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- [实用新型]晶圆扩晶装置-CN202222998067.1有效
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郑嘉瑞;车二航;张浩;周宽林;李虎;曾胜林;韦文龙;候本豪
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深圳市联得半导体技术有限公司
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2022-11-11
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2023-07-21
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H01L21/67
- 本实用新型涉及一种晶圆扩晶装置,用于待扩晶晶圆进行扩晶,待扩晶晶圆包括胶膜及晶粒。包括:下基座,下基座上安装有用于承接待扩晶晶圆的扩晶台模组;扩晶台模组包括外环晶台及中心晶台,外环晶台环绕在中心晶台外围,外环晶台相对中心晶台上下浮动设置;以及下压组件,下压组件包括压合模组及用于驱动压合模组的驱动模组,压合模组设置在扩晶台模组的上方,压合模组的底部设有压环;其中,驱动模组驱使压合模组向下运动至压合位置,以使得压环与外环晶台的顶面夹紧胶膜;且驱动模组能够驱使压合模组从压合位置出发朝下基座向下运动,使得外环晶台的顶面低于中心晶台的顶面,压环与外环晶台的顶面拉伸胶膜。
- 晶圆扩晶装置
- [实用新型]贴膜装置-CN202222519733.9有效
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郑嘉瑞;周宽林;韦文龙;李虎;曾胜林;苏豪滨;李良;尹武林
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深圳市联得半导体技术有限公司
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2022-09-22
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2023-02-17
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H01L21/67
- 本申请涉及一种贴膜装置。贴膜装置包括贴膜模组、上料模组以及下料模组,贴膜模组用于对待贴件进行贴膜,上料模组包括上料机械手模组、第一上料模组和第二上料模组,第一上料模组用于装载层叠设置且正面朝上的多个待贴件;第二上料模组用于放置层叠设置、正面贴膜且背面朝上的多个待贴件;上料机械手模组用于将第一上料模组或第二上料模组的待贴件移动至上料工位处的贴膜平台。下料模组包括下料机械手模组、第一下料模组和第二下料模组,下料机械手模组用于将贴膜后的待贴件移动至第一下料模组或第二下料模组。本申请通过设置第一上下料模组和第二上下料模组,可以兼顾半导体进行固晶或焊线工艺前后的贴膜,提高了贴膜效率。
- 装置
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