；位于可移动载台上方的激光发射部件和红外光接收部件，激光发射部件适于在可移动载台移动的过程中朝向可移动载台发射激光，红外光接收部件适于在可移动载台移动的过程中接收半导体器件中第一金属标识的侧部区域以及第二金属标识的侧部区域发出的红外光，以获取第一金属标识和第二金属标识在半导体器件中的位置信息；判断单元，适于根据位置信息判断第一金属标识和第二金属标识的偏移量是否小于偏移阈值。该对位检测方法简单且精度高，以保证后续的焊接良率。
对位检测装置方法

[发明专利]异质结电池处理方法、切片异质结电池及异质结电池组件-CN202110808966.8在审
发明人：周肃;魏文文;符欣;龚道仁;王文静;徐晓华;李晨;程尚之;姚真真 -专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： H01L31/20 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种异质结电池处理方法、切片异质结电池及异质结电池组件，属于光伏电池制备技术领域。该异质结电池处理方法包括以下步骤：对异质结电池进行切割，得到切片异质结电池；对所述切片异质结电池的切割面进行等离子刻蚀处理；对等离子刻蚀处理后的所述切片异质结电池进行氧化处理，使得所述切片异质结电池的切割面形成氧化硅薄膜。通过本申请的异质结电池处理方法，能有效减小因激光切割造成的功率损失，提高切割后的异质结电池的效率。
异质结电池处理方法切片组件

[发明专利]一种太阳能电池的清洗方法-CN202110737806.9在审
发明人：周肃;符欣;陈光羽;徐晓华;王文静;龚道仁;杨龙;程尚之 -专利权人：安徽华晟新能源科技有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明属于太阳能电池制造技术领域，提供一种太阳能电池的清洗方法，包括如下步骤：在进行制绒处理之后，对半导体衬底层的表面进行清洗处理；其中，所述清洗处理包括：提供清洗槽，清洗槽中具有挥发性清洗液，挥发性清洗液中包括挥发性清洗物质；在清洗槽中采用慢提拉清洗工艺对半导体衬底层的表面进行清洗。采用慢提拉清洗工艺和挥发性清洗液使得半导体衬底层表面残留的挥发性清洗液快速的挥发到环境中，半导体衬底层的表面较干燥，因此不需要再对半导体衬底层进行预脱水、烘干等工艺，半导体衬底层表面的洁净度较高，同时减少太阳能电池的制备工序，节省太阳能电池的制备时间，提高产能和制备效率。
一种太阳能电池清洗方法

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