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- [实用新型]一种晶圆后处理装置-CN202321121719.1有效
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李灯;李长坤
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华海清科股份有限公司
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2023-05-11
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2023-09-29
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种晶圆后处理装置,包括:箱体;夹持部,设置于所述箱体中,用于竖直限定晶圆的位置;驱动部,其与所述夹持部传动连接,以带动所述夹持部旋转;清洗部,其在晶圆一侧的竖直面内呈扇形摆动,并向晶圆表面喷射漂洗液和/或干燥气体;旋转挡圈,沿晶圆的外周设置以包围晶圆,所述旋转挡圈与晶圆同步旋转;固定挡圈,沿所述旋转挡圈的外周设置。本实用新型中,旋转挡圈与晶圆同向旋转,液滴接触到旋转挡圈内壁后,更易沿着内壁向后排走而不产生溅射;旋转挡圈外侧增加固定挡圈,可以有效阻挡旋转挡圈排液口甩出的液体,使液体沿着固定挡圈内壁流落从固定挡圈排液口排走;此结构可有效改善液滴反溅造成晶圆二次污染。
- 一种晶圆后处理装置
- [实用新型]一种光源检测设备-CN202320363080.1有效
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李灯;胡风;邬建伟;秦瑞军
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武汉优炜芯科技有限公司
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2023-03-01
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2023-07-25
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G01R31/44
- 本实用新型提供了一种光源检测设备,包括检测模块、扫码模块、处理模块以及显示模块,检测模块、扫码模块以及显示模块均与处理模块电连接,其中,检测模块用于获取待测光源的能量测试数据,并将能量测试数据传输至处理模块;扫码模块用于获取待检测光源的机台编号数据,并将机台编号数据传输至处理模块;处理模块用于将能量测试数据以及机台编号数据换成光源检测信息;显示模块用于接收光源检测信息,并将光源检测信息以二维码形式显示;本实用新型提供的光源检测设备避免了对待测光源进行能量检测时的操作过程繁琐问题,进一步提升了光源检测设备检测效率。
- 一种光源检测设备
- [发明专利]一种晶圆后处理装置-CN202310526495.0在审
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李灯;李长坤
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华海清科股份有限公司
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2023-05-11
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2023-07-04
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H01L21/67
- 本发明提供了一种晶圆后处理装置,包括:箱体;夹持部,设置于所述箱体中,用于竖直限定晶圆的位置;驱动部,其与所述夹持部传动连接,以带动所述夹持部旋转;清洗部,其在晶圆一侧的竖直面内呈扇形摆动,并向晶圆表面喷射漂洗液和/或干燥气体;旋转挡圈,沿晶圆的外周设置以包围晶圆,所述旋转挡圈与晶圆同步旋转;固定挡圈,沿所述旋转挡圈的外周设置。本发明中,旋转挡圈与晶圆同向旋转,液滴接触到旋转挡圈内壁后,更易沿着内壁向后排走而不产生溅射;旋转挡圈外侧增加固定挡圈,可以有效阻挡旋转挡圈排液口甩出的液体,使液体沿着固定挡圈内壁流落从固定挡圈排液口排走;此结构可有效改善液滴反溅造成晶圆二次污染。
- 一种晶圆后处理装置
- [发明专利]面向VR直播场景的双重自适应智能语音识别方法-CN202210889719.X在审
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李灯;张晖;孙恩东
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李灯
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2022-07-27
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2022-11-29
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G10L21/0216
- 本发明提供面向VR直播场景的双重自适应智能语音识别方法,包括:S101、获取纯净语音和混合语音;S102、根据短时傅里叶变换,确定纯净语音的幅度谱和混合语音的幅度谱;S103、根据纯净语音的幅度谱和混合语音的幅度谱,计算掩膜值;S104、根据掩膜值,对纯净语音进行增强,得到增强纯净语音;S105、将增强纯净语音和混合语音输入至构建的循环特征融合网络,循环特征融合网络输出统一特征;S106、根据统一特征、增强纯净语音和混合语音,形成融合特征向量;S107、将融合特征向量输入至构建的语音识别网络,语音识别网络输出语音特征向量;S108、通过线性映射和softmax函数,将语音特征向量转换为文字信息。针对VR直播场景下,实现了实时将语音转换为文字。
- 面向vr直播场景双重自适应智能语音识别方法
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